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[发明专利]激光退火系统及其退火方法-CN202210190773.5在审
发明人： 黄元昊;周伟;刘晓;董洪波;赖勇;苏海业;罗闻 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光退火系统及其退火方法，所述退火系统包括：吸盘、激光辐射模块、高温测量模块、误差测量模块与前馈补偿模块；吸盘用于放置衬底；激光辐射模块用于发出激光辐射对衬底进行退火；高温测量模块用于测量衬底表面温度；误差测量模块用于获得高温测量补偿信息；前馈补偿模块根据所述衬底表面温度、所述高温测量补偿信息，调整所述激光辐射模块发出的激光辐射，从而提高温度测量的准确性，进而提升闭环反馈控制的准确性，提高退火均匀性。
激光退火系统及其方法

[发明专利]一种智能飞行汽车-CN202310651661.X在审
发明人：张新钰;刘华平;黄康尧;黄元昊;荣松松 -专利权人：清华大学
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G05D1/10 文献下载
摘要：本申请提供了一种智能飞行汽车，涉及飞行汽车技术领域，所述智能飞行汽车包括：路径规划系统，用于在智能飞行汽车从起始点到目标点的运动过程中，利用高程信息对地面行驶和空中飞行的路径进行规划，同时计算最优模态切换点，对地面行驶至空中飞行或空中飞行至地面行驶的模态切换进行控制；自主降落系统，用于在智能飞行汽车接近目标点且接收不到定位信号的情况下，利用同时空的RGB图像和深度图像获取最佳安全着陆点，利用最终安全着陆点控制所述飞行汽车安全降落。本申请的智能飞行汽车具有高效节能准确的路径规划功能，且在无定位信号的情况下可以实现自主降落。
一种智能飞行汽车

[发明专利]激光功率调谐衰减装置和退火设备-CN202210112647.8在审
发明人：王晶;周伟;黄元昊;单天祥 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2022-01-29 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G01J1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种激光功率调谐衰减装置和退火设备，激光功率调谐衰减装置包括反射式偏振旋转单元和偏振分光反射镜，反射式偏振旋转单元中的反射镜的入射面位于同一平面；反射式偏振旋转单元用于接收入射光且绕入射光的光轴可旋转设置，入射光相对于入射面的相互垂直的s光与p光经反射式偏振旋转单元后的相位延迟量总和为180°的奇数倍，以使得经反射式偏振旋转单元后的出射光的偏振方向相对于入射光的偏振方向旋转一定角度，出射光经偏振分光反射镜反射得到功率衰减后的输出光。本发明的技术方案能够实现对高功率激光退火设备中的激光功率衰减的精确控制的同时，还能保持输出光的形貌尺寸及指向性的稳定性，从而提升退火工艺指标。
激光功率调谐衰减装置退火设备

[发明专利]一种湿法氧化工艺用铜片架-CN202310267851.1在审
发明人： 黄元昊;孙见;祝林;戴洪兴 -专利权人：上海富乐华半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C23C22/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体器件加工生产设备领域。一种湿法氧化工艺用铜片架，包括用于支撑铜片的支撑架，支撑架包括支撑杆，支撑杆的相对侧开设有沿着轴向左右贯穿的缺口；支撑杆上套设有至少三个从左至右排布的隔离环，相邻的隔离环相连形成宽度从内至外递增的插片槽部；隔离环的内部镂空，隔离环包括外环，隔离环的内侧设有两个相对设置且用于横向滑入支撑杆的滑块部，外环通过引导部与滑块部相连；隔离环包括位于中部的中部隔离环、位于左端的左端隔离环以及位于右端的右端隔离环，所有的中部隔离环结构相同；支撑杆的两端还螺纹连接有限位件，支撑杆两端的限位件分别抵住左端隔离环以及右端隔离环。本发明可以使药液沿铜片架径向和纵向流动充分。
一种湿法氧化工艺铜片

[发明专利]张网装置及张网方法-CN202011634914.5有效
发明人：赵晓伟;黄元昊;宋涛;袁剑峰 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本发明提供一种张网装置及张网方法，所述张网装置包括导轨单元和夹持单元。所述导轨单元包括两个导轨，两个所述导轨沿第一方向设置且并列排布于所述目标框架的相对两侧。所述夹持单元包括两对以上夹持件，每对所述夹持件对称设置于两个所述导轨上，用于夹持沿第二方向设置的所述掩模条的两端。其中，每对所述夹持件被配置为在两个所述导轨上沿第一方向同步移动，以将所述掩模条运输至所述目标框架上的待固定区域，且每对所述夹持件分别在两个所述导轨上沿第二方向移动，以移动和\或拉伸所述掩模条。因此，本发明通过设置两对以上的夹持件，以实现在张网焊接过程中同时对两个以上的掩模条进行固定，大大提高张网焊接的效率，降低产品的时间成本。
装置方法

