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- [发明专利]一种防止串料的坩埚装置-CN202310746890.X在审
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薛蒙晓;杜宝胜;张银丹
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苏州佑伦真空设备科技有限公司
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2023-06-25
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2023-09-19
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C23C14/24
- 本发明提出一种防止串料的坩埚装置，其包括：坩埚盖板和坩埚本体，坩埚盖板设于坩埚本体上方，坩埚本体上均匀设有多个穴位孔，所述坩埚盖板上方设有活动盖板，所述活动盖板一端设有凹槽，凹槽上连接有入料口，所述活动盖板的两侧边对称设有调节装置，调节装置靠近坩埚本体的一端设有滚轮，所述坩埚本体上表面边缘均匀间隔设置有多个滑槽，当滚轮位于滑槽内时，调节装置带动活动盖板下移，活动盖板带动入料口下移，此时其中一个穴位孔位于入料口正下方，且坩埚本体上表面与入料口下表面完全贴合，当滚轮滑出滑槽时，调节装置带动活动盖板上移，活动盖板带动入料口上移，此时坩埚本体上表面与入料口下表面分离。
- 一种防止坩埚装置
- [发明专利]一种无死角的视窗-CN202210156833.1有效
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薛蒙晓
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苏州佑伦真空设备科技有限公司
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2022-02-21
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2023-09-15
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C23C14/52
- 本申请提供一种无死角的视窗，包括设置在真空蒸镀机的腔体门上的观察窗和设置在主腔体内并与主腔体后面板固定的反射件，所述观察窗的结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件设置在主腔体内并且与安装架连接，延伸件与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，安装架具有第一通孔，第一通孔与外层玻璃的位置相对应，延伸件有两个，两个延伸件上下设置在第一通孔的上下两边，延伸件中的一个或者两个具有反射功能，反射件相对于腔体门的一面具有反射功能；主腔室内的光线通过延伸件和/或反射件的反射后穿过第一通孔到达外层玻璃而进入人眼，延伸件阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔。
- 一种死角视窗
- [发明专利]一种观察角度广的视窗-CN202210156828.0有效
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薛蒙晓
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苏州佑伦真空设备科技有限公司
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2022-02-21
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2023-09-05
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C23C14/52
- 本申请提供一种观察角度广的视窗，所述视窗设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述视窗的结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，所述外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件有两个，两个延伸件上下设置在第一通孔的上下两边，延伸件中的一个或者两个具有反射功能；延伸件3反射光线和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔；镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H，坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L，以坩埚内蒸镀材料表面最中心点和坩埚上沿最右侧点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为b,视窗的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb。
- 一种观察角度视窗
- [实用新型]一种基片可翻面的镀锅结构-CN202223001277.5有效
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薛蒙晓
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苏州佑伦真空设备科技有限公司
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2022-11-11
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2023-03-24
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C23C14/24
- 本申请提供一种基片可翻面的镀锅结构，镀锅结构的镀锅主体与贯穿主腔体上面板的回转轴固定；镀锅主体上具有通孔，通孔内设置有翻转件，翻转件用于固定基片并且能够相对于通孔旋转，触手与主腔体的面板固定，镀锅主体旋转时触手能够拨动翻转件翻面；通孔的左右侧边设置有限位凹槽、前后两边设置有沉头孔，其中一个沉头孔内设置有弹簧，翻转件的翻转主体的侧边设置有一个凸台、前后两边设置有连接轴，其中一个连接轴上设置有向斜上方延伸的翻转杆，触手能够拨动翻转杆使得翻转件旋转，限位凹槽用于支撑着凸台，使得翻转件稳定并且每次旋转180°，连接轴的端部能够进入沉头孔内，使得翻转件可拆卸的固定。
- 一种基片可翻面结构
- [实用新型]一种探头的遮挡结构-CN202222750571.X有效
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钱文朔;薛蒙晓
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苏州佑伦真空设备科技有限公司
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2022-10-19
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2023-01-17
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C23C14/24
- 本申请提供一种探头的遮挡结构，所述探头垂直穿过真空蒸镀机主腔体的上面板，上面板的下方设置有顶部防着板，顶部防着板具有第一通孔，第一通孔设置在探头的正下方，第一通孔的直径大于探头的下部的直径，探头下部垂直穿过第一通孔或者探头下部设置在第一通孔的上方；遮挡结构设置在顶部防着板的下方并且与顶部防着板可拆卸的连接，遮挡结构包括连接件和遮挡件，连接件用于将遮挡件与顶部防着板连接，遮挡件具有第二通孔，遮挡件在初始位置时第二通孔设置在第一通孔的正下方，第二通孔的直径小于第一通孔的直径并且小于等于探头的底端盖帽的直径。
- 一种探头遮挡结构
- [实用新型]一种镀锅的传动结构-CN202222657769.3有效
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顾建强;钱文朔;薛蒙晓
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苏州佑伦真空设备科技有限公司
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2022-10-10
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2023-01-17
