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[发明专利]极紫外遮罩及其制造方法-CN201910818426.0有效
发明人：石志聪;简聪智;傅士奇;傅啟华;郑国堂;刘柏村;李宗泉 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G03F1/22 文献下载
摘要：一种极紫外线遮罩及其制造方法。极紫外(extreme ultraviolet；EUV)遮罩包括：多层钼/硅堆叠、覆盖层及在覆盖层上的吸收体层。钼/硅堆叠包含安置于遮罩基板的第一主表面之上的交替的钼及硅层；覆盖层由钌制成并且安置在多层钼/硅堆叠之上。极紫外遮罩包括电路图案区域及粒子吸引区域，并且覆盖层在粒子吸引区域的图案的底部处暴露。
紫外及其制造方法

[发明专利]倍缩光罩容器及微影系统-CN202110569403.8在审
发明人：石志聪;简聪智;李宗泉;张皓翔 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：一种倍缩光罩容器及微影系统，倍缩光罩容器包含底座，包含第一表面；以及遮盖，包含第二表面，遮盖以第一表面朝向第二表面的方式耦合至底座。底座与遮盖形成包含倍缩光罩的内部空间。此倍缩光罩容器包含限制机构配置于内部空间中，以固定内部空间中的倍缩光罩与邻设于倍缩光罩的结构。此结构至少局部围绕倍缩光罩，且限制倍缩光罩容器的外部环境与内部空间之间的污染的通路。此结构包含阻障设于第一表面与第二表面上。在其他例子中，填料设置于阻障与第一表面及第二表面之间的间隙中。在其他例子中，此结构包含墙结构设于第一表面与第二表面上以及限制机构之间。
倍缩光罩容器系统

[发明专利]极紫外线微影方法、极紫外线遮罩及其形成方法-CN202110653476.5在审
发明人：石志聪;吴于勳;刘柏村;李宗泉 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G03F1/24 文献下载
摘要：在一些实施例中，一种极紫外线微影方法、极紫外线遮罩及其形成方法，形成极紫外线(EUV)遮罩的方法包含形成多层Mo/Si叠层，此多层Mo/Si叠层包括在遮罩基材之上交替堆叠的Mo层及Si层；在多层Mo/Si叠层之上形成钌覆盖层；采用卤素元素、五价元素、六价元素、或其等的组合掺杂钌覆盖层；在钌覆盖层之上形成吸收层；蚀刻吸收层以在吸收层中形成图案。
紫外线方法及其形成

[发明专利]处理半导体晶片的方法-CN202011255598.0在审
发明人：李奕纬;陈瑞杰;石志聪;李宗泉 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：根据部分实施例，本公开提供了一种用于处理半导体晶片的方法。此方法包括在微影曝光设备中将载体以及由载体支撑的遮罩一起运输。此方法还包含透过磁场调节载体中的微粒。另外，此方法包括从载体移除遮罩。此方法还包含使用遮罩对微影曝光设备中的半导体晶片执行微影曝光制程。
处理半导体晶片方法

[发明专利]一种2-氨基萘磺酸混合物的制备工艺-CN201810698363.5有效
发明人：王在军;任帅昌;刘文静;杨海军;李宗泉;张克宏 -专利权人：山东创蓝垚石环保技术有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： C07C309/47 文献下载
摘要：本发明公开了一种2‑氨基萘磺酸混合物的制备工艺，将2‑萘酚在质量分数为98～100％硫酸和硫酸的质量分数为105％的发烟硫酸中进行磺化获得含有2‑羟基‑6,8‑萘二磺酸、2‑羟基‑3,6‑萘二磺酸以及2‑萘酚单磺酸混合物的磺化液，向磺化液中添加氨水调节氨值，再加入亚硫酸铵催化氨解，然后加入稀硫酸进行酸化，得到2‑氨基‑6,8‑萘二磺酸、2‑氨基‑3,6‑萘二磺酸和2‑氨基单磺酸的混合物，即为2‑氨基萘磺酸混合物。该混合物在115％的发烟硫酸中磺化得到2‑氨基‑3,6,8萘三磺酸。本发明能够大大提高2‑萘酚的利用率。
一种氨基萘磺酸混合物制备工艺

