[发明专利]半导体装置结构及半导体装置无效

专利信息
申请号: 200810080665.2 申请日: 2008-02-28
公开(公告)号: CN101257021A 公开(公告)日: 2008-09-03
发明(设计)人: 伊藤弘造;川本和弘 申请(专利权)人: 株式会社理光
主分类号: H01L27/06 分类号: H01L27/06;G05F1/56
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 王冉;杨梧
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 半导体 装置 结构
【权利要求书】:

1.一种半导体装置结构,包括:

半导体基板;

电阻层,形成在所述半导体基板上,所述电阻层具有配置在其中的电阻;

电容层,形成在所述电阻层上,所述电容层具有电容器,与电阻电气连接。

2.根据权利要求1中所述的半导体装置结构,其特征在于:

所述电阻包括多个可互相连接的单位电阻,形成多单位电阻;

所述电容层包括:

第一金属层,与所述电阻层邻接,该第一金属层形成上述电容器的一电极,同时,对所述多个单位电阻提供电连接;

电介质层,形成在所述第一金属层上;以及

第二金属层,形成在所述电介质层上,该第二金属层形成上述电容器的另一电极,通过所述电介质层与第一金属层绝缘。

3.根据权利要求1中所述的半导体装置结构,其特征在于:

进一步包括插入所述电阻层和电容层之间的中间金属层;

所述电阻包括多个可互相连接的单位电阻,形成多单位电阻;

所述中间金属层对所述多个单位电阻提供电连接;以及

所述电容层包括:

第一金属层,与所述中间金属层邻接,该第一金属层形成上述电容器的一电极;

电介质层,形成在所述第一金属层上;以及

第二金属层,形成在所述电介质层上,该第二金属层形成上述电容器的另一电极,通过所述电介质层与第一金属层绝缘。

4.根据权利要求3中所述的半导体装置结构,其特征在于:

进一步包括至少一个金属配线层,配置在所述中间金属层和第一金属层之间。

5.根据权利要求1中所述的半导体装置结构,其特征在于:

所述电容器是金属-绝缘体-金属型电容器。

6.一种半导体装置,从输入电压产生一定的输出电压,该半导体装置包括:

半导体基板;

电阻层,形成在所述半导体基板上,所述电阻层具有配置在其中的电阻;

电容层,形成在所述电阻层上,所述电容层具有电容器,与电阻电气连接。

7.根据权利要求6中所述的半导体装置,其特征在于:

所述电阻包括多个可互相连接的单位电阻,形成多单位电阻;

所述电容层包括:

第一金属层,与所述电阻层邻接,该第一金属层形成上述电容器的一电极,同时,对所述多个单位电阻提供电连接;

电介质层,形成在所述第一金属层上;以及

第二金属层,形成在所述电介质层上,该第二金属层形成上述电容器的另一电极,通过所述电介质层与第一金属层绝缘。

8.根据权利要求7中所述的半导体装置,其特征在于:

进一步包括:

电压分压器,通过对输出电压进行分压,产生反馈信号;

控制电路,根据该反馈信号,输出控制信号;

输出晶体管,根据所述控制信号,控制电流通过,使得所述反馈信号成为所定的基准信号;

所述多单位电阻通过所述第一金属层被结合,形成与所述电容器连接的所述电压分压器。

9.根据权利要求7中所述的半导体装置,其特征在于:

进一步包括:

电压分压器,通过对输出电压进行分压,产生反馈信号;

控制电路,根据该反馈信号,输出控制信号;

电感器,将输入电压变换成输出电压;

开关晶体管,根据所述控制信号,对所述电感器进行充电,使得所述反馈信号成为所定的基准信号;

整流元件,进行电感器放电;

所述多单位电阻通过所述第一金属层被结合,形成与所述电容器连接的所述电压分压器。

10.根据权利要求6中所述的半导体装置,其特征在于:

进一步包括插入所述电阻层和电容层之间的中间金属层;

所述电阻包括多个可互相连接的单位电阻,形成多单位电阻;

所述中间金属层对所述多个单位电阻提供电连接;

所述电容层包括:

第一金属层,与所述中间金属层邻接,该第一金属层形成上述电容器的一电极;

电介质层,形成在所述第一金属层上;以及

第二金属层,形成在所述电介质层上,该第二金属层形成上述电容器的另一电极,通过所述电介质层与第一金属层绝缘。

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