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- [实用新型]一种蒸镀设备-CN202222768730.9有效
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叶顺闵;林伯璋;蔡孟霖;许邦泓;萧维彬
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滁州钰顺企业管理咨询合伙企业（有限合伙）
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2022-10-20
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2023-02-21
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C23C14/24
- 本实用新型属于半导体制造技术领域，具体涉及一种蒸镀设备，包括马达圆盘；行星架圆盘，所述行星架圆盘与马达圆盘传动连接；膜厚侦测器，所述膜厚侦测器与行星架圆盘固定连接，且位于行星架圆盘中部；行星架支架，所述行星架支架与行星架圆盘固定连接；行星架轴承套件，所述行星架轴承套件与行星架支架固定连接；行星架轨道，所述行星架轨道与行星架轴承套件转动连接；行星架轨道连杆，所述行星架轨道连杆末端固定设有L型铁件，所述L型铁件与行星架轨道固定连接；行星盘，所述行星盘上方设有行星盘联结轴杆，所述行星盘联结轴杆可套入行星架轴承套件，本实用新型能在晶圆蒸镀时旋转，使镀层更均匀，提升了蒸镀良率。
- 一种设备
- [发明专利]一种传动装置-CN201210002938.8有效
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李汉明
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李汉明
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2010-06-19
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2012-07-11
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H02K53/00
- 本发明公开了一种传动装置，其特征在于，机壳中置有输入杠杆轨道室(3)、中间杠杆轨道室(4)和输出杠杆轨道室(5)连成一体，在每一间杠杆轨道室中，由一根纵向杠杆支撑轴(6、7、8)把两道相同的杠杆轨道(9、10)并列横向悬挂在轨道室中间，杠杆轨道的主动臂一端与主动行星轮(11)一端连接，主动行星轮的另一端与输入轴拨叉连接，另一端杠杆轨道的被动臂与被动行星轮一端连接，被动行星轮的另一端与中间轴(12)被动拨叉连接，再由中间轴同轴中的主动拨叉与中间主动行星轮一端连接，中间主动行星轮另一端又与中间轨道室(4)中的中间杠杆轨道的主动臂轨道连接，另一端被动臂轨道又与中间被动行星轮一端连接，行星轮的另一端又与另一中间轴被动拨叉连接，中间轴同轴中主动拨叉又与输出杠杆轨道室(5)的输出主动行星轮(13)一端连接，输出主动行星轮(13)的另一端又与输出杠杆轨道一端主动臂轨道连接，另一端的杠杆轨道被动臂又与输出被动行星轮一端连接，输出被动行星轮另一端与输出轴拨叉连接
- 一种传动装置
- [发明专利]一种大扭矩宽变速范围无极变速器-CN202210094491.5在审
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蒋雨良
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蒋雨良
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2022-01-26
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2022-05-13
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F16H37/08
- 本发明公开了一种大扭矩宽变速范围无极变速器，属于传动机构技术领域，包括外壳、安装在外壳上的输入轴和输出轴，其特征在于：还包括内行星轨道、外行星轨道、差速器和连接在输入轴上的初级行星架，初级行星架上铰接有行星轮，内行星轨道包括固定内行星轨和活动内行星轨，外行星轨道包括活动外行星轨和固定外行星轨，外壳上设置有推杆，活动内行星轨靠近固定内行星轨移动，行星轮向远离输入轴的方向移动，活动外行星轨靠近固定外行星轨移动，行星轮向靠近输入轴的方向移动，活动外行星轨远离固定外行星轨移动，行星轮向远离输入轴的方向移动。
- 一种扭矩变速范围无极变速器
- [实用新型]一种摇床-CN201020219067.1有效
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刘韦兵;朱亚东
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中山市童印儿童用品有限公司
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2010-06-04
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2011-07-06
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A47D9/02
- 本实用新型公开了一种摇床，包括床身，床身底部安装有行星轮，行星轮安装在轮架上；所述床身底部设有上导轨，上导轨下面设有下导轨，上导轨和下导轨之间设置有行星轮；下导轨上面是中间低、两端高的弯曲轨道，行星轮设在弯曲轨道上，行星轮可以在弯曲轨道上同时相对于上轨道和下轨道往复移动；在其中至少一个行星轮上设有齿轮驱动器。本实用新型结构合理，通过在行星轮上下设置弯曲轨道的上导轨和下导轨，在行星轮上安装齿轮驱动器，既可以由人力推动床身摇动，也可以由驱动器自动驱动行星轮滚动，使床身自动摇动，从而使本实用新型适用性广，还能实现自动化摇动
- 一种
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