“徐从康”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果75个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于柔性MicroLED独立无支撑的无机透明导电电极的制备方法-CN202111192137.8有效
发明人： 徐从康;王坤;王江涌;王宝坤;颜怡 -专利权人：汕头大学
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01L33/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于柔性MicroLED独立无支撑的无机透明导电电极的制备，包括从柔性衬底上剥离无机透明导电氧化物薄膜，柔性衬底从下往上结构是有机柔性衬底和无机透明导电氧化物薄膜，剥离方法为将含有无机透明导电氧化物薄膜的柔性衬底溶解苯酚、四氯乙烷、甲苯、二甲苯、DMF、DMAC、DMSO、NMP中的一种或者多种中，在50℃至100℃下加热搅拌。有机柔性衬底为PET、PEN、BOPP、OPP、PE、PI膜中的一种或者多种；无机透明导电氧化物薄膜为ZnO、AZO、IZO、ITO,ZTO等透明导电薄膜。本发明简化设备和工艺过程，节省时间和成本，得到的独立无支撑的无机透明导电电极可用于柔性micro‑LED，作为一种独立无支撑的柔性micro‑LED。解决芯片高度大于其长宽时造成的不利于稳定地固定在所需基板的问题。
用于柔性 microled 独立支撑无机透明导电电极制备方法

[发明专利]一种柔性衬底上具有线性可调压电特性的ZnO薄膜电激发器制备方法-CN202011254831.3有效
发明人： 徐从康 -专利权人：赣州优膜科技有限公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H10N30/093 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性衬底上具有线性可调压电特性的ZnO薄膜电激发器制备方法，制备方法包括(1)以镍合金基带为衬底，选用或不选用特定织构化缓冲层；(2)在缓冲层上制备或不制备底电极薄膜；(3)进一步在缓冲层或底电极薄膜上外延生长未掺杂ZnO压电薄膜；(4)最后在ZnO薄膜上制备顶电极薄膜。得到的柔性ZnO薄膜电激发器：1.压电ZnO薄膜面外晶体取向为ZnO，具有极性；2.薄膜电激发器压电响应曲线为线性曲线，无电滞回线特性；3.薄膜电激发器纵向压电系数可调，数值范围为1‑50pm/V。
一种柔性衬底具有线性可调压电特性 zno 薄膜激发制备方法

[发明专利]一种氧化物高阻隔膜、制备的方法以及真空卷绕镀膜设备-CN202210840196.X在审
发明人： 徐从康;贺涛;陈捷豪 -专利权人：浙江弘康半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化物高阻隔膜、制备的方法以及真空卷绕镀膜设备，包括将柔性基底置于机械轴或者气胀轴上，通过卷绕路径进行穿膜；开启真空泵将卷绕区域抽至1‑10Pa时，镀膜系统继续抽真空，开启预处理离子源，通过粒子轰击对基底表面进行清洗以及增强基底与镀膜的结合强度；之后继续抽真空至10‑2～10‑3Pa，开启镀膜；镀膜结束后回温，恢复真空至真空度达到1‑10Pa时，用后处理的离子源对膜层进行轰击，提高其致密度与阻隔性能。本发明的后处理与前处理所使用的离子源为同一参数，一次完整的镀膜流程即可实现高阻隔膜的制备，提高了产品的阻隔性能与致密度，降低成本，加快速率，提高产能。
一种氧化物阻隔制备方法以及真空卷绕镀膜设备

[发明专利]Cu互连集成电路用多层合金扩散阻挡层及其制备方法-CN202210700880.8有效
发明人： 徐从康;马赛;张肖;陈箫箫 -专利权人：亚芯半导体材料（江苏）有限公司;亚芯电子科技（常州）有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： H01L23/532 文献下载
摘要：本发明属于半导体集成电路技术领域，具体涉及一种Cu互连集成电路用多层合金扩散阻挡层及其制备方法，自下而上依次包括Si衬底层、高熵合金中间阻隔层和Cu膜；所述高熵合金中间阻隔层自上而下依次包括第一涂层、第二涂层、第三涂层、第四涂层以及第五涂层；本发明以NbMoTaW和VCrTiZr高熵合金为靶材，采用直流磁控溅射的方法，在Si基体层上溅镀涂层得到Si‑VCrTiZr‑NbMoTaW‑VCrTiZr‑NbMoTaW‑VCrTiZr‑Cu复合结构的高熵合金扩散阻挡层。所得的Cu互连集成电路高熵合金扩散阻挡层在400℃～750℃下高温退火30min后仍能保持优异的热稳定性和扩散阻挡性能，在Cu互连集成电路上有广泛的应用前景。
cu 互连集成电路多层合金扩散阻挡及其制备方法

