[发明专利]超声波感测模组及其制作方法、电子装置

说明书

一种超声波感测模组，其包括一压电层，所述压电层的一表面上设置有薄膜晶体管阵列；所述压电层远离薄膜晶体管阵列的一表面设置有一电极；所述压电层具有发送和接收感测信号的功能。本发明的超声波感测模组可以在制作过程中减少切割次数，简化制作流程、降低制作成本并减少超声波感测模组的厚度。

技术领域

本发明涉及一种超声波感测模组及该超声波感测模组的制作方法，本发明还涉及一种应用该超声波感测模组的电子装置。

背景技术

电子装置可以包括感测模组，感测模组已经广泛地应用于工业、国防、消防、电子等不同领域。根据不同的感测原理，感测模组的类型有很多种，如光学式感测模组，电容式感测模组，物质波式感测模组等。一种典型的物质波式感测模组为超声波感测模组，其通过产生超声波信号并接收被待测物反射回的超声波信号，基于接收到的超声波信号产生感测信号以感测被测物。超声波感测模组利用声波覆盖整个用于感测的表面，而被测物会阻断这些驻波图样，此时可检测出相应的衰减，从而能进行感测操作。

但是现有的超声波感测模组的批量化制作工艺较为复杂且需要较大的成本。以一种超声波感测模组的制作为例，通常是在一具有多个TFT的母基板两侧分别形成压电层，母基板的材料以玻璃为主，在切割母基板以形成多个感测模组时，需分别先切割母基板两侧的压电层，才能切割母基板，如此需要至少三次切割工艺。此外，得到的超声波感测模组厚度较大，难以满足电子装置日益轻薄化的需求。

发明内容

鉴于此，有必要提供一种低成本的超声波感测模组。

一种超声波感测模组，其包括一压电层，所述压电层的一表面上设置有薄膜晶体管阵列；所述压电层远离薄膜晶体管阵列的一表面设置有一电极；

所述压电层具有发送和接收感测信号的功能。

本发明还提供一种超声波感测模组的制作方法，包括以下步骤：

一种超声波感测模组的制作方法，包括以下步骤：

提供一母压电层，所述母压电层为压电材料；

在母压电层上形成多个薄膜晶体管阵列及在母压电层与所述多个薄膜晶体管阵列相对的一表面形成一图案化的电极材料层，所述母压电层形成有将母压电层切割成多个压电层的切割位置，两相邻的所述薄膜晶体管阵列之间具有一暴露所述切割位置的第一间隙，所述图案化的电极材料层形成有暴露所述切割位置的第二间隙，所述母压电层、电极材料层、薄膜晶体管阵列共同构成一层叠体；

将所述层叠体沿切割位置切割，形成多个独立的超声波感测模组。

此外，本发明还提供一种应用上述超声波感测模组的电子装置。

相较于现有技术，本发明的超声波感测模组及超声波感测模组的制作方法可以在制作过程中减少切割次数，简化制作流程并降低制作成本、减小超声波感测模组的厚度。

附图说明

图1是本发明第一实施例的电子装置的立体示意图。

图2是本发明第一实施例的超声波感测模组的立体示意图。

图3是图2沿III-III线的局部剖面示意图。

图4是本发明第二实施例的超声波感测模组的局部剖面图。

图5-图6是本发明第一实施例的超声波感测模组的制作方法的示意图。

主要元件符号说明

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式