[发明专利]超声波感测模组及其制作方法、电子装置有效
| 申请号： | 201710548230.5 | 申请日： | 2017-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN107563273B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 郑小兵 | 申请（专利权）人： | 业泓科技(成都)有限公司 |
| 主分类号： | G06K9/00 | 分类号： | G06K9/00;H01L27/20;H04M1/02;H04M1/23 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 汪飞亚 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声波 模组 及其 制作方法 电子 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种超声波感测模组的制作方法，包括以下步骤：
提供一母压电层，所述母压电层为压电材料；
在所述母压电层上形成多个薄膜晶体管阵列及在所述母压电层与所述多个薄膜晶体管阵列相对的一表面形成一图案化的电极材料层，所述母压电层形成有将所述母压电层切割成多个压电层的切割位置，两相邻的所述薄膜晶体管阵列之间具有一暴露所述切割位置的第一间隙，所述图案化的电极材料层形成有暴露所述切割位置的第二间隙，所述母压电层、电极材料层、薄膜晶体管阵列共同构成一层叠体；
将所述层叠体沿切割位置切割，形成多个独立的超声波感测模组。
2.如权利要求1所述的超声波感测模组的制作方法，其特征在于：所述电极材料层通过丝网印刷的方式形成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于业泓科技(成都)有限公司，未经业泓科技(成都)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710548230.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