[实用新型]一种摆动油缸-CN202222799069.8有效
发明人：张文要;蔡婧;黄元昊;韩涛;陈晨;涂小谦;马新焕;刘鑫 -专利权人：西安航天动力研究所;中国航空油料有限责任公司安徽分公司;西安航天远征流体控制股份有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： F15B15/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种摆动油缸，属于摆动缸技术领域。该装置包括摆动缸体，摆动缸体内设置有齿轮、齿条，齿轮一端连接有输出轴，摆动缸体顶部设置有位置反馈装置，位置反馈装置包括编码器，编码器中部贯穿设置有联轴器组件，联轴器组件顶部设置有指针，本实用新型位置反馈装置是通过编码器与显示指针来实现对摆动缸输出轴位置的实时反馈，进而实现高精度控制。位置反馈装置与摆动缸设计集成为一体化结构，结构紧凑，运行可靠。
一种摆动

[发明专利]一种基于三维目标检测的飞行汽车起飞着陆决策规划方法-CN202211115814.0有效
发明人：张新钰;刘华平;黄建聪;黄元昊;黄康尧;李骏 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-09-14 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G05D1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于三维目标检测的飞行汽车起飞着陆决策规划方法，基于部署在飞行汽车上的摄像头和激光雷达实现，该方法包括：根据实时采集的图像和三维点云数据建立动态三维地图；当飞行汽车为飞行状态，根据动态三维地图，分别建立斥力场和引力场形成实时变化的合力场，驱动飞行汽车进行动态着陆，当满足安全距离，控制飞行汽车着陆，决策规划结束；否则，控制飞行汽车上升，重新建立引力场；当飞行汽车为行驶状态，根据动态三维地图，分别建立斥力场和引力场形成实时变化的合力场，驱动飞行汽车起飞，决策规划结束。
一种基于三维目标检测飞行汽车起飞着陆决策规划方法

[发明专利]一种竹笋加工废弃物发酵饲料的固体发酵方法-CN202211245756.3在审
发明人：兰时乐;黄元昊;胡超;彭英杰;舒志恒;张俊豪;周庆雯 -专利权人：湖南农业大学;湖南利天旭日生态农业发展有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： A23K10/37 文献下载
摘要：一种竹笋加工废弃物发酵饲料的固体发酵方法，是利用短小芽孢杆菌、鼠李糖乳杆菌、植物乳杆菌植物亚种为发酵菌种，分别利用液体发酵法进行扩大培养，然后接种到调节适当含水量的竹笋加工废弃物中进行好氧和厌氧耦合发酵而制得。本发明的竹笋加工废弃物发酵饲料有效地利用了竹笋加工过程中产生的笋壳、笋蔸等废弃物，实现了竹笋加工废弃物的高值化利用和促进了竹笋加工企业的可持续发展，减少了竹笋加工废弃物对环境的污染，具有较好的推广应用前景。本发酵饲料生产工艺简单，能耗低、无环境污染、投资小、易于规模化生产。
一种竹笋加工废弃物发酵饲料固体发酵方法

[发明专利]接近式曝光装置及曝光方法-CN202110744580.5在审
发明人：王刚;黄元昊;罗闻;董洪波;周伟;刘晓;苏海业 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种接近式曝光装置及曝光方法，其中，第一基板承载台、第一运输器、基板存储结构、第二运输器以及第二基板承载台呈线性排列，利于基板的运输。基板存储结构包括至少两个工位，以实现同时上下板。第一运输器和第二运输器均包括第一机械手和第二机械手，两个机械手可以独立作业，提高生产效率。此外，第一工件台和第二工件台共用一个曝光单元，不仅能有序曝光，还降低成本，缩小接近式曝光装置的尺寸。并且，基板存储结构和曝光单元共线设置，两个基板承载台、两个运输器和两个工件台均关于所述共线呈对称分布。这布局方式不仅有利于提高基板的传输效率，节约时间成本，提高生产效率，还能缩小接近式曝光装置的尺寸，提高产品竞争力。
接近曝光装置方法

[发明专利]金属掩模的张网装置及其方法、张网设备-CN202110736545.9在审
发明人： 黄元昊;魏柏林;周畅;徐兵 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种金属掩模的张网装置及其方法、张网设备，该金属掩模的张网装置包括多个夹持拉伸模块和多个第一运动机构；夹持拉伸模块分布于金属掩模张网区相对的两侧；夹持拉伸模块包括夹持单元、柔性单元、拉伸单元以及位移检测单元；夹持单元、柔性单元和拉伸单元沿第一方向依次排列；拉伸单元设置于第一运动机构上；第一运动机构带动拉伸单元沿第一方向和/或第二方向运动；夹持单元用于夹持并固定位于金属掩模张网区的金属掩模；位移检测单元用于检测对应的拉伸单元的位移信息；其中，各第一运动机构的运动状态相互独立，以及同一第一运动机构在第一方向上的运动状态与其在第二方向上的运动状态相互独立。
金属装置及其方法设备

