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[实用新型]测温结构及热炉-CN202223401744.3有效
发明人：庞爱锁;郭永胜;林佳继;刘群 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01K13/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种测温结构及热炉，测温结构包括炉门、支撑件和温度检测件，炉门用于密封热炉的炉口，支撑件穿设于炉门，支撑件的第一端用于承载待加工产品，温度检测件连接于支撑件的第二端，且温度检测件朝向支撑件的第一端延伸设置。该测温结构的测量温度的温度测量件与承载待加工产品的支撑件整合在一起，无需为温度测量件设置单独的装拆空间，从而缩小热炉的占地面积，有利于降低热炉的使用成本。
测温结构

[实用新型]法兰结构及炉管-CN202223539737.X有效
发明人： 林佳继;伍明辉;董雪迪;张武 -专利权人：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： F16L23/02 文献下载
摘要：本实用新型属于光伏以及半导体制造技术领域，公开了一种法兰结构及炉管，法兰结构包括外法兰与内法兰，外法兰包括法兰本体，法兰本体具有水道；法兰本体上设置有封水件，封水件与法兰本体连接以封闭水道；法兰结构还具有防腐蚀组件，防腐蚀组件包括第一防腐蚀件，用于至少遮蔽封水件与法兰本体的连接部分。通过在法兰结构设置第一防腐蚀件，提高了法兰结构的防腐蚀性，避免了封水件以及封水件与法兰本体的连接部分长期暴露在强酸的环境下，避免了漏水现象的发生，延长了法兰结构的使用寿命。
法兰结构炉管

[发明专利]一种微调机架-CN202211616199.1在审
发明人：徐少洪;林佳继;朱太荣;刘群 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源股份有限公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本发明涉及光伏生产设备技术领域，公开了一种微调机架，包括：机架，所述机架包括：支梁，所述支梁上方设有横梁，若干载板间隔设于所述横梁上，所述载板用于承载反应炉；微调机构，安装在所述机架上，所述微调机构用于调节所述机架竖直高度与水平位移；距离检测器，用于检测机架与所述微调机构之间的距离。本发明解决现有反应炉装配误差大难以搬运纠偏的问题。
一种微调机架

[发明专利]一种净化台推舟机构抖动自适应消除方法及装置-CN202310025926.5在审
发明人：朱太荣;肖阳;林佳继;刘群 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源股份有限公司
申请日： 2023-01-09 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G05B11/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种净化台推舟机构抖动自适应消除方法及装置，涉及太阳能电池制备技术领域，获取推舟抖动的影响因素，影响因素包括主影响因素和从影响因素；获取推舟抖动的评价因素，根据主影响因素和评价因素筛选出具有因果关系的主影响因素；基于因果因素和影响因素得到权重，基于权重和影响因素得到影响总分；根据模糊控制器得到动力源目标控制参数和动力源PID参数，得到动力源优化参数。本申请通过影响因素得到影响总分，将影响总分添加到模糊控制中，优化动力源控制参数和PID参数，以减少推舟抖动，通过PID参数对重力进行补偿，通过电流和修正后的优化参数对摩擦力进行补偿，从而减少推舟抖动的可能，提高产品加工质量。
一种净化台推舟机构抖动自适应消除方法装置

[实用新型]热丝折弯结构及热丝装置-CN202222203970.4有效
发明人：戴佳;董雪迪;张武;林佳继 -专利权人：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了热丝折弯结构和热丝装置，属于气相沉积工艺技术领域。该热丝折弯结构包括绕丝件，绕丝件具有绕丝槽，绕丝槽的内壁包括弯折面，热丝插接在热丝槽中，并能够沿着弯折面发生弯折以形成预设的热丝工艺形状，热丝折弯部位表面至绕丝槽槽口处的距离b不小于热丝直径d的2倍。通过将热丝的折弯部位设置在绕丝件的绕丝槽中，既能够使得热丝沿着绕丝槽内的弯折面发生弯折，满足生产所需的热丝工艺形状，并且使得气相沉积过程中的工艺气体至少需要流动2d的距离才能够与热丝折弯部位的表面接触，从而减少工艺气体在热丝折弯部位表面的沉积，减缓热丝折弯部位的薄膜生成速度，也就能够减少热丝于折弯部位损坏的概率，延长热丝的使用寿命。
折弯结构装置

