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- [实用新型]一种上胶机-CN201520655203.4有效
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张斌;王猛;卜祥民;庄士贤;林耀辉
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安徽三安光电有限公司
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2015-08-28
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2015-12-23
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H01L21/67
- 本实用新型提供了一种上胶机，对晶圆进行上胶和背洗处理，至少包括放置晶圆的吸盘、与所述吸盘连接的连轴、与所述连轴下端连接并驱动所述连轴升降的第一驱动装置、位于所述吸盘和第一驱动装置之间并贯穿所述连轴的磁流体、以及环绕所述吸盘的第一保护罩，其特征在于：所述第一保护罩内部设置第二保护罩，所述第二保护罩上端连接自由摆动的第三保护罩。本实用新型通过设置第一保护罩、第二保护罩和第三保护罩，实现光刻胶和背洗液的完全分离回收；并通过在磁流体表面设置与其一体成型的台阶，防止背洗液进入磁流体内部损坏磁流体。
- 一种上胶机
- [实用新型]一种备件清洗装置-CN201520579318.X有效
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张飞;郭晃亨;林兓兓;张家宏
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安徽三安光电有限公司
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2015-08-05
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2015-12-09
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B08B3/12
- 一种备件清洗装置，用于气相沉积设备中石英备件的清洗，包括：清洗槽、备件置放治具、气泡产生装置；其中，所述清洗槽用于盛放清洗液体及所述备件置放治具；所述备件置放治具包含有上、下支架，所述下支架活动连接于治具底面，于水平方向调节所述治具容纳备件的宽度；所述上支架活动连接于治具本体中部位置，于垂直方向调节所述治具容纳备件的高度，用以置放不同体积及形状的备件；所述气泡产生装置包括气泡发生器、气体流通管路。本实用新型可减少备件清洗过程中备件的损坏，以及降低对清洗装置使用的浪费。
- 一种备件清洗装置
- [实用新型]一种晶片载盘-CN201520349225.8有效
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谢祥彬;宋长伟;张家宏;林兓兓
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安徽三安光电有限公司
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2015-05-27
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2015-09-16
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C30B25/12
- 本实用新型提出一种晶片载盘，包括底盘和位于底盘上表面的托盘，所述托盘由若干个带有晶片凹槽的石墨盘组装而成，底盘与托盘之间、若干个石墨盘之间均通过固定件固定，由此组装而成的晶片载盘可以自由拆卸，该种载盘随着工艺条件的变化或受承载盘自身寿命的影响，可以对需要更换的部分进行替换而保留其余部分，因此可以有效提高载盘的整体使用效率，节省设备成本。为方便设备的维护与使用，晶片凹槽的尺寸、形状与所承载晶片的尺寸、形状相匹配，因此单个托盘可以兼顾不同形状、尺寸的晶片，满足外延生长的需要。
- 一种晶片
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