[发明专利]机械手末端执行器

说明书

技术领域

本发明涉及一种机械手，特别是涉及一种机械手末端执行器。

背景技术

现有的机械手末端执行器主要是托盘式的和卡爪式。托盘式依靠单向的接触单元和第三侧的单向接触单元托着晶圆，并且需要使用传感器来确定晶圆的圆心是否对准，其缺点是：使用传感器成本提高、使用传感器占用空间、安装过程复杂、定位时间长、当有意外碰撞时晶圆有可能会飞出来损坏；若不使用传感器，仅依靠接单向的触单元和第三侧的单向接触单元托着夹紧晶圆，就无法保证晶圆定位的准确性，有发生损坏晶圆的可能性。卡爪式是通过固定的凹槽夹紧晶圆，其缺点是：凹槽是固定的，需要通过传感器确定晶圆圆心是否对准，占用空间，安装复杂，定位时间长；若将末端执行期翻转180°，晶圆定位可能不准，损坏晶圆，影响到作业的进度及成本的控制。

发明内容

鉴于以上内容，有必要提供一种自动调节定位的机械手末端执行器。

一种机械手末端执行器，包括有手指及固定钳口，固定钳口固定在手指上，所述机械手末端执行器还包括有连接块、导向轴及随动导轮，连接块滑动安装在手指上，导向轴固定在连接块上，随动导轮转动固定在连接块上，手指能够相对导向轴的轴线转动，导向轴与连接块能够相对手指沿导向轴的轴线移动，随动导轮随连接块一起移动，直至随动导轮与固定钳口夹住晶圆片，随动导轮在夹住晶圆片的过程中能够相对连接块转动以对晶圆片的位置进行调节。

在一实施方式中，所述手指能够绕导向轴的轴线作180°的转动。

在一实施方式中，所述随动导轮通过一螺钉转动固定在所述连接块上，所述螺钉与连接块之间设有一个轴中间环。

在一实施方式中，所述随动导轮与所述连接块之间设有垫圈。

在一实施方式中，所述固定钳口开设有收容槽，所述随动导轮开设有凹槽，所述收容槽与凹槽用以夹持晶圆片。

在一实施方式中，所述收容槽的一横截面呈弧形，所述凹槽的一横截面呈弧形。

在一实施方式中，所述手指开设有一个通孔，所述通孔的边缘上设有刻度，所述连接块安装在所述通孔中，并能够通过所述刻度确定其位置。

在一实施方式中，所述连接块包括有连接一起的一个安装部及一个滑动部，所述安装部固定在所述导向轴上，所述滑动部安装在所述通孔中，所述随动导轮固定在所述滑动部上。

在一实施方式中，所述安装部开设有安装孔，所述导向轴通过一个螺钉穿入所述安装孔中并锁在导向轴上而固定在所述安装部上。

在一实施方式中，所述固定钳口与随动导轮各有两个，所述手指包括两个指头及一个连接两个指头的连接部，所述两个固定钳口分别位于两个指头的自由端，所述连接块固定在所述连接部上，所述两个指头分别位于所述导向轴的轴线的两侧，所述两个随动导轮也分别位于所述导向轴的轴线的两侧。

与现有技术相比，在上述机械手末端执行器中，通过随动导轮与固定钳口可以夹住晶圆片，且通过连接块的移动、随动导轮的转动可以很方便将晶圆片的自动调节定位。

附图说明

图1是本发明机械手末端执行器的一较佳实施方式的一立体图。

图2是图1中的机械手末端执行器的一部分立体图。

图3是图1中的机械手末端执行器的一部分剖视图。

图4是图1中的机械手末端执行器的又一部分立体图。

主要元件符号说明