[发明专利]管式炉-CN202211093924.1在审
发明人：庞爱锁;郭永胜;林佳继;张武 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种管式炉。该管式炉包括外管和炉管，外管包括加热装置，外管的管壁上设置有连通结构，炉管置于外管内，炉管内具有工作腔，工作腔用于容纳待处理的产品，炉管的管壁向工作腔内突出形成凹陷结构，凹陷结构的内部具有测温腔，测温腔与工作腔气隔离，用于测温的热电偶能够穿设于连通结构并伸入测温腔。通过在炉管设置凹陷结构，在外管设置连通结构，热电偶能够穿过外管上的连通结构伸入测温腔中，量取测温腔的温度以间接测量炉管内的产品温度，方便实现对管式炉加热温度的调控，且热电偶没有穿过炉管，能够满足密封需求，且通过合理设置凹陷结构和连通结构的位置，还能够减少所使用的热电偶的长度，减少生产成本和生产风险。
管式炉

[发明专利]一种硅片加工生产线-CN202310244727.3在审
发明人： 林佳继;董雪迪;于帅帅;刘群 -专利权人：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片加工生产线，该硅片加工生产线包括上料系统、下料系统、硼扩工艺主机、激光系统和硅片中转系统，上料系统用于硅片的上料；下料系统用于硅片的下料，硼扩工艺主机位于上料系统及下料系统的下游位置，激光系统用于对经过一次硼扩的硅片进行开槽，激光系统与上料系统及下料系统并排设置；硅片中转系统设在上料系统、下料系统、激光系统以及硼扩工艺主机中间，该硅片加工生产线将一次硼扩工艺、激光开槽和二次硼扩工艺集成在一条生产线上，结构紧凑，占地面积小，流转效率高，有利于提升生产效率且降低制造成本。
一种硅片加工生产线

[实用新型]微波表面波等离子设备-CN202223051136.4有效
发明人：庞爱锁;郭永胜;林佳继 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C23C16/511 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种微波表面波等离子设备。该微波表面波等离子设备包括工艺腔室，工艺腔室内设置有介质板和若干微波缝隙天线系统，微波缝隙天线系统能够发射出在介质板表面且以表面波形式传波的微波；若干微波缝隙天线系统关于介质板对称设置，所产生的微波能够在介质板的表面耦合，以使得工艺腔室内的反应气体在介质板处产生均匀等离子体。通过将微波发射缝隙设置于介质板的侧面，使得微波在介质板表面以表面波的形式传播，能够使低压下的反应气体稳定地电离出等离子体，同时，由于若干微波缝隙天线系统关于介质板对称设置，使得微波耦合形成均匀的能量场，从而能够电离产生均匀的等离子体，满足沉积工艺的需求。
微波表面波等离子设备

[实用新型]舟载体结构及舟载体搬运装置-CN202223278506.8有效
发明人：朱太荣;肖阳;林佳继 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种舟载体结构及舟载体搬运装置，该舟载体结构包括舟载体本体和遮光件，舟载体本体用于放置舟体，遮光件成对设置，成对设置的两个遮光件分别位于舟载体本体的相对设置的两个侧壁上。该舟载体结构能够较好的反射光感应器的发射端发出的光线，方便光感应器的接收端接收光线，以方便舟载体结构的精确定位。
载体结构搬运装置

[实用新型]净化台及光伏薄膜沉积设备-CN202320096705.2有效
发明人： 林佳继;张武;刘群 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种净化台及光伏薄膜沉积设备。该净化台内设置有固定杆和隔板，隔板安装在固定杆上，固定杆活动连接有踏板，踏板具有隐藏位置和展开位置，处于隐藏位置时踏板被隔板遮挡，处于展开位置时踏板的至少部分伸出隔板。通过使得踏板既能够运动至隔板下方空间内，与隔板在高度方向上重叠，被隔板遮挡，避免踏板占用净化台内部的走动和使用空间，还能够运动至隔板下方空间外，使得踏板与隔板在高度方向上相错，操作人员可通过踩踏踏板来移动，方便进行安装、维护等工作。并且踏板位于隔板下方，不影响隔板的正常使用，而在踩踏时，更牢固的固定杆承受压力能够避免隔板的变形和损坏，保障净化台的安全性。
净化薄膜沉积设备

