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[发明专利]一种双远心镜头及数字投影光刻系统-CN202010568828.2在审
发明人： 段辉高;胡跃强;宋强;王景;许恒深;马国斌;汪涛 -专利权人：深圳珑璟光电技术有限公司
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2020-08-28 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明实施例涉及光学设计技术领域，公开了一种双远心镜头，能够应用在数字投影光刻系统中，该双远心镜头包括：第一折射透镜组、光阑和第二折射透镜组；其中，所述第一折射透镜组包括从像面到所述光阑依次设置的：具有正光焦度的第一透镜、第二透镜、第三透镜和具有负光焦度的第四透镜；所述第二折射透镜组包括从所述光阑到物面依次设置的：具有负光焦度的第五透镜、以及、具有正光焦度的第六透镜、第七透镜和第八透镜，本发明实施例提供的双远心镜头具有很高的分辨率、大像方视场和很低的畸变，成像效果好。
一种双远心镜头数字投影光刻系统

[发明专利]一种多方式多材料光固化3D打印设备-CN202010259580.1在审
发明人：谢祺晖;王兆龙;段辉高;单武斌 -专利权人：湖南大学
申请日： 2020-04-03 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： B29C64/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种多方式多材料光固化3D打印设备，包括Z轴连接器、料槽、料槽夹、料槽紧固螺丝、X轴丝杆滑台、成型底板、支柱、底板、光机、储液罐、挤出滑槽、Y轴丝杆滑台、挤出电机架、挤出电机、打印头支座、打印头、成型平台和成型平台紧固螺丝、成型平台调平限制器、成型平台联轴器、Z轴丝杆滑台、XY轴联轴器和送料管。该加工设备的加工尺寸精度高，适合加工内部结构为复杂的三维实体；具有两种光固化成型原理，能够在材料相互间低接触、低污染的情况下进行双材料打印；基体材料成型快，能快速地制作处在研发阶段的新产品样机，缩短产品研发的周期；还具有使用便捷，造价低，扫描面积大等优点。
一种多方材料光固化打印设备

[发明专利]一种多方式多材料3D打印设备-CN202010260439.3在审
发明人：谢祺晖;王兆龙;段辉高;单武斌 -专利权人：湖南大学
申请日： 2020-04-03 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： B29C64/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种多方式多材料3D打印设备，包括Z轴丝杆滑台、Z轴连接器、料槽、料槽夹、料槽紧固螺丝、支柱、底板、光机、X轴丝杆滑台、Y轴丝杆滑台、XY轴联轴器、挤出机、打印头、成型底板、成型平台、成型平台紧固螺丝、成型平台调平限制器和成型平台联轴器。本发明的设备结构实现两种方式打印中，其中一种材料通过光固化面成型打印；另一种材料通过热熔融挤出打印，其材料价格较低，综合力学性能较好，适合作为工件基体或牺牲材料等。该加工设备的加工尺寸精度高，适合加工内部结构为复杂的三维实体；基体材料成型快，能快速地制作处在研发阶段的新产品样机，缩短产品研发的周期；还具有使用便捷，造价低，扫描面积大等优点。
一种多方材料打印设备

[发明专利]一种三自由度3D打印机成型平台-CN202010178198.8在审
发明人：谢明铸;谢祺晖;王兆龙;段辉高 -专利权人：湖南大学
申请日： 2020-03-14 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： B29C64/135 文献下载
摘要：本发明公开了一种三自由度3D打印机成型平台，属于3D打印技术领域。包括导轨模组，在导轨模组上方设置有用以连接步进电机的连接机构，在导轨模组旁侧固定连接有用以将成型平台连接为一体的成型平台连接器。与现有技术相比，本发明结构合理、加工尺寸精度高，能够根据打印件的形状调整成型平台的姿态，减少由于自由度不足而出现的形状误差和打印件变形等情况，提高了打印件强度和成型精度，并且具备造价低以及打印精度高等优点。
一种自由度打印机成型平台