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C23C14/24
- 本申请提供一种镀锅的传动结构，所述传动结构的磁流体穿过真空蒸镀机主腔体的上面板，磁流体中间的回转轴能够转动，回转轴用于动能传递带动镀锅旋转；回转轴的内部具有两个供冷却液进出的流道，分别为进流道和出流道，进流道和出流道的底端均与镀锅内的水冷部连通；进流道和出流道的顶端分别与进水管套和出水管套连接，进水管套和出水管套分别套设在回转轴上，进水管套的管套主体的内部具有中空的第一腔体，第一腔体与进流道的顶端相通，进水接头与管套主体固定并且与第一腔体连通；出水管套的主体套的内部具有中空的第二腔体，第二腔体与出流道的顶端相通，出水接头与主体套固定并且与第二腔体连通。
- 一种传动结构
- [实用新型]一种具有冷却功能的镀锅-CN202222428184.4有效
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顾建强;钱文朔;薛蒙晓
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苏州佑伦真空设备科技有限公司
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2022-09-14
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2023-01-17
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C23C14/24
- 本申请提供一种具有冷却功能的镀锅，所述镀锅位于真空蒸镀机的主腔体内部的顶部，镀锅包括：水冷盘和载片盘，载片盘与水冷盘可拆卸的连接，载片盘用于承载及固定被镀膜工件；水冷盘包括：与回转轴连接固定的连接柱、与连接柱的下端固定的固定盘、设置在固定盘内部的水冷部以及设置在固定盘下表面的凹陷部，回转轴与电机连接，回转轴带动所述镀锅同步旋转，连接柱的内部具有两个竖直贯穿的进水道和出水道，进水道和出水道的下端与水冷部连接，水冷部为空腔或者流道，进水道、水冷部和出水道形成连通的可供冷却液循环的通道；凹陷部用于容纳载片盘，载片盘固定时，载片盘的上表面与凹陷部的下表面接触，从而起到冷却载片盘上被镀膜工件的作用。
- 一种具有冷却功能
- [实用新型]一种真空蒸镀机的一体式电极-CN202121473784.1有效
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薛蒙晓
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苏州佑伦真空设备科技有限公司
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2021-06-30
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2022-08-09
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C23C14/26
- 本申请提供一种真空蒸镀机的一体式电极，从里到外包括：铜棒、陶瓷层和不锈钢层，所述铜棒、陶瓷层和不锈钢层是一体式的，所述陶瓷层为中空圆柱体并且套设在铜棒的中部外，所述陶瓷层起到绝缘的作用，所述不锈钢层将陶瓷层包裹在不锈钢层内，所述不锈钢层包括中空圆柱部和套设在中空圆柱部的底端外的中空圆环部，所述中空圆柱部的上部设置有螺纹，所述一体式电极与真空蒸镀机的主腔体板固定时，不锈钢层的中空圆柱部穿过所述主腔体板的通孔，所述不锈钢层的中空圆环部的直径大于所述主腔体板的通孔的直径，采用第一螺母与所述不锈钢层的中空圆柱部的上部的螺纹固定，使得所述一体式电极与真空蒸镀机的主腔体板固定。
- 一种真空蒸镀机体式电极
- [实用新型]一种真空封闭门的燕尾槽式密封结构-CN202121473802.6有效
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薛蒙晓
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苏州佑伦真空设备科技有限公司
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2021-06-30
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2022-08-09
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C23C14/24
- 本申请提供一种真空封闭门的燕尾槽式密封结构，所述燕尾槽式密封结构包括：密封框、密封槽和密封圈，所述密封框设置在真空蒸镀机的腔体门上，并且密封框设置在所述腔体门的相对靠近腔体主体的一面，密封框为中空的结构，所述密封槽设置在密封框上，密封槽设置在所述密封框的相对靠近腔体主体的一面，密封圈设置在密封槽内，密封槽的横截面为梯形，密封槽的上底的所在面为密封框的相对靠近腔体主体的一面，密封槽的下底在密封框内，密封槽的高度小于密封框的厚度，密封圈的横截面为圆形，密封槽的高度大于等于密封圈的直径的2/3且小于密封圈的直径，关上腔体门，密封圈与腔体主体和密封槽的下底无缝接触，且密封圈不易凸出来，密封性好。
- 一种真空闭门燕尾密封结构
- [实用新型]一种真空蒸镀机的观察窗结构-CN202121471024.7有效
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薛蒙晓
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苏州佑伦真空设备科技有限公司
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2021-06-30
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2022-08-09
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C23C14/52
- 本申请提供一种真空蒸镀机的观察窗结构，所述观察窗结构设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述观察窗结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件与安装架连接并位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，倾斜角a为0°‑180°，安装架具有第一通孔；延伸件有两个，两个延伸件上下设置在安装架上且倾斜角a相同或者不相同，延伸件中的一个或者两个具有反射功能；真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件反射后穿过第一通孔到达外层玻璃，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以散射角b呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔。
- 一种真空蒸镀机观察窗结构
- [实用新型]一种具有双坩埚结构的真空蒸镀机-CN202121473759.3有效
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薛蒙晓
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苏州佑伦真空设备科技有限公司
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2021-06-30
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2022-07-12
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C23C14/26
- 本申请提供一种具有双坩埚结构的真空蒸镀机，所述真空蒸镀机的主腔体的底板上设置有坩埚结构，所述坩埚结构包括：坩埚部和加热源，所述坩埚用于盛放蒸镀材料，所述加热源用于将坩埚内的蒸镀材料从固态升华为气态，所述坩埚结构有两个，两个坩埚结构之间具有间距，两个坩埚结构设置在主腔体的底板的水平中心线上，真空蒸镀机的主腔室的上部设置有一个或多个镀锅，镀锅的形状为水平圆板或者为伞面状，坩埚结构镀膜时坩埚内的蒸镀材料以圆锥体的形状向上蒸发，其散射角为，在坩埚的中心垂直面上的向上蒸发的蒸镀材料的形状为散射面，两个坩埚结构的散射面的上表面之间的重合长度或者间距长度小于所述镀锅的直径的1/3。
- 一种具有坩埚结构真空蒸镀机
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