[发明专利]一种氮气保护装置及激光退火设备-CN202110739366.0在审
发明人：王飞;赵仁洁;黄元昊;王黎明;罗兵 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于显示设备制造技术领域，公开了一种氮气保护装置及激光退火设备，该氮气保护装置包括喷嘴机构和回收机构，所述喷嘴机构设置于所述回收机构的上方，所述喷嘴机构用于向下喷射氮气，所述回收机构用于抽取空气，以在所述喷嘴机构和所述回收机构之间形成气帘。气帘可以有效阻隔其外部空气流场对其内部的影响，减少涡流存在，保证氮气气氛平稳供给；同时能在喷嘴机构和回收机构之间形成很高的真空度，从而有效降低氧气浓度，经试验验证，氧气浓度可控制在100ppm以内甚至更低。
一种氮气保护装置激光退火设备

[发明专利]激光退火装置及激光退火方法-CN202110712573.7在审
发明人： 黄元昊 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种激光退火装置及一种激光退火方法。所述激光退火装置中，第一和第二激光单元分别提供周期相同的脉冲激光和调制波形激光，在单个周期内，调制波形激光的能量密度随时间变化且脉冲激光持续的时间小于调制波形激光持续的时间；光学单元将所述脉冲激光和所述调制波形激光至少部分重叠的投影在工件上，以对工件进行激光退火。该激光退火装置利用脉冲激光和调制波形激光相互配合以对工件进行退火，可以提高工件中杂质离子的激活率，并可以控制工件非退火面的温度。所述激光退火方法利用脉冲激光和调制波形激光相互配合以对工件进行退火。
激光退火装置方法

[发明专利]一种激光退火方法及设备-CN202110602448.0在审
发明人：刘洋;黄元昊;刘晓;周伟;苏海业;罗闻 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-05-31 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种激光退火方法及设备。待退火对象包括待补偿区和非补偿区，该激光退火方法包括：在对待补偿区的各待补偿点退火时，补偿激光模块的输出能量密度值，以使待补偿区的最高退火温度与非补偿区的热平衡温度相同。本发明实施例提供的技术方案可以增大有效退火面积，提高器件良率。
一种激光退火方法设备

[发明专利]一种光斑形貌测量装置、测量方法及激光退火设备-CN202110641502.2在审
发明人：刘晓;黄元昊;刘洋;魏礼俊;刘志宇 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-06-09 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种光斑形貌测量装置、测量方法及激光退火设备。其中包括：工件台和光斑形貌测量单元；光斑形貌测量单元用于将硅片上的光斑在第一方向上分割为多个能量分布区，其中，第一方向为硅片所在平面中的任一方向；还用于按照能量分布区在光斑中的位置，依次以不同的采集时间采集不同能量分布区中的辐射能量，其中，距离光斑的边缘越近的能量分布区所对应的采集时间越长；还用于根据不同能量分布区中的辐射能量，拼接形成光斑的能量分布图，获得光斑的形貌。本发明实施例能够解决现有激光光斑测量技术对于光斑边缘区域的测量容易失真的问题，保证激光光斑采集的准确性，提高光斑形貌的检测精度，避免失真情况的发生。
一种光斑形貌测量装置测量方法激光退火设备

[发明专利]一种激光退火弧形扫描方法及激光退火装置-CN202110485110.1在审
发明人：刘洋;黄元昊;刘晓;王刚;苏海业;罗闻 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种激光退火弧形扫描方法及激光退火装置，包括：提供晶圆；形成退火扫描轨迹；其中，所述退火扫描轨迹包括多条沿y方向排列的弧形的光斑轨迹，每一条所述光斑轨迹包括多个沿x方向排列的光斑，形成第i+1条光斑轨迹中第m个光斑与形成第i条光斑轨迹中第n个光斑相切，i，m，n均为正整数；沿所述x方向，第i+1条所述光斑轨迹中第m个光斑与第i条所述光斑轨迹中第n个光斑之间的距离等于所述光斑沿所述x方向的长度；按照所述退火扫描轨迹进行激光扫描，完成对所述晶圆的退火。本发明实施例提供一种激光退火弧形扫描方法及激光退火装置，以通过光斑轨迹的规划，使得退火时间不足区域完成多次退火，提高晶圆面温度的均匀性。
一种激光退火弧形扫描方法装置

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