[发明专利]一种光固化3D打印用高拉伸导电水凝胶及其制备方法-CN202010131790.2在审
发明人：陈雷;张艺茹;王兆龙;段辉高 -专利权人：湖南大学
申请日： 2020-02-29 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： C08F220/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种光固化3D打印用高拉伸导电水凝胶及其制备方法，按质量百分比组份包括：水凝胶聚合单体10‑60％，交联剂0.1‑10％，二元混合溶剂60‑90％，导电填料5‑40％，纳米无机粒子0.5‑5％，光引发剂0.5‑3％，光吸收剂0.01‑1％。本光固化3D打印用高拉伸导电水凝胶中的纳米无机粒子与水凝胶均匀融合，经光固化3D打印后的水凝胶具有高拉伸性；导电填料赋予了水凝胶良好的导电性能。该水凝胶制备方法简单，经光固化3D打印技术制造，在柔性传感器、可穿戴器件等领域具有巨大的应用前景。
一种光固化打印拉伸导电凝胶及其制备方法

[发明专利]一种高精度3D打印用耐高温阻燃材料及其制备方法和应用-CN202010131784.7在审
发明人：张艺茹;陈雷;王兆龙;段辉高 -专利权人：湖南大学
申请日： 2020-02-29 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C08F283/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度3D打印用耐高温阻燃材料及其制备方法和应用，按质量百分比组份包括：环氧丙烯酸树脂3‑50％，乙氧化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯3‑40％，三(2‑羟乙基)异氰脲酸三丙烯酸酯10‑60％,二丙二醇二丙烯酸酯20‑80％,阻燃填料0.1‑10％，光引发剂0.5‑5％，光吸收剂0.1‑3％。本3D打印用耐高温阻燃材料中的阻燃填料粉与光敏树脂均匀融合，使得三维成型物件精度高，且具有耐高温和阻燃性能，材料可采用光固化3D打印技术制造，在高精度零件，精密工业连接件和精密模具有着巨大的应用前景；且制备方法简单，易于工业化生产。
一种高精度打印耐高温阻燃材料及其制备方法应用

[发明专利]一种全干法功能材料剥离的方法-CN201911338270.2在审
发明人： 段辉高;刘卿;陈艺勤;舒志文 -专利权人：湖南大学
申请日： 2019-12-23 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明揭示了一种全干法功能材料剥离的方法。本发明通过对衬底进行修饰以降低光刻胶与衬底的粘附力，然后在光刻胶上曝光出所需的结构，再对图案化光刻胶之后的样品镀上功能材料，利用黏贴层选择性的把光刻胶及其上面的功能材料撕走，从而留下图案化之后的功能材料反结构，即代替了现有的湿法剥离方案，实现了高精度绿色的干法剥离。
一种全干法功能材料剥离方法

[发明专利]一种基于3D打印的MEMS封装件及封装方法-CN201910923585.7在审
发明人：车颜贤;刘翊;刘凯;李林;段辉高;周剑;莫洪波;吴晗 -专利权人：株洲国创轨道科技有限公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于3D打印的MEMS封装件，包括基底、MEMS器件、引线框架和3D打印的空心封装盖板；基底上设置有焊盘；封装盖板与基底对准键合形成中空的封装体，MEMS器件安装于空腔内且固定于基底上，MEMS器件与基底上的焊盘电气连接，焊盘与引线框架电气连接；封装盖板远离MEMS器件的一侧打印有容纳槽，容纳槽内放置有吸气剂。本发明还公开了一种封装方法，包括：S01、通过3D打印技术打印空心封装盖板；采用减薄或划片处理圆片得到基底；S02、将MEMS器件固定于基底上，并与基底上的焊盘连接，再将焊盘与引线框架相连；S03、封装盖板与基底对准键合形成封装体。本发明的封装件及封装方法具有成本低、导热性好、抗冲击性能好、真空度高、工艺简单等优点。
一种基于打印 mems 封装方法

