[发明专利]一种LED衬底晶片加工研磨液制备方法无效
申请号: | 201310366060.0 | 申请日: | 2013-08-20 |
公开(公告)号: | CN103450848A | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 潘相成 | 申请(专利权)人: | 常州市好利莱光电科技有限公司 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213164 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 led 衬底 晶片 加工 研磨 制备 方法 | ||
1.一种LED衬底晶片加工研磨液制备方法,其特征在于制备方法步骤如下:
(1)将去离子水放入磁力搅拌器搅拌5分钟;
(2)将分散剂、悬浮剂、亚硝酸钠、S溶剂按比例分别倒入容器内,搅拌15分钟;
(3)充分搅匀后,将金刚石微粉缓慢倒入容器内搅拌20分钟,浓度控制在5~10%。
2.根据权利要求1所述的一种LED衬底晶片加工研磨液制备方法,其特征在于:所述的分散剂为甲基戊醇、聚丙烯酰胺、脂肪酸聚乙二醇酯中的一种或两种;所述的悬浮剂为羧甲基纤维素钠、聚乙烯醇、木质素磺酸钙中的一种或两种。
3.根据权利要求1所述的一种LED衬底晶片加工研磨液制备方法,其特征在于:所述S溶剂为甲苯、酒精、乙烷中的一种或两种。
4.根据权利要求1所述的一种LED衬底晶片加工研磨液制备方法,其特征在于:所述研磨液各组分按质量百分比分别为:分散剂20~35%、悬浮剂15~30%、金刚石微粉10~20%、亚硝酸钠20~30%、S溶剂10~40%、去离子水10~20%。
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