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[发明专利]用于压力喷射装置的可控压电泵及控压方法-CN202311180162.3在审
发明人：张志刚;肖燕青 -专利权人：宁波晶昭科技有限公司
申请日： 2023-09-13 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： F04D13/06 文献下载
摘要：本发明公开了用于压力喷射装置的可控压电泵及控压方法，属于输送泵技术领域，包括可控压电泵主体与液体输送泵体，液体输送泵体具有液体输入口与液体输出口，可控压电泵主体用于对液体输送泵体内的传输介质加压，通过液体输出口进入喷射管路内，本发明中可控电压泵通过管道压力检测器对喷射管路所承受的压力进行检测，并且方式选择模块通过不同的管道连接方式确定承受压力极限差值，中央处理器通过数据的处理得到喷射管道承受压力的准确值，再将承受压力的准确值与压力预警阈值进行对比，从而能够根据喷射管道所承受的压力对输出功率进行控制，这样能够避免管道连接处在管路工作时发生泄漏，造成管路的损坏。
用于压力喷射装置可控压电方法

[发明专利]光伏组件配置用机械手、光伏组件安装方法以及维护方法-CN202311180120.X在审
发明人： 肖燕青;张志刚 -专利权人：宁波晶昭科技有限公司
申请日： 2023-09-13 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本发明适用于光伏技术领域，提供了光伏组件配置用机械手、光伏组件安装方法以及维护方法，包括底座，所述底座底部设有移动部，底座上设有升降驱动机构，升降驱动机构上设有n个升降放置架机构，底座上设有转动板机构，转动板机构和底座之间设有驱动杆机构，转动板机构上设有转动座，转动座和转动板机构之间设有旋转机构，转动座上设有第一电机和放置架机构，第一电机的输出轴连接有往复滑块机构，往复滑块机构和放置架机构连接，往复滑块机构上设有真空吸盘和清洁毛刷杆，本发明的升降放置架机构能够放置光伏组件，配合升降驱动机构能够驱动光伏组件升降，通过驱动杆机构能够对转动板机构的状态进行调节，从而实现光伏组件的取放。
组件配置机械手安装方法以及维护

[发明专利]一种针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置-CN202110441574.2有效
发明人： 肖燕青;王方江;陈海巍 -专利权人：无锡影速半导体科技有限公司
申请日： 2021-04-23 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光装置，属于曝光设备技术领域。该双面曝光装置中对准装置和曝光装置均设置于曝光台面上方，解决了目前针对RTR柔性印刷电路板的双面曝光存在的设备安装维护难的问题，该RTR柔性印刷电路板双面曝光装置通过巧妙设置支撑辊转换柔性印刷电路板的前进方向，使得曝光柔性印刷电路板的正反面在被曝光时，均处于吸附台面的上方，避免了现有的曝光装置曝光时柔性印刷电路板处于吸附台面的下方，完全依靠吸附力来应对柔性印刷电路板自身重力导致的无法保证基板的平面度的问题，提高了柔性印刷电路板双面曝光的合格率。
一种针对 rtr 柔性印刷电路板双面曝光装置

[实用新型]一种移动式光伏表面清洗机-CN202223210163.1有效
发明人： 肖燕青;张志刚 -专利权人：宁波晶昭科技有限公司
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H02S40/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及清洗机技术领域，且公开了一种移动式光伏表面清洗机；本移动式光伏表面清洗机，包括圆盘，所述圆盘右侧设置有分布均匀的支撑框，所述支撑框内腔均设置有电机，本实用新型通过设置电机带动螺杆转动，且采用横杆限制移动杆的移动方向，使三角板带动高压水枪在一定范围内微调移动，同时圆盘通过连接板与支撑柱转动连接，可大幅调整并改变高压水枪的高度，使高压水枪喷出的水压充分接触光伏表面，以确保光伏表面清洗的更加干净，设置万向轮，可通过万向轮移动，同时万向轮均有转向的功能，方便工人使用时，不受移动方向的困扰，高压喷头与三角板采用卡接的方式，在高压喷头锈蚀或损坏时，方便更换。
一种移动式表面清洗

[发明专利]一种新型的光源控制方法及曝光设备-CN202111683641.8在审
发明人： 肖燕青;吴长江 -专利权人：无锡影速半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型的光源控制方法及曝光设备，属于激光直写曝光技术领域。本发明通过改进DMD部件，并采用改进的DMD部件将PC的光源控制命令转化成光源控制信号，光源控制信号保持与平台同步信号的严格同步，实现对光源电压和开关的控制，相比于现有的光源控制方式，本发明可以以严格的时序控制光源的电压和开关，更加适用于脉冲式光源在激光直写曝光设备中的使用。
一种新型光源控制方法曝光设备

