专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种金属材料腐蚀疲劳耦合试验装置-CN202211257469.4在审
  • 许文娜 - 青岛沃纳精工科技有限公司
  • 2022-10-14 - 2023-03-07 - G01N17/00
  • 本发明公开了一种金属材料腐蚀疲劳耦合试验装置,属于金属材料试验装置技术领域。其技术方案为:一种金属材料腐蚀疲劳耦合试验装置,包括腐蚀槽,设置在腐蚀槽底面上的若干个支腿,可拆卸设置在腐蚀槽上的密封盖,置于腐蚀槽内、用于安装样品的若干个夹持部件,以及控制若干个夹持部件发生翻转的控制单元,翻转过程中,夹持部件带动样品浸入或移出腐蚀液。本发明的有益效果是:本发明提供的一种金属材料腐蚀疲劳耦合试验装置实现多种复合环境下的腐蚀疲劳试验、使用灵活、适用性强、试验结果可靠。
  • 一种金属材料腐蚀疲劳耦合试验装置
  • [实用新型]带监控的真空铝膜腐蚀装置-CN91230974.1无效
  • 王家楫;岳德全;胡晴宇 - 复旦大学
  • 1991-11-26 - 1992-08-05 - H01L21/306
  • 带监控的真空铝膜腐蚀装置是用于半导体器件平面工艺中有关铝及其合金膜的图形腐蚀的关键设备。本装置由真空腐蚀室、终点检测器和讯号处理控制系统三大部分组成,与目前采用的湿法腐蚀工艺相比,具有腐蚀的全过程在低真空室中进行的特点,能及时排除腐蚀反应生成的氢气泡。通过电化学传感器进行精确的腐蚀终点检测与控制,腐蚀分辨率可达2微米。该装置从半导体分立元件到超大规模集成电路的铝膜腐蚀工艺均适用。
  • 监控真空腐蚀装置
  • [实用新型]一种高压铝箔生产设备-CN202120209086.4有效
  • 徐英胜;朱定芳;朱林涛;盛皇飞;潘远明;王隽毅 - 浙江丰川电子环保科技股份有限公司
  • 2021-01-26 - 2021-10-22 - C25F7/00
  • 本实用新型公开了一种高压铝箔生产设备,包括进料装置、电解腐蚀装置、扩孔装置、酸洗装置和收卷装置;所述进料装置包括上料卷、上料转向组件和冷却机构;所述进料装置和电解腐蚀装置之间还设有清洗结构,所述电解腐蚀装置和扩孔装置之间也设有所述清洗结构;所述收卷装置包括依次设置的烘干机和收卷机;所述烘干机和收卷机之间还设有纠偏装置;本实用新型通过电解腐蚀装置,较好的通过电解对光箔进行腐蚀腐蚀形成的隧道孔,分布均匀,孔深均匀,且无效孔较少,进一步的确保扩孔过程中光箔不会受损;通过电解腐蚀装置与扩孔装置之间的清洗结构,确保在光箔进入扩孔装置时,光箔上不会残留有电解腐蚀装置中的电解液,避免影响光箔的扩孔质量。
  • 一种高压铝箔生产设备
  • [发明专利]冷热交替环境下的防沉积冲刷腐蚀实验装置-CN202210986676.7在审
  • 刘雪东;邵恪;陶平;刘文明;刘红梅 - 常州大学
  • 2022-08-17 - 2022-10-18 - G01N3/56
  • 本发明涉及冲刷腐蚀实验装置技术领域,尤其是涉及一种冷热交替环境下的防沉积冲刷腐蚀实验装置,包括内部具有空腔体的存储箱;试样装夹装置,其用于装夹实验试样,所述试样装夹装置设置在空腔体内;以及浆液快速交换装置,其与空腔体连通并用于对存储箱内腐蚀介质进行冷却交换,所述存储箱内设置有防沉积装置,所述防沉积装置位于试样装夹装置下方,所述防沉积装置用于对腐蚀介质震荡加气,实现腐蚀介质在存储箱内固液均匀分布,使用时,通过防沉积装置对存储箱内部腐蚀介质进行震荡并加气,使沉积在腐蚀介质底部的固体介质悬浮于介质内,实现固液均匀分布,保证了模拟真实环境下浆液中固体颗粒对试样的冲刷腐蚀,提高了实验模拟效果。
  • 冷热交替环境沉积冲刷腐蚀实验装置
  • [其他]湿法腐蚀装置-CN85203849无效
  • 刘振芳;蔡福兴 - 航天工业部七七一研究所
  • 1985-09-17 - 1986-05-21 - H01L21/02
  • 一种湿法化学腐蚀装置,用以腐蚀介质薄膜,特别适用于半导体器件生产工艺中Si3N4介质膜的湿法腐蚀,可耐200℃高温。在腐蚀容器[2]上的盖子[1]内侧布满回形冷却管[3],当腐蚀液加热时,管子接通冷却水,这样因受热产生的腐蚀液蒸汽在管子上遇冷而凝聚下来,滴回腐蚀液中,从而能很好地保持腐蚀液的组分,不改变腐蚀速率,保证腐蚀质量
  • 湿法腐蚀装置
  • [实用新型]化学腐蚀装置-CN201621206988.8有效
  • 李瑞彬;潘之炜;郭栓银;吴涛;谭少阳;周立;张鹏 - 苏州长光华芯光电技术有限公司
  • 2016-11-09 - 2017-07-28 - B24B37/00
  • 本实用新型提供一种化学腐蚀装置,其包括底座和把手;所述底座的底部镂空设置,且所述底座的四周边缘垂直设置有边框,所述底座的底部和边框定义磷化铟晶圆片的收容腔;所述边框上还设置有安装耳,所述把手的两端分别凹陷设置有形状与所述安装耳形状相对应的安装槽应用本实用新型的化学腐蚀装置进行减薄抛光时,有利于贴有InP晶圆片的载具实现方便地放入和取下,且在化学腐蚀过程中,有利于搅拌的浓盐酸流通更顺畅,浓盐酸与InP晶圆的反应更加充分,克服了现有的InP晶圆片减薄抛光方法中
  • 化学腐蚀装置

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