[发明专利]一种基于NCSP封装技术的新型制作工艺在审
申请号: | 201610432847.6 | 申请日: | 2016-06-17 |
公开(公告)号: | CN107516705A | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 李俊东;张仲元;张钟文;柳欢;王鹏辉 | 申请(专利权)人: | 深圳市斯迈得半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/62;H01L33/50;H01L33/54 |
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地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 ncsp 封装 技术 新型 制作 工艺 | ||
1.一种基于NCSP封装技术的新型制作工艺,其特征在于:它包含蒸镀基板工艺、固晶工艺、荧光胶涂布工艺和产品切割工艺。
2.根据权利要求1所述的一种基于NCSP封装技术的新型制作工艺,其特征在于:所述的蒸镀基板工艺是利用0.1-0.2mmm厚度钢板(1)作为基板载体,表面覆盖一层UV膜(2),根据倒装芯片(7)焊盘的面积大小使用蒸镀工艺在UV膜(2)上蒸镀上相应面积的铜层(3),铜层(3)厚度控制在20-30um,然后在铜层(3)表面蒸镀上同等面积的镍层(4),镍层(4)厚度20-30um,最后在镍层(4)上蒸镀银层(5),其银层(5)面积略大于倒装芯片(7)底部焊盘面积,厚度2.0-3.0um,三种蒸镀层叠加在一起形成一个产品固晶区域B,由此区域面积所延伸形成的CSP产品外形进行阵列蒸镀排布,产品与产品接合处蒸镀切割定位圆铜层(9);所述的固晶工艺是使用锡膏印刷机在基板银层(5)上进行刷锡作业,然后使用固晶机将倒装芯片(7)贴固在锡膏(6)表面,最后使用共晶炉设备进行共晶作业,让倒装芯片(7)与基板银层(5)很好焊接起来,起到导电和散热作用;所述的荧光胶涂布工艺是将固晶完毕的基板放置在荧光胶制模机上,通过调配好荧光胶(8)成份,将其注入到模具型腔中,最后利用模机工艺将荧光胶涂布在基板上;所述的产品切割工艺是将涂布完成的连片半成品上的钢板(1)从UV膜上(2)撕下来,然后将半成品放置在切割机上,通过切割定位圆形蒸镀铜层(9)标示将连片半成品切割成单体NCSP产品,最后再通过UV解胶方式将UV膜(2)去除来得到最终形态的NCSP产品。
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