[发明专利]一种用于评估螺栓松动和失效的监测系统及其监测方法-CN201911127847.5在审
发明人：沈意平;蒋帅;刘翊;刘缘;周剑;段辉高;李林 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2019-11-18 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明公布了一种用于评估螺栓松动和失效的监测系统及其监测方法，系统包括螺纹紧固件，螺栓在上工件伸出的螺纹段先套合智能垫片后再通过螺母拧紧；智能垫片上设置有第一电极层、第二电极层以及两者之间设置的柔性压电材料层；第一电极层上部以及第二电极层下部分别设置有第一绝缘层和第二绝缘层；第一电极层与第二电极层分别连接有第一接线端子和第二接线端子；第一接线端子与第二接线端子与信号采集处理终端连接。监测方法对螺纹连接件松动或失效进行全过程监测，并及时提出预警，通过压电信号的采集与分析，实时监测螺栓的松动或失效情况，并能在松动或失效进行及时报警，避免机械设备在运行中由于螺栓的松动或失效造成的安全事故。
一种用于评估螺栓松动失效监测系统及其方法

[发明专利]一种基于电极质量负载效应的超高灵敏度谐振式声表面波传感器-CN201910965488.4在审
发明人：周剑;陈哲;刘翊;段辉高;郑江坡;吴建辉;熊硕 -专利权人：湖南大学
申请日： 2019-10-11 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于电极质量负载效应的超高灵敏度谐振式声表面波传感器，传感器结构从下至上依次为：衬底‑压电薄膜‑叉指电极‑传感区或者压电衬底‑叉指电极‑传感区，所述传感器传感区域在叉指电极上方，相比于传统敏感区域在双端叉指电极的声波传播中间区域，传感区域置于叉指电极上方可以利用叉指电极上更为明显的质量负载效应，使得有质量负载时，声表面波器件谐振频率偏移更大，传感器灵敏度更高。所述叉指电极的波长为120nm～40μm，金属化率为0.1～0.9。本发明的有益效果如下：超高灵敏、易于检测以及工艺简单。
叉指电极质量负载效应传感区域传感区声表面波传感器传感器灵敏度声表面波器件谐振频率偏移超高灵敏度传感器结构超高灵敏金属化率敏感区域声波传播压电薄膜压电衬底质量负载中间区域谐振式电极传感器波长衬底双端检测

[发明专利]一种镶嵌功能材料微纳孔结构及其制备方法和使用方法-CN201910369474.6在审
发明人： 段辉高;刘卿;陈艺勤;曾沛 -专利权人：湖南大学
申请日： 2019-05-05 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： B82Y30/00 文献下载
摘要：本发明揭示了一种镶嵌功能材料微纳孔的制备方法，本发明用各向同性金属沉积的方法在提供的带纳米孔的衬底上镀一层所需的金属，再对样品用斜角离子束抛光设备以角度小于10°的夹角进行抛光处理直到样品上表面的金属材料全部去除，从而得到所需要的镶嵌功能材料微纳孔。
功能材料纳孔镶嵌制备离子束抛光金属材料金属沉积抛光处理纳米孔上表面衬底斜角去除金属

[发明专利]一种全彩色全息的微纳集成器件及其制作方法-CN201910272115.9在审
发明人：胡跃强;罗栩豪;段辉高;李鑫;陈艺勤;刘卿 -专利权人：湖南大学
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： G02B5/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种全彩色全息的微纳集成器件及其制作方法，本发明通过金属薄膜、灰度氧化硅台阶、金属薄膜组成FP腔实现对可见光的窄带滤色响应，再通过上层的亚波长台阶结构对入射波前的相位进行人为的调控，由于使用二台阶，加工的复杂程度降低，稳定性和鲁棒性得到提高。一方面白光透过该器件形成任意多彩色图案，另一方面使用红、绿、蓝三色激光照射集成的器件，在透射场相互融合形成任意复杂的全彩色全息。该器件的制备过程主要包括两大部分：灰度曝光和套刻。相比较现有的超表面彩色全息器件而言，本发明具备加工制作过程简单、透射效率极高、成本低、集成度高，可重复利用等优点，具有防伪和集成显示等功能。
全彩色全息集成器件金属薄膜灰度稳定性和鲁棒性加工制作过程可见光彩色全息器件形成三色激光台阶结构透射效率制备过程集成度多彩色可重复入射波透射场亚波长氧化硅白光防伪滤色套刻窄带制作照射上层图案曝光融合响应调控加工