[发明专利]一种神经外科病床辅助装置-CN202010350890.4在审
发明人： 李宗泉 -专利权人： 李宗泉
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： A61G7/015 文献下载
摘要：本发明公开了一种神经外科病床辅助装置，包括组合式床板，组合式床板包括固定板和活动板，固定板的两端分别通过合页机构与活动板转动连接，组合式床板的前后两端下方固定有锚固底板，锚固底板的中心处固定有立板，立板的两侧对称滑动连接有滑块，滑块的上端通过电液推杆支撑有连接柱，活动板的下侧固定有与连接柱铰接的耳座，立板的内侧对称固定有内限位板，电液推杆的缸体外侧固定有外限位板，内限位板中转动支撑有调节杆，调节杆设有丝杆部和六角台。本发明利用倾斜的活动板形成开放式的拘束床，不会加重病人的躁动程度，避免出现病人发病时从床上掉落情况；活动板倾斜角度可调节，能够根据病人的康复情况提供不同程度的约束功能。
一种神经外科病床辅助装置

[发明专利]生成布局图案的方法及控制系统-CN201911053358.X在审
发明人：石志聪;王晟名;郑雅如;刘柏村;李宗泉 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： G03F7/09 文献下载
摘要：本案提供一种生成布局图案的方法及控制系统。生成布局图案的方法包括以下步骤：将抗蚀材料的光阻层设置在基板上，以及在此光阻层上方设置顶层。顶层对于极紫外(EUV)辐射为透明的，而顶层对于深极紫外(DUV)辐射为不透明的。方法还包括以下步骤：使用由极紫外辐射源生成的辐射来照射光阻层。辐射穿过顶层以曝光光阻层。
生成布局图案方法控制系统

[发明专利]曝光方法-CN201911057025.4在审
发明人：石志聪;简聪智;李宗泉 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：曝光方法包括降低在极紫外(extreme ultraviolet；EUV)遮罩处或相邻于极紫外遮罩的环境的折射率至1.0以下。EUV遮罩为EUV微影系统，该EUV微影系统使用从辐射源发射的EUV辐射形成EUV辐射的投影光束。方法进一步包括将EUV遮罩曝光于EUV辐射的投影光束。
曝光方法

[发明专利]极紫外光微影系统-CN201910760194.8在审
发明人：石志聪;刘柏村;李宗泉 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-08-16 - 公布日： 2020-02-25 - 主分类号： G03F1/62 文献下载
摘要：一种极紫外(EUV)光微影系统包括极紫外辐射源、极紫外辐射源、收集器、掩模版台与至少一个感测器。极紫外辐射源用于发射极紫外辐射。收集器用于收集并聚焦极紫外辐射。掩模版台用于支撑掩模版，其中掩模版包括用于暴露于极紫外辐射的薄膜。至少一个感测器是配置用以侦测由于薄膜的断裂而产生的粒子。因此，最小化了粒子的污染。
紫外光系统

[发明专利]一种适用于饱和砂土场地的地锚装置-CN201710418720.3有效
发明人：王维国;干啸洪;方继伟;顾俊钢;谢玲儿;朱建朝;陈立平;官华;李宗泉 -专利权人：宁波市交通建设工程试验检测中心有限公司
申请日： 2017-06-06 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： E02D5/80 文献下载
摘要：本发明公开一种适用于饱和砂土场地的地锚装置，包括钻杆和钻头，所述钻头安装在所述钻杆底端，所述钻杆壁上均匀布置多个透水孔。本发明的目的在于尽量减少或克服传统地锚装置在饱和砂土场地钻入过程中产生过大的扰动而致使地锚周边砂土发生大范围液化的问题，在钻杆外侧设有透水孔，钻杆入土过程中扰动引起的超孔隙水可以通过透水孔渗入钻杆，加快其消散，从而减小液化发生的可能，保证地锚钻杆的抗拔性能。
一种适用于饱和砂土场地装置

[实用新型]稳定型发动机启动轴-CN201721824272.9有效
发明人：刘钰伦;李宗泉 -专利权人：重庆龙文机械设备有限公司
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： F16D7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种稳定型发动机启动轴，包括传动轴、驱动齿轮和超越离合器；所述传动轴端部形成有凸缘；所述凸缘的外圆为外锥面，所述超越离合器的内圈内圆为与所述外锥面摩擦配合的内锥面；所述驱动齿轮固定外套于超越离合器的外圈；所述传动轴上通过螺纹连接有用于沿轴向压住超越离合器内圈端面使所述内锥面和外锥面相互压紧的螺母；本启动轴具有过载保护功能，当飞轮阻力过大时，超越离合器与传动轴之间将发生打滑，避免驱动齿轮受损。
超越离合器驱动齿轮传动轴外锥面发动机启动轴内锥面稳定型凸缘螺母过载保护功能本实用新型传动轴端部飞轮阻力固定外套螺纹连接摩擦配合内圈端面启动轴打滑内圈内圆外圆压紧压住轴向受损

