[发明专利]无螺栓衬底支撑件组件

权利要求书

1.一种衬底支撑件，其包括：

导电基板，其被布置为支撑陶瓷层，所述导电基板包括沿垂直于由所述导电基板限定的水平平面的轴线延伸的第一腔；和

被布置在所述第一腔内的耦合组件，所述耦合组件包括

被布置在所述第一腔内并且被配置为围绕所述轴线旋转的齿轮，和

布置在所述第一腔内的销，所述销沿所述轴线延伸穿过所述齿轮并进入所述导电基板下方的第二腔内，其中所述齿轮的旋转使所述销相对于所述导电基板向上或向下移动，其中所述销在所述齿轮旋转以使所述销向下移动到所述第二腔内时保持在所述第二腔内，并且其中所述销不延伸到所述导电基板的上表面。

2.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述第二腔位于(i)布置在所述导电基板下方的绝缘基板和(ii)衬底处理室的下壁中的至少一者内。

3.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述导电基板布置在绝缘基板上，并且其中所述第二腔位于所述绝缘基板内。

4.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述导电基板布置在衬底处理室的底表面上，并且其中所述第二腔位于所述衬底处理室的所述底表面下方。

5.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述导电基板布置在绝缘基板上，其中所述绝缘基板布置在衬底处理室的底表面上，并且其中所述第二腔延伸穿过所述绝缘基板并在所述衬底处理室的所述底表面下方。

6.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述第二腔包括螺母，并且其中所述销保持在所述第二腔中的所述螺母内。

7.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述齿轮的旋转引起所述销的旋转。

8.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中所述销的外表面、所述齿轮的内表面和所述第一腔的内表面中的至少一个是带螺纹的。

9.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中，所述齿轮是锥齿轮。

10.根据权利要求1所述的衬底支撑件，其中，所述耦合组件还包括小齿轮，所述小齿轮布置成与所述齿轮对接，并且其中所述小齿轮的旋转被转换为所述齿轮的旋转。

11.根据权利要求10所述的衬底支撑件，其中，所述小齿轮在与所述齿轮的轴线垂直的轴线上旋转。

12.一种衬底支撑件，其包括：

导电基板，其被布置为支撑陶瓷层，所述导电基板包括沿垂直于由所述导电基板限定的水平平面的轴线延伸的第一腔；

绝缘基板，其被布置在所述导电基板与衬底处理室的下壁之间，所述绝缘基板包括第二腔；和

被布置在所述导电基板的所述第一腔内的耦合组件，所述耦合组件包括

被布置在所述第一腔内并且被配置为围绕所述轴线旋转的齿轮，和

布置在所述第一腔内的销，所述销沿所述轴线延伸穿过所述齿轮并进入所述绝缘基板的所述第二腔内，其中所述齿轮的旋转使所述销相对于所述导电基板向上或向下移动，其中所述销在所述齿轮旋转以使所述销向下移动到所述第二腔内时保持在所述第二腔内，并且其中所述销不延伸到所述导电基板的上表面。

13.根据权利要求12所述的衬底支撑件，其中所述第二腔包括螺母，并且其中所述销保持在所述第二腔中的所述螺母内。

14.根据权利要求12所述的衬底支撑件，其中所述齿轮的旋转引起所述销的旋转。

15.根据权利要求12所述的衬底支撑件，其中所述销的外表面、所述齿轮的内表面和所述第一腔的内表面中的至少一个是带螺纹的。

16.根据权利要求12所述的衬底支撑件，其中，所述齿轮是锥齿轮。