[实用新型]一种等离子体辅助原子层沉积高阻隔膜装置-CN202221366448.1有效
发明人： 徐从康 -专利权人：浙江弘康半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体辅助原子层沉积高阻隔膜装置，包括镀膜室、远程等离子体原子层沉积系统，所述镀膜室两侧分别设有收卷辊和放卷辊，所述镀膜室设有多个，且依次轴向相邻拼接密闭，所述镀膜室内设有导向辊，导向辊与收卷辊和放卷辊之间通过基材料带相连，每个镀膜室上方均设有远程等离子体原子层沉积系统，其等离子体发射端紧挨通过基材料带。本实用新型一种等离子体辅助原子层沉积高阻隔膜装置，通过针对镀膜室数量的灵活增设或减配，以此适配反应的循环次数来控制薄膜的厚度，其中装配后的每个镀膜室之间分别独立通气，每个腔体气压和气体组分可分别适当调整，有利于沉积出质量优良的薄膜。
一种等离子体辅助原子沉积阻隔装置

[发明专利]一种柔性电致变色器及其制备方法-CN201910689663.1有效
发明人： 徐从康;吕凯;王江涌 -专利权人：汕头大学
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G02F1/153 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性电致变色器及其制备方法，制备方法主要包括：柔性可拉伸PDMS基片的制备、镀有Dielectric‑Metal‑Dielectric结构的PDMS的制备、TCO镀膜的PDMS对电极的制备、固体/凝胶电解质的制备；最后用丝网印刷方法把固体/凝胶电解质印刷到镀有Dielectric‑Metal‑Dielectric结构的PDMS上，待固体/凝胶电解质固化成型后，将TCO镀膜的PDMS对电极放到固体/凝胶电解质上，在其周围用PVB胶进行密封处理，形成图案阵列结构的ECDs。本发明的柔性电致变色器分为柔性基板、固体/凝胶电解质层、DMD结构的电致变色层、透明导电层，可多次循环变色、循环变色更加稳定，变色效率更加高、具备柔性。制备方法简单高效成本低，能快速实现工业化生产。应用在汽车和建筑智能系统方面，可降低城市消耗的能量，达到节能的目的。
一种柔性变色及其制备方法

[发明专利]一种柔性衬底上晶体取向和极性可控的外延AZO薄膜及其制备方法-CN201911052006.2有效
发明人： 徐从康;李永宽;王江涌 -专利权人：汕头大学
申请日： 2019-10-31 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种柔性衬底上晶体取向和极性可控的外延AZO薄膜及其制备方法，制备方法包括(1)将由镍合金基带与织构化缓冲层构成的耐高温柔性衬底和靶材放入真空室并抽真空，并给衬底加热；(2)通过流量控制器给真空室通入气体；(3)通过磁控溅射生长AZO薄膜。得到的柔性外延AZO薄膜：1.晶体取向与极性可控，包含了极性外延AZO(002)薄膜，非极性外延AZO(110)薄膜以及多晶AZO薄膜；2.薄膜导电率高，导电率范围为3Ω·cm至2E‑5Ω·cm；3.薄膜生长在耐高温柔性衬底上，适合卷对卷大规模工业化生产，其适用弯曲半径可低至0.5cm；4.薄膜与衬底耐高温，制备与应用时可耐800℃高温；5.薄膜具有透明性，厚度约为100nm、粗糙度Rq为1‑5cm时，可见光透过率为80％‑95％。
一种柔性衬底晶体取向极性可控外延 azo 薄膜及其制备方法

