[发明专利]一种等离子体刻蚀硅片夹具

说明书

技术领域

本发明属于夹具领域，具体涉及一种等离子体刻蚀硅片夹具。

背景技术

太阳能电池生产中有一道工序叫做等离子体刻蚀工序，该工序的目的是利用等离子体激发四氟化碳和氧气对硅片四边进行刻蚀。由于等离子体对硅片的刻蚀没有选择性，渗透性强，所以硅片常被放在夹具中，并在表面加一层盖板施加一定的压力，防止过刻。目前行业中使用的夹具一般都由两块平板和两侧螺杆组成。夹具在硅片上施加的力被分散在整个硅片上,边缘容易出现夹不紧造成过刻,并且当硅片有切割痕、异物时容易造成硅片隐裂。 

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种等离子体刻蚀硅片夹具，既能保证刻蚀效果，还可以减少夹具对硅片的损伤。

本发明所述的一种等离子体刻蚀硅片夹具，包括上夹板、下夹板、螺丝螺杆以及位于上夹板与下夹板之间的垫片，所述上夹板、下夹板上设有与螺丝螺杆相配合的通孔，上夹板、下夹板通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆上，螺丝螺杆上端穿过上夹板并向外延伸，延伸部分与上夹板之间设有螺母；下端固定在下夹板的通孔内；在上夹板与下夹板上各设有一组对称的矩形长条，所述的上夹板上的矩形长条与下夹板上的矩形长条相互对立。

进一步改进，所述的矩形长条离上、下夹板四条边的距离相等，相对距离为125cm或156cm。

进一步改进，所述的垫片位于硅片与矩形长条之间。

进一步改进，所述的垫片为四氟垫片。

本发明的有益效果在于：

与现有技术相比，本发明所述的夹具，采用矩形长条夹住硅片，压片的力施加在硅片边缘，可以用更小的力使硅片叠加的更紧密减小内部的刻蚀，同时压片在硅片其他位置不施加力，不会使硅片产生隐裂，既改善了刻蚀效果同时避免了整体压力过大造成硅片损伤。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本发明所述的一种等离子体刻蚀硅片夹具，包括上夹板1、下夹板2、螺丝螺杆3以及位于上夹板1与下夹板2之间的垫片4，所述上夹板1、下夹板2上设有与螺丝螺杆3相配合的通孔，上夹板1、下夹板2通过通孔套设在可调节两块夹板间距的螺丝螺杆3上，螺丝螺杆3上端穿过上夹板1并向外延伸，延伸部分与上夹板1之间设有螺母5；下端固定在下夹板2的通孔内；在上夹板1与下夹板2上各设有一组对称的矩形长条6，所述的上夹板1上的矩形长条6与下夹板2上的矩形长条6相互对立；所述的上夹板1上的矩形长条6与下夹板2上的矩形长条6之间设有硅片7，所述的垫片4位于硅片7与矩形长条6之间。

所述的矩形长条6离上、下夹板1、2四条边的距离相等，相对距离为125cm或者156cm。

所述的垫片4为四氟垫片。

本发明提供了一种等离子体刻蚀硅片夹具，以上所述仅是本发明的优选实施方法，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以作出若干改进，这些改进也应视为本发明的保护范围。