[实用新型]一种柔性衬底基板以及高平整度柔性衬底

说明书

本实用新型涉及一种柔性衬底基板以及高平整度柔性衬底。柔性衬底基板包括一玻璃板和一吸附底板，玻璃板的正面涂覆有柔性衬底材料，吸附底板具有真空腔，能够将基板平整的吸附在真空平台平面上，以保证柔性衬底材料的和玻璃板的平整度。该基板在柔性衬底材料固化过程中，可增加底部真空吸附力，抑制柔性衬底材料向上的收缩力，防止玻璃板发生翘曲，提高柔性衬底和玻璃基板的平整度。还涉及一种高平整度柔性衬底，由柔性衬底材料上述柔性衬底基板上经高温固化后得到。该柔性衬底在固化制程中不会产生翘曲，具有较高的平整度，有助于提高产品的品质和相关工艺的制程精度。

技术领域

本实用新型涉及柔性衬底制备技术领域，特别是一种柔性衬底基板以及高平整度柔性衬底。

背景技术

由于柔性衬底具有轻便、可弯折的优点，在显示技术领域中有着广阔的前景。一般常用的柔性衬底材料为聚酰亚胺Polyimide(简称PI)，通过高温固化工艺，先将PI材料涂覆在玻璃基板上，经高温烘烤后固化成型。但是由于PI 材料的热膨胀系数普遍大于玻璃的热膨胀系数，使得高温固化工艺中PI材料会带动玻璃发生翘曲，影响后续工艺制程，甚至造成破片。但是降低固化工艺温度，或开发低热膨胀系数的柔性衬底材料，目前难度仍然很大，难以解决当前的问题。

实用新型内容

基于此，有必要针对柔性衬底材料固化过程中，会发生玻璃翘曲的问题，提供一种柔性衬底基板，提高柔性衬底和玻璃基板的平整度。

一种柔性衬底基板，包括一玻璃板和一吸附底板，所述玻璃板的正面涂覆有柔性衬底材料，其特征在于，所述吸附底板具有真空腔，能够将所述基板平整的吸附在真空平台平面上，以保证柔性衬底材料的和所述玻璃板的平整度。

上述柔性衬底基板，在柔性衬底材料固化过程中，增加底部真空吸附力，抑制柔性衬底材料向上的收缩力，防止玻璃板200发生翘曲，提高柔性衬底和玻璃基板的平整度，提高后续制程精度，防止破片。

在其中一个实施例中，若干个所述真空腔在所述吸附底板上点阵分布。

在其中一个实施例中，所述吸附底板具有上表面和下表面，面向所述玻璃板的一面为所述吸附底板的上表面，与所述上表面相对的一面为所述吸附底板的下表面；所述真空腔沿所述吸附底板厚度方向延伸，贯穿所述上表面和所述下表面。

在其中一个实施例中，所述真空腔的横截面为圆形，内径在所述吸附底板的所述上表面处最大，向所述吸附底板的所述下表面方向逐渐减小，使得所述真空腔在面向所述玻璃板一侧的内径大于面向所述真空平台一侧的内径。

在其中一个实施例中，所述真空腔为沿所述吸附底板长度方向延伸一定尺寸的槽型。

在其中一个实施例中，所述吸附底板能够完全覆盖所述玻璃板的底面。

在其中一个实施例中，所述吸附底板在所述真空平台上能够产生的吸附力范围为0.4Mp-0.7Mp。

在其中一个实施例中，所述玻璃板的厚度为0.5mm或0.7mm。

在其中一个实施例中，一种高平整度柔性衬底，由柔性衬底材料在上述任一实施例中所述的基板上经高温固化后得到。

上述高平整度柔性衬底，在固化制程中不会产生翘曲，具有较高的平整度，有助于提高产品的品质和相关工艺的制程精度。

附图说明

图1为本实用新型的一个实施例的柔性衬底基板的结构示意图；

图2为本实用新型的一个实施例的吸附底板的结构示意图；

图3是本实用新型的另一个实施例中的吸附底板的结构示意图。

具体实施方式