[实用新型]具有润滑结构的发动机启动轴-CN201721823807.0有效
发明人：刘钰伦;李宗泉 -专利权人：重庆龙文机械设备有限公司
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： F16D7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有润滑结构的发动机启动轴，包括传动轴、驱动齿轮和超越离合器；所述传动轴端部形成有凸缘；所述凸缘的外圆为外锥面，所述超越离合器的内圈内圆为与所述外锥面摩擦配合的内锥面；所述驱动齿轮固定外套于超越离合器的外圈；所述传动轴上通过螺纹连接有用于沿轴向压住超越离合器内圈端面使所述内锥面和外锥面相互压紧的螺母；所述传动轴具有一轴承安装轴段；所述轴承安装轴段的外圆设有环槽，所述传动轴的外圆上设有进油孔，所述进油孔通过斜油道与所述环槽连通；当飞轮阻力过大时，超越离合器与传动轴之间将发生打滑，避免驱动齿轮受损，另外，该启动轴在拆卸轴承时能够将润滑油引入到轴承内圈与传动轴外圆之间，便于轴承的拆卸。
超越离合器传动轴驱动齿轮外锥面外圆发动机启动轴轴承安装轴润滑结构进油孔内锥面环槽凸缘拆卸轴承螺母本实用新型传动轴端部传动轴外圆飞轮阻力固定外套螺纹连接摩擦配合内圈端面轴承内圈启动轴润滑油斜油道打滑内圈内圆压紧压住轴向连通受损引入

[实用新型]神经外科手术引流器-CN201720686739.1有效
发明人： 李宗泉 -专利权人： 李宗泉
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2018-10-19 - 主分类号： A61M1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种神经外科手术引流器，包括底板、支撑杆、支撑板、带刹万向轮、真空泵、缓冲瓶、柱形分流瓶、废液瓶、空腔、引流软管、引流吸头，支撑板上端面的真空泵与缓冲瓶连接，空腔与缓冲瓶连接，空腔上连接有多个空腔连接管，引流软管一端的引流连接管与空腔连接管螺纹连接，另一端连接有引流吸头，缓冲瓶下端连接的导流管贯穿支撑板与柱形分流瓶连接，其侧壁上连接有多根玻璃导管，玻璃导管的下端与废液瓶进液管可拆卸连接；本实用新型可有效防止引流软管末端弯折而堵塞，若在引流过程中发现引流量超过预期时，可以随时安装废液瓶进行废液收集，十分方便，并且安装拆卸方便，便于清洗。
空腔缓冲瓶引流引流软管废液瓶支撑板神经外科手术本实用新型玻璃导管连接管引流器真空泵吸头下端柱形底板带刹万向轮可拆卸连接引流连接管分流拆卸方便废液收集螺纹连接末端弯折一端连接导流管进液管引流量支撑杆上端侧壁清洗堵塞贯穿发现

[实用新型]变速器输出轴齿轮-CN201721827301.7有效
发明人：刘钰伦;李宗泉 -专利权人：重庆龙文机械设备有限公司
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： F16H55/17 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种变速器输出轴齿轮，包括输出轴和输出齿轮；所述输出轴端部形成有凸缘；所述凸缘的外圆为外锥面，所述输出齿轮的内圆为与所述外锥面摩擦配合的内锥面；所述输出轴上通过螺纹连接有用于沿轴向压住输出齿轮使所述内锥面和外锥面相互压紧的螺母；具有过载保护功能，当输出轴的转速瞬间波动时，输出齿轮与输出轴之间将发生打滑，避免输出齿轮受损。
输出齿轮输出轴外锥面变速器输出轴内锥面齿轮凸缘螺母过载保护功能本实用新型输出轴端部螺纹连接摩擦配合打滑内圆外圆压紧压住轴向受损

[实用新型]一种隧道用预制混凝土构件-CN201720546084.8有效
发明人：谢玲儿;陈立平;方继伟;干啸洪;朱建朝;顾俊钢;周可人;李宗泉 -专利权人：宁波市交通建设工程试验检测中心有限公司
申请日： 2017-05-16 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： E21D11/08 文献下载
摘要：本实用新型公开一种隧道用预制混凝土构件，所述构件为长方体结构，包括正面、背面和四个侧面，其中所述正面和背面为正方形，所述构件其中的两个侧面为连接面，所述连接面中部设有连接凸台或连接凹槽，所述连接凸台与所述连接凹槽形状对应。该预制混凝土构件用于搭建隧道的主体结构，该构件便于运输，构件之间通过连接凸台和连接凹槽连接，安装方便，可以避免连接错误，并通过连接螺栓进行紧固，保证隧道主体结构的强度。
预制混凝土构件连接凹槽连接凸台连接面隧道背面隧道主体结构本实用新型长方体结构安装方便便于运输连接螺栓形状对应主体结构侧面紧固保证

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