[发明专利]一种制备大面积可释放微纳结构的方法-CN201910139471.3在审
发明人： 段辉高;舒志文;陈艺勤;张臣;宋艺昂;刘卿;曾沛 -专利权人：湖南大学
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备大面积可释放微纳结构的方法，本发明用旋涂的方法在硅或二氧化硅衬底先甩一层聚甲基丙烯酸甲酯，作为牺牲层；然后再旋涂一层正型光刻胶；利用激光直写或者光刻技术曝光显影得到微米孔状结构；利用电子束蒸发或热蒸发技术或者溅射技术在样品上镀上一层金属薄膜；利用旋涂的方式在蒸发处理后的样品上旋涂一层平坦化层氢倍半硅氧烷(HSQ)；然后把样品置于热板上低温烘烤以去除平坦化层HSQ中的溶剂；再对样品进行抛光处理直到正型光刻胶上的金属材料全部去除；最后用湿法刻蚀技术彻底去除剩余的光刻胶从而得到所需的可释放微纳金属结构。本发明目的是大面积制备无粘附层且容易释放的微纳结构，具有高效率、大面积等优点。
微纳结构可释放旋涂去除制备正型光刻胶平坦化层聚甲基丙烯酸甲酯氢倍半硅氧烷湿法刻蚀技术微纳金属结构电子束蒸发金属材料低温烘烤二氧化硅光刻技术激光直写金属薄膜抛光处理曝光显影蒸发处理高效率光刻胶热蒸发微米孔牺牲层粘附层溶剂衬底溅射热板上旋释放

[发明专利]一种高频声表面波叉指换能器的制备方法-CN201910137105.4在审
发明人： 段辉高;曾沛;周剑;郑江坡;舒志文;刘卿;陈艺勤 -专利权人：湖南大学
申请日： 2019-02-25 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种高频声表面波叉指换能器的制备方法，本发明将叉指金属图案和汇流条图案分两步制作从而快速精确地获得了高频声表面波叉指换能器金属图案。本发明的目的是高效可靠地制备高频声表面波叉指换能器。本发明采用的离子束抛光去除了叉指图案部分正型光刻胶上的金属材料，极大地改善了剥离工艺，增加了器件制备的鲁棒性，使成品率提升，而且采用套刻光刻技术制备大面积的汇流条金属图案部分，提升了器件制备的效率，适用于密集的多对数的长叉指高频声表面波叉指换能器的制备。总体而言，该制备方法具有跨尺度、高效率、低成本、高可靠性等优点，可实现大批量、大面积的高频声表面波叉指换能器制备。
高频声表面波叉指换能器制备金属图案器件制备汇流条叉指图案离子束抛光正型光刻胶金属材料剥离工艺高可靠性高效可靠光刻技术成品率低成本高效率跨尺度鲁棒性长叉套刻制作

[发明专利]一种高深宽比高保形纳米级负型结构的制备方法-CN201710911083.3在审
发明人： 段辉高;刘卿;陈艺勤 -专利权人：湖南大学
申请日： 2017-09-29 - 公布日： 2018-03-30 - 主分类号： B82B3/00 文献下载
摘要：本发明揭示了一种高深宽比高保形纳米级负型结构的制备方法，本发明用旋涂的方法在提供的衬底上旋涂一层氢倍半硅氧烷(HSQ)；利用电子束曝光技术对样品进行曝光显影得到预期的HSQ柱状纳米结构；利用磁控溅射镀膜沉积技术在样品上共形沉积一层功能材料薄膜；利用旋涂的方式在溅射处理后的样品上旋涂一层平坦化层HSQ；然后把样品置于热板上低温烘烤以去除平坦化材料中的溶剂；再对样品用斜角离子束抛光设备以角度小于10°的夹角进行抛光处理直到HSQ柱子上表面的金属材料全部去除；最后用湿法刻蚀将样品用氢氟酸进行处理以去除HSQ柱子结构从而得到我们所需的高深宽比高保形的纳米级负型结构。
一种高深比高纳米级负型结构制备方法