[发明专利]冷喷涂实现ITO靶材背面金属化的方法-CN202210745026.3在审
发明人： 徐从康;马赛;陈箫箫 -专利权人：亚芯半导体材料（江苏）有限公司
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明属于半导体集成电路技术领域，具体涉及一种冷喷涂实现ITO靶材背面金属化的方法，包括如下步骤：步骤S1，对ITO靶材预处理并安装固定；步骤S2，将金属铟粉装入冷喷涂机内，通入保护气体；步骤S3，通过超音速气流与金属铟粉形成气‑固双相流，加速撞击预处理ITO靶材背面并形成涂层；步骤S4，将带有涂层的ITO靶材通过钎焊联接铜背板；本发明的冷喷涂实现ITO靶材背面金属化的方法通过对预处理的ITO靶材进行冷喷涂，保障了靶材基体金属铟不受高温影响，同时也控制温度使金属层和基底拥有足够的结合力，提高了原料利用率，ITO靶材金属化速度快、效率高，适于工业大批量生产。
喷涂实现 ito 背面金属化方法

[实用新型]一种降低水汽透过率的阻隔膜-CN202220367088.0有效
发明人： 徐从康;王坤;王江涌;冯煜锋 -专利权人：浙江弘康半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L51/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种降低水汽透过率的阻隔膜，包括由下至上依次复合的有机柔性衬底层、无机氧化物层、单层的有机/无机杂化聚合物，其中单层的有机/无机杂化聚合物层通过旋涂的方式复合。本实用新型一种降低水汽透过率的阻隔膜，利用硅氧烷单体的水解和缩聚反应生成有机/无机杂化聚合物，并将此杂化材料涂敷于氧化物阻隔膜上，一方面可以填补无机层中的针孔和裂纹；另一方面通过与无机层表面的活性羟基反应生成更紧密的化学键从而产生协同作用，最终使WVTR以数量级地降低。
一种降低水汽透过阻隔

[实用新型]一种柔性透明超低水汽透过率阻隔膜-CN202220320502.2有效
发明人： 徐从康;王坤;王江涌;冯煜锋 -专利权人：浙江弘康半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本实用新型提供一种柔性透明超低水汽透过率阻隔膜，涉及柔性薄膜领域，包括自下而上依次复合的有机柔性衬底、一层或多层具有褶皱形貌的隔水隔氧薄膜、有机层，所述隔水隔氧薄膜由有机聚合物层、无机氧化物层自下而上复合而成。本柔性透明超低水汽透过率阻隔膜是在有机柔性衬底上依次叠加具有“褶皱”形貌的有机聚合物层和无机氧化物层的隔水隔氧薄膜。利用有机聚合物层和无机氧化物层之间的热膨胀系数不同的原理在产生独特的“褶皱”形貌同时生成表面十分均匀致密的无机物层，从而实现对水汽氧气的阻隔，最终实现可见光透光率(380至800nm)大于85％和水汽透过率(WVTR)在38℃，90％RH条件下低于5×10‑6g/m2/天。
一种柔性透明水汽透过阻隔

[实用新型]一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置-CN202220411723.0有效
发明人： 徐从康;贺涛 -专利权人：浙江弘康半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置，通过氧气瓶提供氧气，包括转接头、内管、外管，其中转接头的一侧连接有储气管，储气管分别通过轴承连接外管和内管，外管包绕于内管外，所述外管和内管的另一端通过轴承连接有轴一和轴二，并由轴一和轴二单独带动驱动，所述转接头与内管之间通过转动以控制氧气的流量大小。本方案通过气泵输出的恒定气压，经转接头进入储气管传而导至内管内，氧气通过内管放气孔进入外管，再通过外管的放气孔进入镀膜区域，同时内管与外管均可通过驱动转动，内管与外管放气孔的转动配合以及针阀来调节通入氧气的流量，并通过外管的旋转来调整氧气通入的位置与角度，以此来调节通入氧气分布的均匀性。
一种可控真空镀铝均匀氧气装置