[发明专利]一种基于两次重叠曝光提高线宽一致性的方法-CN202010419928.9有效
发明人： 肖燕青;吴长江;陈海巍 -专利权人：无锡影速半导体科技有限公司
申请日： 2020-05-18 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于两次重叠曝光提高线宽一致性的方法，属于激光直写曝光技术领域。所述方法通过对图形进行两次不同位置的曝光，两次曝光过程分别对应第一图形和第二图形，第一图形为原始图形对应的数字化图形经过四舍五入的网格化处理后得到的图形，第二图形为原始图形对应的数字化图形根据图形变换参数平移后再经过四舍五入的网格化处理后得到的图形；结合适当的工艺条件，经行两次曝光叠加，本申请提出的方法能够将线宽差距从一个网格减到半个网格，在不改变任何硬件的条件下，减少线宽差异，提高线宽一致性。
一种基于两次重叠曝光提高一致性方法

[发明专利]激光直写设备中多路光路校准系统及方法-CN202010573071.6有效
发明人： 肖燕青;茆晓华;陈海巍 -专利权人：江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2020-06-22 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了激光直写设备中多路光路校准系统及方法，属于曝光技术领域。所述方法通过成像转换组件对各光路所投的图像进行转换，像经过成像转换组件透镜组后变成平行光通过校准光路的各光学元件(全反镜+透反镜)，最终经CCD物镜将平行入射的光线成像到CCD靶面相机上。通过成像转换组件将光路用于校准的图形成像到无穷远，从而解决了CCD靶面相机与各光路距离不一样的问题，因为不需要移动载物平台，所以避免了现有多光路校准的方法存在的耗时长且校准精度依赖于可移动平台的精度的问题。
激光设备中多路光路校准系统方法

[实用新型]一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置-CN202123212917.2有效
发明人： 肖燕青;徐彦文;王翰文;陈海巍;王方江 -专利权人：江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： B08B5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于LDI设备自动清洁的吸尘装置，属于电路板生产技术领域。所述吸尘装置包括：吸尘组件(2)、过滤单元(3)、控制单元(4)及鼓风机(6)；吸尘组件(2)设置在LDI设备的立柱上，过滤单元(3)设置在LDI设备的平台(5)的一侧，吸尘组件(2)和过滤单元(3)之间由气管连接；吸尘组件(2)包括吸嘴(21)和吸尘盒(22)，吸嘴(21)嵌入安装于吸尘盒(22)中；控制单元(4)设置在所述平台(5)上，过滤单元(3)与控制单元(4)之间由气管连接；并且，控制单元(4)通过气管连接至鼓风机(6)；控制单元(4)用于控制过滤单元(3)和鼓风机(6)之间的管路的通断。
一种用于 ldi 设备自动清洁吸尘装置

[实用新型]一种用于LDI设备的内层对准的标记结构-CN202122863072.7有效
发明人： 肖燕青;符祥震;程珂 -专利权人：江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于LDI设备的内层对准的标记结构，属于电路板生产技术领域。根据本实用新型的标记结构包括：DMD(1)，光刻物镜(2)和对准标记模块；其中，DMD(1)和光刻物镜(2)为LDI设备的结构，对准标记模块与LDI设备上的载物台(8)连接；载物台(8)用于承载待曝光PCB板(7)；所述DMD(1)和所述光刻物镜(2)用于通过所述对准标记模块在所述待曝光PCB板(7)的B面曝光出靶标。本实用新型的所述标记结构通过LDI设备机台上的DMD和光刻物镜来曝光靶标，简化了LDI设备机台结构；并且，通过DMD和光学成像来曝光出靶标，既能够生成不同形状的靶标，并且曝光形成的靶标精度更高。
一种用于 ldi 设备内层对准标记结构

[发明专利]一种PCB板全自动传送定位系统及方法-CN201911008839.9有效
发明人： 肖燕青;刘世林;曾振军;陈海巍;吴永超 -专利权人：无锡影速半导体科技有限公司
申请日： 2019-10-21 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种PCB板全自动传送定位系统及方法，属于自动化设备技术领域。所述系统通过在PCB板输送方向上设置入料传感器和到位传感器完成PCB板在横向方向上的传送和精确定位，通过在与PCB板输送方向垂直的方向上设置里侧纵向整板前定位传感器和里侧纵向整板后定位传感器，以及外侧纵向整板前定位传感器和外侧纵向整板后定位传感器，完成PCB板在纵向方向上的传送和精确定位，使得PCB板被准确传送至预定位置，且定位精度可达±0.5mm，缩短了PCB板曝光前传送至预定位置的时间，提高了PCB板曝光生产的效率，同时由于其定位精度可达±0.5mm，使得曝光产品合格率也得到了提高。
一种 pcb 全自动传送定位系统方法

