“通用对准”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网_专利查询网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果400285个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]对准装置以及对准方法-CN202180076264.3在审
发明人：丹治彦;中原一;富永翔太;吉田浩之 -专利权人：川崎重工业株式会社;川崎机器人（美国）有限公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：对准装置(4)具备第一旋转台(41b)、第二旋转台(42b)、以及检测装置(43)。第一旋转台(41b)载置基板(2)且以第一旋转轴线(L1)为旋转中心进行旋转。
对准装置以及方法

[发明专利]对准拍照机构及对准装置-CN202310013127.6在审
发明人：陈睿;姜保彧;张豹 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种对准拍照机构及对准装置，该对准拍照机构设置于基座的对准区域的上方，其包括底座，底座上设置有多个沿对准区域的径向延伸且沿对准区域的周向分布的滑轨，每个滑轨上均滑动地安装有用于安装相机的安装座
对准拍照机构装置

[发明专利]对准系统及对准方法-CN200510088148.6有效
发明人：吴兆明 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2005-07-29 - 公布日： 2006-01-04 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种对准系统及其方法，适用于半导体或液晶显示器工艺中曝光前的光掩模对准。对准系统包括对准单元、至少一影像处理单元以及至少一监控显示装置。对准单元具有多组影像撷取装置，用以同时监测多组光掩模标记对应于一基板的多组基板标记的对准状态。影像处理单元将撷取信号转换为影像信号，使多组影像同时显示于监控显示装置上。
对准系统方法

[发明专利]对准器结构及对准方法-CN201810085860.8有效
发明人：曹生贤 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-02-27 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： C23C16/04 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种对准器结构，以相对较大的移动尺度结束基板(S)及掩模(M)间的第1次相对移动后，以相对较小的移动尺度执行基板(S)及掩模(M)间的第2次相对移动，从而能够实现迅速而精密的基板及掩模的对齐本发明的对准器结构作为在基板(S)表面执行薄膜沉积工序之前对准掩模(M)及基板(S)的对准器结构，包括：第1次对准部(100)，其借助于基板(S)及掩模(M)的第1相对移动，依次地第1次对准基板(S)及掩模(M)；第2次对准部(200)，其在借助于所述第1次对准部(100)的第1次对准后，借助于基板(S)及掩模(M)的第2相对移动，依次地第2次对准基板(S)及掩模(M)；所述第2相对移动的移动尺度小于所述第
对准结构方法

[发明专利]对准方法及对准系统-CN201610309546.4有效
发明人：张强;郝静安 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2016-05-11 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种对准方法及对准系统，其中对准方法包括：提供待曝光晶圆；将待曝光晶圆放置在基准平面上；对曝光面进行对准测量，获得测量距离；进行曝光面与基准平面之间的调平测量，获得调平数据；根据调平数据和测量距离，获得扩张参考值；根据扩张参考值和标准距离的差异，获得扩张补偿值；根据扩张补偿值，调整光刻工艺参数以实现对准。本发明在扩张补偿值的计算中，加入了曝光面的调平数据；在未增加对准标志的前提下，能够获得曝光面内对准标志和基准点之间的实际距离，能够有效的减小晶圆翘曲对曝光对准误差的影响，有效提高所获得曝光补偿值的补偿精度，提高对准精度。
对准方法系统

[发明专利]对准系统及对准方法-CN202110129422.9有效
发明人：陈鲁;李青格乐;江博闻;蒋璐翔 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种对准系统，对准系统包括光源、第一成像系统、第二成像系统及处理系统，光源用于产生探测光，探测光经待测物之后形成信号光，经待测物边缘形成的信号光为第一信号光，经待测物的定位图案形成的信号光为第二信号光本申请还公开了一种对准方法。
对准系统方法

[发明专利]对准装置、透镜对准系统-CN201980079227.0有效
发明人：福岛一;广田淳;井口润一;岛村真理惠 -专利权人： THK株式会社
申请日： 2019-12-02 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：该对准装置具备：基座工作台；多个电动致动器，它们安装于基座工作台；以及对准工作台，其支承于多个电动致动器。多个电动致动器分别具有在相对于基座工作台接近远离的方向上驱动对准工作台的直动装置。
对准装置透镜系统

[发明专利]对准器结构和对准方法-CN201680023001.5在审
发明人：曹生贤;安成一 -专利权人： VNI斯陆深株式会社
申请日： 2016-04-01 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明的目的是提供一种对准器结构，通过提供用于在基板(S)和掩模(M)垂直的状态下使基板(S)和掩模(M)固定且对准的对准结构而能够在基板S和掩模M垂直的状态下良好处理基板；以及一种对准方法。本发明的对准器结构包括掩模夹紧单元(100)，被设置在工艺腔室(10)中以便夹紧掩模(M)；基板夹紧单元(200)，用于夹紧基板载体(320)，基板(S)通过静电卡盘吸住并固定到基板载体上；对准单元(400)，相对于掩模(M)而相对移动基板载体(320)，以便使由基板夹紧单元(200)夹紧的基板(S)和由掩模夹紧单元(110)夹紧的掩模M对准；以及紧密接触驱动单元，用于允许通过对准单元(400)对准的基板
对准结构方法

