专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]抛光垫及利用其的半导体器件的制造方法-CN202210879205.6在审
  • 尹晟勋;安宰仁;金京焕;徐章源 - SKC索密思株式会社
  • 2022-07-25 - 2023-02-03 - B24B37/22
  • 本发明提供一种抛光垫及利用其的半导体器件的制造方法,所述抛光垫应用终点检测用窗,所述窗在抛光垫中作为局部异质性部件不对抛光性能造成不利影响,而是能够通过这种窗导致的特定结构反而在缺陷防止等方面提供改善的抛光性能,所述抛光垫包括:抛光层,包括作为抛光面的第一面和作为其相反面的第二面,并且包括从所述第一面贯穿至所述第二面的第一通孔,窗,设置在所述第一通孔内,以及孔隙,位于所述第一通孔的侧面和所述窗的侧面之间;在所述第一面和所述窗的最上端面之间包括所述孔隙的开口部,所述孔隙的开口部的宽度大于0.00μm。
  • 抛光利用半导体器件制造方法
  • [发明专利]用于运输和制造过程的牢固固定重构面板的半导体制造设备-CN202210329118.3在审
  • 李贤哲;K·朴;金京焕 - 星科金朋私人有限公司
  • 2022-03-30 - 2022-12-06 - H01L21/673
  • 本申请涉及用于运输和制造过程的牢固固定重构面板的半导体制造设备。一种半导体制造设备,具有外壳壳体,该外壳壳体包括下壳体延伸部分以支撑半导体面板。下壳体延伸部分固定在外壳罩内的适当位置。具有上壳体延伸部分的内壳壳体设置在外壳壳体内,靠近下壳体延伸部分。一种机构将上壳体延伸部分拉向下壳体延伸部分,并将半导体面板锁定在上壳体延伸部分和下壳体延伸部分之间的适当位置。该机构具有凸轮组件,其设置在内壳壳体上方,并可由手柄操作,以转动凸轮组件并向内壳壳体和上壳体延伸部分施加压力,从而将半导体面板锁定在上壳体延伸部分和下壳体延伸部分之间的适当位置。在内壳壳体下设置弹簧或其它弹性机构以加载压力。
  • 用于运输制造过程牢固固定面板半导体设备
  • [发明专利]抛光垫用片材、抛光垫以及半导体器件的制造方法-CN202111478637.8在审
  • 尹晟勋;金京焕;安宰仁;徐章源 - SKC索密思株式会社
  • 2021-12-06 - 2022-06-07 - B24B37/22
  • 本发明涉及抛光垫用片材、抛光垫以及半导体器件的制造方法。所述抛光垫用片材的特征在于包括作为抛光层附着表面的第一表面,和作为所述第一表面的背面的第二表面;针对所述第一表面,以下式1的值为4.20至5.50:[式1]在所述式1中,所述Sv是所述第一表面的最大凹陷高度粗糙度值,所述Sz是所述第一表面的最大高度粗糙度值,所述P是从所述抛光垫用片材切割宽度和长度分别为25mm大小的样品,然后在无负荷状态下使用千分表进行测量,然后以85g的标准重量加压30秒后测量第一厚度D1,在通过在所述标准重量上增加800g的重量而设置加压条件后经过3分钟后测量第二厚度D2,根据公式(D1‑D2)/D1*100算出的压缩率(%)值。
  • 抛光垫用片材以及半导体器件制造方法

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