[实用新型]一种用于激光直接成像设备的多光路双管水冷结构-CN202122508463.7有效
发明人： 肖燕青;符祥震;程珂 -专利权人：江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于激光直接成像设备的多光路双管水冷结构，属于光路冷却技术领域。所述水冷结构包括：双管水冷块(1)、进水管(2)、出水管(3)和分水底座(4)，进水管(2)和出水管(3)的一端均与双管水冷块(1)连接，双管水冷块(1)内部设置有连通进水管(2)和出水管(3)的管路，进水管(2)和出水管(3)的另一端均与分水底座(4)连接；分水底座(4)中设置有进水管道(5)和出水管道(6)，进水管道(5)上与出水管道(6)上均设置有开孔。所述结构中能够设置多个双管水冷块(1)，并且与双管水冷块(1)连接的进水管(2)和出水管(3)同样设置为多个，以对多个光路的部件进行冷却。
一种用于激光直接成像设备多光路双管水冷结构

[实用新型]一种曝光设备的光源能量检测电路系统-CN202121866942.X有效
发明人： 肖燕青;路建军;吴永超 -专利权人：无锡影速半导体科技有限公司
申请日： 2021-08-09 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种曝光设备的光源能量检测电路系统，属于曝光电路技术领域。该曝光设备的光源能量检测电路系统包括：电源模块、能量采集模块、数据处理模块和上位机。通过能量采集模块中的硅光电二极管把采集到的光信号转换为微弱的电流信号，经过采样电阻后转为相应的电压值，之后经过运算放大器将电压放大，通过公式I＝V/R得到电流值，根据光电二极管的光灵敏度参数K，通过公式P＝I/K得出对应的光功率值；该曝光设备的光源能量检测电路系统硬件构成简单，只需要将硅光电二极管处于曝光光源的光路正下方，使其完全接收到光路投射出的光信号，即可实现对光源能量便捷实时的检测。与通过相机测量对比，本申请通过硬件电路进行测量的结果误差较小。
一种曝光设备光源能量检测电路系统

[实用新型]一种压板装置-CN202122370261.0有效
发明人： 肖燕青;曾振军;陈海巍;王方江;王翰文 -专利权人：江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2021-09-28 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H05K3/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种压板装置，属于电路板生产技术领域。本实用新型所述的压板装置包括工作台、固定压板结构组件、活动压板结构组件；固定压板结构组件设置在工作台的前端并且其位置相对于工作台固定；活动压板结构组件设置在工作台的后端并且平行于固定压板结构组件，活动压板结构组件通过安装在工作台上的导轨组与工作台相连，并且能够根据PCB板件尺寸规格自动沿工作台前后移动。本实用新型的压板装置，通过在光刻机的工作台上增加板件下压结构，解决PCB板在光刻过程中板件边缘及四个角翘起、凸起等现象，重点解决针对不同尺寸的PCB板件光刻时，PCB板件被下压后，压板结构可能会遮挡或干扰PCB板件上的标记点位的问题。
一种压板装置

[实用新型]一种调节成像光路夹角的改进装置-CN202122196344.2有效
发明人： 肖燕青;王方江;符祥震;陈海巍;程珂 -专利权人：江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种调节成像光路夹角的改进装置，属于曝光技术领域。所述改进装置包括：DMD承载台，夹角旋转块和嵌入底座，还包括一同连接至夹角旋转块的倍率调节装置；夹角旋转块中空板的定位外圆嵌入底座的定位内圆中，夹角旋转块还包括伸长的板件(21)，板件(21)通过夹角螺杆(22)和弹性顶紧机构(23)连接，以通过调节夹角螺杆(22)而使夹角旋转块旋转。所述改进装置由于弹性顶紧机构(23)的设置，以及在夹角旋转块嵌入底座的定位外圆的圆周方向均布多个钢球(31)以限制其离心，从而在夹角调节时使得DMD承载台保持水平，保证光轴不会倾斜；并且保证上部机构不会偏离中心轴线。
一种调节成像夹角改进装置

[实用新型]一种LDI设备吸盘压板装置-CN202023250683.6有效
发明人： 肖燕青;王翰文;陈海巍;王方江 -专利权人：江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种LDI设备吸盘压板装置，包括吸盘(1)、固定压板机构(2)和移动压板机构(3)，固定压板机构(2)位于吸盘(1)一端。移动压板机构(3)包括导轨(302)、滑块转接件(303)、压板(301)、气缸(305)和压板转接件(306)，导轨(302)固定在吸盘(1)两侧，导轨(302)上具有滑块转接件(303)，气缸(305)固定在滑块转接件(303)，压板转接件(306)固定在气缸(305)的活塞杆上，压板(301)位于滑块转接件(303)前端。本实用新型的装置，固定压板机构和移动压板机构内均具有挠性机构，避免压板时损伤板面；固定压板机构采用整根转轴驱动压板块，确保压板块同步压板，提高动作效率可靠性；移动压板机构采用斜向压板，方便上下取放板。
一种 ldi 设备吸盘压板装置

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