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- [发明专利]一种刻蚀图形的分析系统及方法-CN201910148632.5有效
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郭奥;康晓旭
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上海集成电路研发中心有限公司
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2019-02-28
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2023-06-02
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G06T7/00
- 本发明公开的一种刻蚀图形的分析方法,包括如下步骤:S01:形成截面预测模型;S02:将待分析晶圆的表面形貌图输入所述刻蚀图形分析系统中,采用图像提取算法分别对待分析晶圆的表面形貌图中的白边图形进行数据提取,得出待分析晶圆的白边图形数据;S03:将待分析晶圆的白边图形数据传输至所述截面预测模型进行预测,并输出待分析晶圆的预测截面形貌图。本发明提供的一种刻蚀图形的分析系统及方法,从刻蚀图形的表面形貌图中提取白边图形数据,并根据白边图形数据以及量测的实际截面形貌图建立截面预测模型,从而利用该模型以及刻蚀图形的表面形貌图实现对刻蚀图形的截面形貌图的预测
- 一种刻蚀图形分析系统方法
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