[发明专利]一种SiCf-CN202211394633.6在审
发明人： 林佳继;张武;刘群;朱太荣;庞爱锁 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源股份有限公司
申请日： 2022-11-07 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C04B35/80 文献下载
摘要：本发明涉及复合材料技术领域，公开了一种SiCf/SiC复合材料的制备方法，包括以下步骤：(1)将SiC陶瓷浆料流延成型得到SiC薄膜；(2)将所述SiC薄膜与SiC纤维交替平铺，得到SiCf/SiC复合材料预制体；(3)所述SiCf/SiC复合材料预制体经浸渍、交联、裂解复合工艺多次循环处理，即得SiCf/SiC复合材料。本发明方法制备得到的SiCf/SiC复合材料具有孔隙率低、致密度高、结晶程度高、力学性能好等优点，适用于光伏设备核心零部件材料领域。
一种 sic base sub

[发明专利]一种PECVD镀膜机-CN202011261905.6有效
发明人： 林佳继;刘群;张武;朱太荣;庞爱锁;林依婷 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2020-02-10 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明提供一种PECVD镀膜机，包括用于镀膜操作的真空炉腔，所述真空炉腔内设有至少两个与硅片相关的工位，硅片的烧制工位同时也是硅片的装载工位，硅片被通过平移机构装入镂空载板中，镂空载板包括多个，多个镂空载板在硅片的装载工位上下排列且等间距均布，形成硅片载具，单个镂空载板上至少设有一个镂空部位和一个安装部位，镂空部位位于镂空载板的中部，所述安装部位位于所述镂空载板的一侧，多个镂空载板的安装部位位于镂空载板的同一侧。本发明采用竖向送片和水平插片的方式，硅片和电极片的交替对插在真空炉腔内完成，对于镀膜过程来说，从插片到镀膜的过程，都可以进行氛围控制，有利于调整镀膜环境，提升镀膜质量。
一种 pecvd 镀膜

[发明专利]一种真空脱脂烧结系统及其使用方法-CN202110401724.7有效
发明人： 林佳继;龙占勇;罗迎春;李东林 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： F27B5/05 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空脱脂烧结系统及其使用方法,包括真空管路和脱脂机构，真空管路至少包括一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路，一级真空管路、二级真空管路和三级真空管路控制不同工艺阶段的系统压力，脱脂机构对工件进行脱脂处理，本发明采用高真空气动挡板阀作为各回路的开关阀，采用旋片泵获得系统低真空1‑10Pa，满足脱脂工艺要求和油扩散泵的启动要求，采用罗茨泵作为系统二级泵，是油扩散泵的前级泵，通过旋片泵与罗茨泵的组合运行，系统获得压力值为10‑1‑10‑2Pa的真空，采用油扩散泵作为系统主泵，通过旋片泵、罗茨泵及油扩散泵的组合运行，系统获得压力值为10‑3‑10‑4Pa的真空。
一种真空脱脂烧结系统及其使用方法

[发明专利]一种PECVD镀膜机-CN202011261961.X有效
发明人： 林佳继;刘群;张武;朱太荣;庞爱锁;林依婷 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2020-02-10 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明提供一种PECVD镀膜机，包括用于镀膜操作的真空炉腔，所述真空炉腔内设有至少两个与硅片相关的工位，硅片的烧制工位同时也是硅片的装载工位，硅片被通过平移机构装入镂空载板中，镂空载板包括多个，多个镂空载板在硅片的装载工位上下排列且等间距均布，形成硅片载具，单个镂空载板上至少设有一个镂空部位和一个安装部位，镂空部位位于镂空载板的中部，所述安装部位位于所述镂空载板的一侧，多个镂空载板的安装部位位于镂空载板的同一侧。本发明采用竖向送片和水平插片的方式，硅片和电极片的交替对插在真空炉腔内完成，对于镀膜过程来说，从插片到镀膜的过程，都可以进行氛围控制，有利于调整镀膜环境，提升镀膜质量。
一种 pecvd 镀膜

[实用新型]气体分流装置-CN202222978258.1有效
发明人：朱太荣;刘磊;张武;林佳继 -专利权人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
申请日： 2022-11-09 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： F16K11/074 文献下载
摘要：本实用新型属于气体输送技术领域，公开了一种气体分流装置，该装置包括变径接头，变径接头一端与气源相连，变径接头的另一端的连接有分流盘，分流盘上设置有若干第一通行孔，气体分流装置还包括分流管，分流管的第一端与分流盘上的第一通行孔相连。通过变径接头、分流盘和分流管能够使分流管的进气端与进气口的位置相同，从而使气体进入到分流管时的流量均匀，避免进气端距离进气口不同造成的气体流量不同，从而降低生产产品的不良率，提高生产效率。
气体分流装置