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[发明专利]一种含碳纤维复合层的发动机活塞环-CN201610843807.0有效
发明人：李燕 -专利权人：浙江桓宇汽配有限公司
申请日： 2016-09-23 - 公布日： 2019-08-06 - 主分类号： F02F5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种含碳纤维复合层的发动机活塞环，包括活塞环本体，活塞环本体上包裹一层碳纤维复合层，碳纤维复合层包括多孔金属层和碳纤维层，碳纤维复合层通过挤压的方式与活塞环无缝连接，多孔金属层的表面不与气缸发生接触碳纤维复合层与活塞环本体紧密结合后，消散了因发动机的异常工作而产生的不均匀载荷和不均匀热量的系列问题，进而延长了活塞环对热量和载荷异动变化的反应时间，减小了热应力和形变趋势，起到了稳压和稳热的作用，最终延长了活塞环的工作周期；碳纤维层由于具有高强度、高模量等优点，能够与多孔金属层发生协同作用，使碳纤维复合层能更好地发挥出稳压和稳热的作用，有效地提高了活塞环的结构稳定性和安全性。
一种碳纤维复合发动机活塞环

[发明专利]一种STT-MRAM存储单元-CN201611201099.7有效
发明人：王真;何岳巍;胡少杰;闵泰 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2016-12-22 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： H01L27/22 文献下载
摘要：本发明公开一种STT‑MRAM存储单元，包括晶体管和MTJ单元；晶体管建立在基底上，晶体管的漏极与MTJ单元通过金属线达到漏接触；MTJ单元包括内电极和包裹在内电极外周的种子层、铁磁性钉扎层、非磁性势垒层、铁磁性自由层和外电极；金属线与内电极连接；种子层、铁磁性钉扎层、非磁性势垒层、铁磁性自由层和外电极均与基底所在平面不平行；种子层、铁磁性钉扎层、非磁性势垒层、铁磁性自由层和外电极与金属线间隔设置。
一种 stt mram 存储单元

[发明专利]一种交联聚乙烯电缆的软接头及其制备方法-CN200710068758.9有效
发明人：吴建宁;周厚强;叶信宏;冯华强 -专利权人：宁波东方电缆有限公司;宁波东方集团有限公司
申请日： 2007-05-22 - 公布日： 2007-11-07 - 主分类号： H02G15/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种交联聚乙烯电缆的软接头，包括内半导电层和金属护套管，两根电缆的线芯之间相互焊接构成线芯连接部，内半导电层与电缆内屏蔽层预留段结合，特点是内半导电层外设置有聚乙烯填充硫化绝缘层，聚乙烯填充硫化绝缘层与电缆的聚乙烯绝缘层相互硫化融合，聚乙烯填充硫化绝缘层两端设置有包覆在电缆的聚乙烯绝缘层外的过渡连接段，聚乙烯填充硫化绝缘层外设置有与电缆的外屏蔽层预留段结合的外半导电层，金属护套管的两端与电缆的铅护管的外表面相互焊接，金属护套管的两端设置有斜坡连接段
一种交联聚乙烯电缆接头及其制备方法

[发明专利]功率器件的制备方法和功率器件-CN201510030728.3有效
发明人：李理;马万里;赵圣哲 -专利权人：北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
申请日： 2015-01-21 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明提供了一种功率器件的制备方法包括：形成沟道；在沟道形成P型重掺杂区；形成第一氮化硅层；对沟道和氧化层上方的第一氮化硅层进行刻蚀，以形成第一氮化硅侧墙；对P型重掺杂区进行刻蚀；进行N型注入；形成第二氮化硅层；对沟道和氧化层上方的第二氮化硅层进行刻蚀，以形成第二氮化硅侧墙；对N型重掺杂区进行刻蚀至基片；进行热氧化处理；在热氧化层的区域内形成多晶硅层；去除第一氮化硅侧墙和第二氮化硅侧墙；在多晶硅层上方形成氧化层；形成金属层并进行退火处理，以形成金属接触层；形成金属连接。
功率器件制备方法

[发明专利]一种多层介质-金属-介质波导温湿度表面等离子共振传感装置-CN201610309903.7有效
发明人：朱君;徐汶菊;秦柳丽;傅得立;朱勇建;宋树祥 -专利权人：广西师范大学
申请日： 2016-05-11 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种多层介质‑金属‑介质波导温湿度表面等离子共振传感装置，其特征是，包括顺序叠接的底层二氧化硅层、第一金层、玻璃层、第二金层和顶层铌酸锂层，入射光由玻璃层侧面以大于表面等离子产生共振的角度入射，所述的玻璃层与二氧化硅层、第一金层构成二氧化硅‑金‑玻璃的介质‑金属‑介质波导的表面等离子共振结构；玻璃层与第二金层、铌酸锂层构成玻璃‑金‑铌酸锂的介质‑金属‑介质波导的表面等离子共振结构。
表面等离子共振介质波导玻璃层金层铌酸锂金属传感装置多层介质底层二氧化硅表面等离子传统传感器多功能检测二氧化硅层光学传感器远距离传输玻璃单一芯片二氧化硅温度环境入射光顶层共振传感叠接入射侧面应用

