[实用新型]衬底有效
申请号: | 201120512360.1 | 申请日: | 2011-12-09 |
公开(公告)号: | CN202395025U | 公开(公告)日: | 2012-08-22 |
发明(设计)人: | 梁秉文 | 申请(专利权)人: | 光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20;H01L29/06 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 314300 浙江省嘉兴市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 | ||
1.一种衬底,其特征在于,所述衬底具有相对设置的主动面和被动面,所述主动面用于形成LED器件或集成电路器件,所述被动面具有多条预切割通道,所述预切割通道用于在形成所述LED器件或集成电路器件的工艺过程中释放所述衬底上的应力,所述预切割通道的位置与即将形成的LED器件或集成电路器件的位置对应。
2.如权利要求1所述的衬底,其特征在于,所述预切割通道的深度范围为所述衬底厚度1/4~7/8。
3.如权利要求1所述的衬底,其特征在于,所述衬底的材质为蓝宝石、ZnO、SiC、硅、玻璃中的一种。
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