[实用新型]一种有效提高薄膜密度的卷对卷电子束镀膜设备-CN202220411301.3有效
发明人： 徐从康;陈捷豪 -专利权人：浙江弘康半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种有效提高薄膜密度的卷对卷电子束镀膜设备,包括位于上方的卷绕室、下方的镀膜室。镀膜室与卷绕室通过镀膜主辊旁边的缝隙相连，所述卷绕室内设有卷绕系统、在线膜厚测试仪、等离子预处理系统，所述卷绕室顶部连有抽真空系统，所述镀膜室内设有电子枪系统、等离子体辅助系统、等离子监测系统、晶振仪、蒸发坩埚、偏转磁场系统。本实用新型能够有效克服成膜粒子在基底上迁移能力差所引起的致密度差的问题，具有蒸发速度快，成膜质量高的特点，还能有效地解决由于电子束的高能量改变沉积薄膜的化学计量比导致的阻隔性能的变差的缺点，利用反应性气体将金属元素转化为化学计量比稳定的高阻隔氧化物层，有效提高薄膜密度。
一种有效提高薄膜密度电子束镀膜设备

[实用新型]一种稳定高效的电子束真空镀膜设备-CN202220431614.5有效
发明人： 徐从康;陈捷豪;贺涛;马赛;胡立泓 -专利权人：浙江弘康半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种稳定高效的电子束真空镀膜设备，包括镀膜室和卷绕室两部分，镀膜室内设有镀膜系统，卷绕室内设有卷绕系统和线膜厚检测仪，卷绕室与镀膜室分别单独连接有不同真空抽速的抽真空系统，且两者间采用隔板隔开并独立抽真空，两个抽真空系统的抽速分别由镀膜原料的材料以及通入的反应气体决定。本实用新型能够有效克服由于镀膜室的局部压强差过大引起材料蒸发不均匀导致成膜质量下降等问题，具有蒸发稳定、成膜质量高的特点，还能有效地改善由于卷绕室与镀膜室的压强差过大导致材料的有效利用率降低的问题，有效提高镀膜材料的利用率，并且能有效地解决镀膜室真空度变化过大引起的电子枪产生打火的现象，有效提高电子枪的稳定性。
一种稳定高效电子束真空镀膜设备

[发明专利]一种降低水汽透过率的有机/无机杂化聚合物-CN202210165915.2在审
发明人： 徐从康;王坤;王江涌;冯煜锋 -专利权人：浙江弘康半导体技术股份有限公司
申请日： 2022-02-23 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： C09D183/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种降低水汽透过率的有机/无机杂化聚合物，包括将此种有机/无机杂化聚合物涂敷于氧化铝、氧化硅水汽阻隔层上并固化。本发明通过将有机硅氧烷单体按一定的比例混合后在一定条件下发生水解缩合反应得到。将此种有机/无机杂化聚合物涂敷于氧化铝、氧化硅阻隔层上并固化，一方面可以填补无机层中的针孔和裂纹；另一方面通过与无机层表面的活性羟基反应生成更紧密的化学键从而产生协同作用，最终使水蒸气透过率(WVTR)实现一个数量级的降低。
一种降低水汽透过有机无机聚合物

[发明专利]大尺寸高熵高纯度难熔金属合金溅射靶材及其制备工艺-CN202210072452.5在审
发明人： 徐从康;马赛;贺涛;陈箫箫 -专利权人：亚芯半导体材料（江苏）有限公司;亚芯电子科技（常州）有限公司
申请日： 2022-01-21 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明属于高熵难熔金属合金溅射靶材技术领域，具体涉及一种大尺寸高熵高纯度难熔金属合金溅射靶材及其制备工艺，包括以下步骤：步骤S1，将金属粉与用氟和/或氯元素气体反应，制备出卤化物前驱体；步骤S2，对卤化物前驱体进行提纯，得到高纯度卤化物；步骤S3，将高纯度卤化物采用化学气相沉积法用还原气体还原成高纯金属；步骤S4，将高纯金属沉积到基体材料上，一步法生产出大尺寸高熵高纯度难熔金属合金溅射靶材；本发明制备的大尺寸高熵高纯度难熔金属合金溅射靶材，具有工序简单、尺寸大、纯度高、密度高、一致性好等优势。
尺寸高熵高纯度金属合金溅射及其制备工艺

1
2
3
4
5
下一页»
尾页
共 75 条