[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及薄膜叠层结构的制造方法-CN200410006474.3有效
发明人：来汉中 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2004-03-08 - 公布日： 2005-01-05 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明是有关于一种薄膜晶体管阵列基板及薄膜叠层结构的制造方法。该薄膜晶体管阵列基板的制造方法，是首先在一基板上依序形成一第一图案化金属层、一介电层、一非晶硅层、一第二图案化金属层及一保护层。接着在保护层上形成一图案化光阻层，至少覆盖第一图案化金属层所构成的源极/汲极及其周边区域上方，图案化光阻层的部分边缘具有多个薄化区，每个薄化区分别横跨于一个源极/汲极的部分边缘上方。之后以图案化光阻层为罩幕进行蚀刻，以暴露薄化区下方的源极/汲极及其周边区域的非晶硅层而分别形成多个阶梯状结构。最后在基板上形成多个画素电极，分别覆盖一个阶梯状结构且电性连接至一个源极/汲极。
薄膜晶体管阵列薄膜结构制造方法

[发明专利]换能器及其制作方法-CN201911416898.X有效
发明人：吴健兴;但强;吴伟昌;黎家健 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： B06B1/06 文献下载
摘要：本发明涉及压电换能器领域，提供了一种换能器，所述换能器包括第一晶圆和第二晶圆，所述第一晶圆和第二晶圆均包括基底、固定在所述基底一侧的第一氧化物层、固定在所述基底另一侧的金属层、以及在所述第一氧化物层上依次沉积形成的氮化硅层、第一电极、压电层和第二电极，所述基底包括第一硅层、第二硅层和夹设于所述第一硅层和第二硅层之间的第二氧化物层；所述第一晶圆的金属层和所述第二晶圆的金属层固定连接；所述第一晶圆设有空腔和缝隙，所述第二晶圆设有空腔
换能器及其制作方法

[发明专利]一种与金属陶瓷结合牢固的锆铝氮与氧化铝多层复合涂层及其制备方法-CN201910974718.3有效
发明人：鲜广;赵海波;鲜丽君;熊计 -专利权人：四川大学
申请日： 2019-10-14 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明公布的与金属陶瓷结合牢固的锆铝氮与氧化铝多层复合涂层复合涂层是由CoNiCrAlY高熵合金粘结层、α‑Cr2O3氧化物模板层、α‑Al2O3氧化物支撑层、ZrAlN氮化物耐磨层四个子层构成的整体，这四个子层的顺序是由内至外，涂层总厚度为其制备方法为：对金属陶瓷基底进行加热和离子刻蚀后，先利用电弧蒸发镀工艺在基底上沉积CoNiCrAlY层；然后使用磁控溅射工艺，再继续依次沉积α‑Cr2O3层、α‑Al2O3层和ZrAlN层。高熵合金层的使用和不同功能子层的结合使涂层各子层之间以及涂层与金属陶瓷基底之间结合牢固，同时涂层具有良好的综合性能，且工艺简单，易于掌握控制。
一种金属陶瓷结合牢固锆铝氮氧化铝多层复合涂层及其制备方法

[发明专利]一种恒温晶体振荡器-CN202110224768.7有效
发明人：万杨;孙晓明;杨飞;谢凡;汪晓虎;黄大勇 -专利权人：泰晶科技股份有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H03H9/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种恒温晶体振荡器，包括底板、第一连接层、控温层、第二连接层、晶片连接层及金属环，所述底板、所述第一连接层、所述控温层、所述第二连接层、所述晶片连接层及所述金属环依次连接；所述底板的一面上设置有导通电极及振荡电极，所述导通电极的数量为两组，两组所述导通电极呈镜像设置于所述底板上，所述振荡电极与两组所述导通电极电连接；所述第一连接层、所述控温层、所述第二连接层及所述晶片连接层上均开设有导通孔及连接孔，多个所述导通孔开设于各层的中心位置，且多个所述导通孔朝所述金属环方向的孔径依次增大，以形成阶梯状的控温腔。
一种恒温晶体振荡器

[发明专利]金属互连结构的刻蚀方法-CN202010895740.1有效
发明人：马莉娜;姚道州;肖培 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司;上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本申请公开了一种金属互连结构的刻蚀方法，包括：通过光刻工艺在抗反射层上除目标区域以外的其它区域覆盖光阻，抗反射层形成于第一介质层上，第一介质层形成于第二介质层上，第二介质层形成于第三介质层上，第三介质层中形成有金属连线；通过包括低刻蚀比的反应气体刻蚀去除目标区域的抗反射层；通过包括氟碳化合物的反应气体进行刻蚀；通过包括氟碳化合物和氢气的反应气体进行刻蚀在光阻的表面形成所述保护层；通过包括氟碳化合物的反应气体进行刻蚀去除目标区域的第一介质层和第二介质层通过本申请提供的金属互连结构的刻蚀方法能够提高器件的可靠性和制造效率。
金属互连结构刻蚀方法

