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- [实用新型]真空腔门结构及真空设备-CN202222187992.6有效
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林佳继;朱鹤囡;戴佳
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拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
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2022-08-19
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2022-11-25
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C23C14/22
- 本实用新型公开了一种真空腔门结构及真空设备，真空腔门结构安装在真空壳体的外侧壁上，且用于封闭或者打开真空壳体的开口，真空腔门结构包括安装架、支架、腔门组件和锁合组件，安装架连接在真空壳体上，安装架上设有沿第一方向延伸的第一滑轨，支架可滑动地设在第一滑轨上，支架上设有沿第二方向延伸设置的第二滑轨，第二方向与第一方向呈夹角设置，腔门组件可滑动地设在第二滑轨上以使得腔门组件能够封闭开口或者打开开口，锁合组件连接在真空壳体的外侧壁上，锁合组件用于将腔门组件锁紧在封闭开口的位置。该真空腔门结构在确保对开口的密封作用下方便开合操作，减轻了操作人员的劳动强度。
- 空腔结构真空设备
- [实用新型]一种真空冷却装置-CN202222017872.1有效
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罗迎春;林佳继;龙占勇;李洪
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2022-08-02
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2022-11-22
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F27D15/02
- 本实用新型公开了一种真空冷却装置，该真空冷却装置安装在热炉的进料口处，真空冷却装置包括冷却室本体、升降模组、第一门体和第二门体，冷却室本体限定出运输通道以及环绕运输通道设置的冷却腔，运输通道具有第一出入口和第二出入口，第一出入口用于进出元件，第二出入口与进料口对接，升降模组包括升降驱动源和升降支架，升降支架的外侧壁止抵在运输通道的内侧壁上，升降支架用于支撑舟架，第一门体配合在第一出入口处，第二门体配合在第二出入口处。该真空冷却装置能够快速地实现元件冷却，并且在冷却元件的同时热炉的炉体不会被冷却，使得热炉在继续生产时无需重新加热炉体，提升热炉的生产效率。
- 一种真空冷却装置
- [实用新型]一种衬底处理装置-CN202222023840.2有效
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罗迎春;林佳继;龙占勇;李洪
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2022-08-02
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2022-11-22
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F27D15/02
- 本实用新型公开了一种衬底处理装置，该衬底处理装置包括冷却室本体、升降模组、旋转模组和第一门体，冷却室本体限定出运输通道以及环绕运输通道设置的冷却腔，运输通道具有第一出入口和第二出入口，第一出入口用于进出衬底，第二出入口与热炉的进料口对接，运输通道内设有用于承载衬底的舟架。升降模组包括升降驱动源和升降支架，升降支架的外侧壁止抵在运输通道的内侧壁上，旋转模组设在升降支架上且用于驱动舟架转动，第一门体配合在第一出入口处。该衬底处理装置能够快速地实现衬底冷却，并且在冷却衬底的同时热炉的炉体不会被冷却，使得热炉在继续生产时无需重新加热炉体，提升热炉的生产效率。
- 一种衬底处理装置
- [实用新型]一种多功能真空腔体-CN202221584086.3有效
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戴佳;朱鹤囡;董雪迪;林佳继
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拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
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2022-06-23
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2022-11-22
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C23C16/44
- 本实用新型公开了一种多功能真空腔体，包括腔体框架、前腔门组件和后腔门组件，前腔门组件和后腔门组件通过连接机构与腔体框架连接，前腔门组件和后腔门组件设置于腔体框架两侧，前腔门组件或/和后腔门组件设置为多腔门结构，本实用新型通过多腔门的结构降低了腔门的质量，减小对铰链的负载，提升了铰链的使用寿命；同时降低了腔门的尺寸，进而降低了生产加工难度，提升腔门的强度和寿命，并使腔门具备更优的密封性能，能有效保障真空腔体的真空度，而且腔门打开占用的面积为现有结构的一半或更少，减小了设备的占用面积，本实用新型将前腔门组件和后腔门组件同步开启，增大了设备维保空间，便于工作人员操作，提高维修效率。
- 一种多功能空腔
- [实用新型]一种真空镀膜设备-CN202221585117.7有效
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戴佳;朱鹤囡;董雪迪;张武;林佳继
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拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
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2022-06-23
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2022-11-22
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C23C16/44
- 本实用新型公开了一种真空镀膜设备,包括加热装置、载板装置、特气喷淋装置、阀腔和工艺腔体，载板装置装载硅片，工艺腔体包括镀膜真空腔体一、镀膜真空腔体二和载板转换真空腔体，载板转换真空腔体连接在镀膜真空腔体一和镀膜真空腔体二之间，工艺腔体的各真空腔体之间通过阀腔连接，载板转换真空腔体用于硅片镀膜面的转换，本实用新型通过可双面镀膜的载板装置和载板转换真空腔体，实现了在一条密闭生产线上硅片双面镀膜的功能，并在镀膜过程中，硅片载板转换真空腔体实现硅片镀膜面的转换，硅片不再与大气接触，杜绝了空气中水蒸气、氧气、灰尘等因素对硅片性能的不良影响，提高了硅片的生产质量。
- 一种真空镀膜设备
- [实用新型]一种特气源液蒸汽补给系统-CN202221948426.6有效
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郭路斌;林佳继;刘群
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2022-07-27
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2022-11-15
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G01L19/08
- 本实用新型公开了一种特气源液蒸汽补给系统，该特气源液蒸汽补给系统包括保护气源、加热箱体和检测装置，加热箱体用于容纳且加热特气源液瓶，特气源液瓶的进口与保护气源相连，出口与特气使用设备相连，检测装置包括压力检测器和气体浓度检测器，压力检测器和气体浓度检测器设在特气源液瓶的出口与特气使用设备之间。该特气源液蒸汽补给系统的压力检测器能够检测特气源液蒸汽的供给压力，气体浓度检测器能够检测特气源液蒸汽的浓度，由此可以根据压力检测器和气体浓度检测器的测试结果，调整加热箱体的温度以及保护气源的输出压力，确保特气源液蒸汽的供给压力和挥发量处于较为稳定的状态，从而有利于提升设备的制造良率。
- 一种特气源液蒸汽补给系统
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