[发明专利]对准方法以及对准装置-CN201480053028.X有效
发明人：山根幸男;石井博;田中广树 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2014-05-14 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：提供一种能够进行高精度的对准的、实用性优异的对准方法。当进行基板(12)与掩模(11)的对准时，使用由低摄像倍率的第1摄像部(13)进行摄像而得到的摄像数据，定位高摄像倍率的第2摄像部(14)，以该第2摄像部(14)的摄像范围为基准，按照第1对准工序和第2对准工序这两个阶段进行基板(12)和掩模(11)的位置校正，其中，所述第1对准工序是使用由第1摄像部(13)进行摄像而得到的摄像数据来进行的，所述第2对准工序是使用由第2摄像部(14)进行摄像而得到的摄像数据来进行的
对准方法以及装置

[发明专利]对准器结构及对准方法-CN201580010595.1有效
发明人：曹生贤 -专利权人： VNI斯陆深株式会社
申请日： 2015-02-27 - 公布日： 2018-01-30 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种对准器结构，以相对较大的移动尺度结束基板(S)及掩模(M)间的第1次相对移动后，以相对较小的移动尺度执行基板(S)及掩模(M)间的第2次相对移动，从而能够实现迅速而精密的基板及掩模的对齐本发明的对准器结构作为在基板(S)表面执行薄膜沉积工序之前对准掩模(M)及基板(S)的对准器结构，包括第1次对准部(100)，其借助于基板(S)及掩模(M)的第1相对移动，依次地第1次对准基板(S)及掩模(M)；第2次对准部(200)，其在借助于所述第1次对准部(100)的第1次对准后，借助于基板(S)及掩模(M)的第2相对移动，依次地第2次对准基板(S)及掩模(M)；所述第2相对移动的移动尺度小于所述第
对准结构方法

[发明专利]模制后对准和对准监测-CN201680040907.8有效
发明人：王志明;维杰·戈毗昌德·潘万尼 -专利权人：赫斯基注塑系统有限公司
申请日： 2016-06-16 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： B29C45/80 文献下载
摘要：公开了用于模制后调节器的对准和对准监测的设备和方法。调节器包括第一和第二模制后装置、两个或多个平行对准传感器和对应的接收器，以及两个或多个角度对准传感器和对应的接收器。两个或多个平行对准传感器测量模制后装置之间的距离。两个或多个角度对准传感器测量模制后装置的角度对准(例如，相对位置)。控制器监测来自平行对准传感器的反馈以评估装置的平行度和来自角度对准传感器的反馈以评估装置的角度对准。当装置不平行和/或没有角度对准时提醒操作员。
模制后对准监测

[发明专利]基于有限状态自动机架构的采摘机器人控制器及架构方法-CN201810457799.5有效
发明人：毕松;张潞 -专利权人：北京禾泽方圆智能科技有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明提供一种新的基于有限状态自动机架构的采摘机器人控制器及架构方法，该采摘机器人控制器及架构方法基于有限状态自动机实现对目标的快速采摘，工作时，首先对系统进行初始化，接着对目标进行扫描、对准、抓取，并在抓取完成后控制各轴回归到记录点；该设置根据当前的模式以及相应的条件和动作来进行扫描、对准、抓取、回归模式之间的切换，通过这种模式的转换可以快速准确的采摘下目标，使得通用性强，可扩展性高。
基于有限状态自动机架构采摘机器人控制器方法

[发明专利]电弧焊接用焊炬-CN201110092826.1有效
发明人：平见正行;西村大 -专利权人：株式会社大亨
申请日： 2011-04-11 - 公布日： 2011-10-19 - 主分类号： B23K9/173 文献下载
摘要：本发明提供一种能够提高保护气体的喷出特性、填充焊丝对准位置的调整性及高通用性的电弧焊接用焊炬。填充焊丝的对准位置通过焊炬(1)与填充引导器(20)的相对的位置变更来调整。
电弧焊接用焊炬

[发明专利]硅片预对准方法-CN201510091986.2有效
发明人：周细文;孙伟旺;田翠侠;郑教增 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-02-28 - 公布日： 2018-03-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片预对准方法，包括步骤1提供硅片，所述硅片周向设置有若干标记；步骤2对硅片进行定心；步骤3沿硅片径向移动视觉切换轴，使得硅片上的标记进入到图像采集装置的投影区域内；步骤4转动硅片，逐个扫描本发明采用识别标记的方式，放弃了识别硅片边缘缺口的方式，避免了对一幅图像进行二值化分割，进一步提高了定向算法的通用性，抗噪声干扰性更强。此外，由于硅片的标记数目较多，采用本发明的方法仅需测量一至两个标记，即可实现硅片的对准。
硅片对准方法

[实用新型]阻燃媒体引导式灭火器-CN201420328636.4有效
发明人：吕军 -专利权人：吕军
申请日： 2014-06-20 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： A62C13/00 文献下载
摘要：使用阻燃媒体引导对准火源，提高灭火效率。由通用形式灭火器附加压缩阻燃媒体储存腔体和开关及喷嘴等附件构成。在常规喷射灭火液之前，先喷射阻燃媒体，利用阻燃媒体喷出的痕迹引导操作者控制灭火器对准火源根部(灭火的最有效部位)，再喷射灭火液，进行高效率的灭火。喷出的阻燃媒体也对灭火起辅助作用。
阻燃媒体引导灭火器

首页
«上一页
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top