[发明专利]一种半导体器件稳态热阻测试装置在审
申请号: | 202110241705.2 | 申请日: | 2021-03-04 |
公开(公告)号: | CN113030678A | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
发明(设计)人: | 黄晓波;颜文 | 申请(专利权)人: | 泸州龙芯微科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人: | 周卫 |
地址: | 646000 四川省泸州市自贸区川南临港*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体器件 稳态 测试 装置 | ||
1.一种半导体器件稳态热阻测试装置,包括底座主体(1),其特征在于:所述底座主体(1)的内部开设有第一空腔(9),所述第一空腔(9)的内部转动连接有螺纹轴(10),所述螺纹轴(10)的右端与底座主体(1)的内壁之间通过轴承转动连接,所述螺纹轴(10)的左端位于底座主体(1)的外部,且连接处设置有轴承,所述螺纹轴(10)的左端固定连接有旋钮(12),所述螺纹轴(10)上螺纹旋合连接有第一滑动块(11),所述第一滑动块(11)的顶端位于底座主体(1)的外部,所述第一滑动块(11)的顶端固定连接有半导体放置壳(2),所述半导体放置壳(2)为凹型结构,所述半导体放置壳(2)的上方设有外壳盖板(3),所述半导体放置壳(2)的两侧内壁内对称开设有第三空腔(23),所述外壳盖板(3)的下表面对称固定连接有两根固定插杆(16),所述固定插杆(16)与第三空腔(23)活动连接,所述半导体放置壳(2)的内部设有半导体器件主体(5),所述外壳盖板(3)的上方设有若干个液冷袋。
2.根据权利要求1所述的一种半导体器件稳态热阻测试装置,其特征在于:所述半导体放置壳(2)的内表面对称固定连接有夹持块套接壳(14),所述夹持块套接壳(14)的内部活动连接有固定夹持块(15),且固定夹持块(15)为C型结构,所述固定夹持块(15)与半导体器件主体(5)的两侧卡合,所述夹持块套接壳(14)的底端内壁内对称开设有第二空腔(21),所述第二空腔(21)内均通过螺栓安装有电动推杆(19),所述电动推杆(19)的输出轴上固定连接有第二滑动块(20),所述第二滑动块(20)上通过转轴转动连接有支撑杆(22),两根所述支撑杆(22)呈X型,且连接处设置有转轴,所述固定夹持块(15)的底端对称开设有第二滑槽(18),所述支撑杆(22)的另一端在对应的第二滑槽(18)内滑动。
3.根据权利要求1所述的一种半导体器件稳态热阻测试装置,其特征在于:所述外壳盖板(3)的下表面对称固定连接有套接外壳(13),所述套接外壳(13)的内部活动连接有伸缩套杆(25),所述伸缩套杆(25)的顶端固定连接有第一顶紧弹簧(24),所述第一顶紧弹簧(24)的顶端与套接外壳(13)的内壁固定连接,所述伸缩套杆(25)的底端固定连接有顶板(26),所述顶板(26)的底端固定连接有防滑海绵(27),所述防滑海绵(27)与半导体器件主体(5)的上表面贴合。
4.根据权利要求1所述的一种半导体器件稳态热阻测试装置,其特征在于:所述底座主体(1)的上表面开设有第一滑槽(4),所述第一滑动块(11)在第一滑槽(4)的内部滑动。
5.根据权利要求1所述的一种半导体器件稳态热阻测试装置,其特征在于:所述底座主体(1)的上表面右侧固定连接有测试模块(7),所述半导体器件主体(5)的右端设有若干个触点(6),所述触点(6)与测试模块(7)对应连接。
6.根据权利要求1所述的一种半导体器件稳态热阻测试装置,其特征在于:所述第三空腔(23)为T型结构,所述第三空腔(23)的横向空腔内活动连接有插接块(28),所述插接块(28)上套接有固定板(29)、限位板(30)和第二顶紧弹簧(31),所述第二顶紧弹簧(31)的一端与固定板(29)固定连接,另一端与限位板(30)固定连接,所述固定板(29)与半导体放置壳(2)的内壁固定连接,所述插接块(28)的外端固定连接有拉板(8)。
7.根据权利要求6所述的一种半导体器件稳态热阻测试装置,其特征在于:所述固定插杆(16)的外表面开设有限位卡槽(17),所述插接块(28)的内端与限位卡槽(17)对应活动卡合。
8.根据权利要求6所述的一种半导体器件稳态热阻测试装置,其特征在于:所述插接块(28)的内端上方为斜面,所述固定插杆(16)的底端外部也为斜面,且两斜面的倾斜角度相同。
9.根据权利要求1-8任一所述的一种半导体器件稳态热阻测试装置,其特征在于:该用于半导体器件稳态热阻测试装置工作方法包括以下步骤:
S1:将半导体器件主体(5)放入两个固定夹持块(15)之间,启动电动推杆(19)推动第二滑动块(20)滑动,在转轴的作用下,支撑杆(22)转动,使固定夹持块(15)向夹持块套接壳(14)的外部运动,将半导体器件主体(5)夹紧,将外壳盖板(3)底端的固定插杆(16)插入第三空腔(23)的内部,使限位卡槽(17)与插接块(28)卡合,当固定插杆(16)向第三空腔(23)的内部运动时,固定插杆(16)上的斜面与插接块(28)上的斜面体贴合滑动,在限位板(30)的作用下,第二顶紧弹簧(31)收缩,当插接块(28)插入限位卡槽(17)内部后,第二顶紧弹簧(31)舒展,使第二滑槽(18)与限位卡槽(17)卡合,此时第一顶紧弹簧(24)收缩给予伸缩套杆(25)一个向下的力,将防滑海绵(27)与半导体器件主体(5)的表面顶紧,将半导体器件主体(5)固定;
S2:转动旋钮(12),带动螺纹轴(10)转动,使第一滑动块(11)向右侧滑动,使触点(6)与测试模块(7)接触,对半导体器件主体(5)进行稳态热阻测试;
S3:测试完毕后,拉动拉板(8),在限位板(30)的作用下,使插接块(28)与限位卡槽(17)分离,将外壳盖板(3)打开,调节电动推杆(19),将固定夹持块(15)收缩,将半导体器件主体(5)取出。
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