[发明专利]一种氧化镓高电子迁移率异质结晶体管及其制备方法-CN202010066692.5有效
发明人：邵国键 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H01L21/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化镓高电子迁移率异质结晶体管及其制备方法，制备方法包括：在氧化镓外延片的上表面全片形成第一钝化层；去除源区和漏区的第一钝化层；形成源区和漏区的第一金属层，退火处理，形成源极和漏极；无源区形成重掺杂区；全片形成第二钝化层；去除栅区的第二钝化层；形成栅区的第二金属层，退火处理，形成栅极；全片形成第三钝化层；在第三钝化层的上表面形成场板；全片形成第四钝化层；去除源极、漏极、栅极区域的第四钝化层；在源极正下方形成背孔；氧化镓外延片的下表面形成第四金属层，形成背金层。
一种氧化电子迁移率结晶体及其制备方法

[发明专利]热传导结构及其制造方法、移动装置-CN202010586742.2有效
发明人：萧毅豪;何铭祥 -专利权人：河南烯力新材料科技有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G06F1/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种热传导结构，其包括导热单元、第一热传导层、金属微结构、第二热传导层以及工作流体。导热单元形成封闭腔体，封闭腔体内具有相对的底面与顶面，导热单元的相对两端分别作为热源端及冷却端。第一热传导层设置于封闭腔体的底面和/或顶面。金属微结构设置于第一热传导层上。第二热传导层设置于金属微结构远离第一热传导层的一侧。其中，邻近热源端的第一热传导层与第二热传导层的厚度和，大于远离热源端的厚度和。其中，堆叠结构的第一区段中的第一热传导层、第二热传导层，与第二区段中的第一热传导层、第二热传导层的材料至少部分不相同。
热传导结构及其制造方法移动装置

[发明专利]互连结构的制备方法-CN202310208483.3有效
发明人：何志强;高志杰 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供了一种互连结构的制备方法，包括：提供衬底，衬底上依次形成有介电层、硬掩模层和图形化的光刻胶层；以图形化的光刻胶层为掩模依次刻蚀硬掩模层和介电层，以形成贯穿硬掩模层的开口和贯穿介电层的接触孔，接触孔的深宽比为12:1~30:1；沿开口的宽度方向刻蚀硬掩模层显露出接触孔的顶部的部分介电层以扩宽开口，且扩宽后的开口的宽度大于接触孔的宽度；采用第一干法刻蚀工艺沿扩宽后的开口刻蚀接触孔的顶部显露的介电层，以使接触孔的顶部形成具有两段斜坡轮廓的阶梯状结构；以及，在接触孔的内壁形成阻挡层，以及在接触孔内填充金属材料形成金属插塞。本发明能够形成导电良好的金属插塞，提高互连结构的稳定性。
互连结构制备方法

[发明专利]一种阻隔水汽和防氧渗透的薄膜-CN201410270586.3无效
发明人：徐刚;熊斌;孙耀明;史继富;黄华凛 -专利权人：中国科学院广州能源研究所
申请日： 2014-06-17 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： B32B27/06 文献下载
摘要：该薄膜以聚酯类柔性衬底为基底层，在基底层上沉积有若干层丙烯酸酯层、若干层金属纳米层和若干层陶瓷阻隔层；所述若干层丙烯酸酯层、若干层金属纳米层和若干层陶瓷阻隔层为交错层叠；所述丙烯酸酯层是通过闪蒸技术制备而成；所述金属纳米层是通过磁控溅射制备而成；所述陶瓷阻隔层也是通过磁控溅射制备而成。
一种阻隔水汽渗透薄膜

[发明专利]一种有机电致发光器件及其制备方法-CN201310143747.8无效
发明人：周明杰;黄辉;张振华;王平 -专利权人：海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司
申请日： 2013-04-24 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种有机电致发光器件及其制备方法，所述有机电致发光器件包括依次层叠的导电阳极玻璃基底、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和复合阴极，所述复合阴极由依次层叠的有机掺杂层、二氧化钛层和金属单质层组成；所述有机掺杂层的材质为富勒烯衍生物与小分子有机硅形成的混合材料，富勒烯具有电子传输性能，且成膜性较好，小分子有机硅玻璃化转变温度较低，容易蒸镀与结晶，结晶后的晶体排列结构可对光进行散射，减少向两侧发射的光；二氧化钛层中的二氧化钛颗粒可进一步提高光的散射，改变光的折射角，从而使光折射出去到金属单质层，金属单质层反射透过的光回到器件的底部，这种复合阴极可有效提高发光效率。
一种有机电致发光器件及其制备方法