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[发明专利]基于调制射频的动态等离子体产生装置-CN201610693642.3有效
发明人：李小平;雷凡;刘彦明;刘东林;谢楷;白博文 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2016-08-19 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提出一种基于调制射频的动态等离子体产生装置，用于解决现有低气压非平衡放电等离子体产生装置存在的等离子体人为控制难及动态性能差的技术问题，包括等离子体放电腔体、环形高压电极、真空系统、冷却系统、等离子体动态波形发生器、调制射频电源、射频匹配器、射频屏蔽接口和电磁实验屏蔽仓；等离子体放电腔体内安装环形高压电极，两端固定电磁实验屏蔽仓，并与真空系统相连，冷却系统与环形高压电极和等离子体放电腔体相连，等离子体动态波形发生器产生波形信号，调制射频电源将波形信号与本振信号相乘放大，通过射频匹配器和与等离子体放电腔体相连的射频屏蔽接口，将调幅波信号输给环形高压电极。本发明可产生一定频谱的动态等离子体。
基于调制射频动态等离子体产生装置

[发明专利]可插拔的等离子体放电管装置-CN201580072642.5有效
发明人：王守国 -专利权人：王守国
申请日： 2015-01-12 - 公布日： 2021-03-19 - 主分类号： H05H1/26 文献下载
摘要：一种可插拔的等离子体放电管装置，所述的装置包含一个与可手持壳体通过插拔方式连接的等离子体放电管，该等离子体放电管内设一个金属电极，在其外围不设有其它电极，是金属电极连接等离子体电源的一个输出端，该等离子体电源的另一个输出端连接电源自身的地线，该等离子体电源的输入端是连接12V以下的直流电源或电池，该等离子体的产生方式可为接触式的管外感应放电方式，或为有供气源的管内自持放电方式，该等离子体放电管能产生准辉光的常压冷等离子体。所产生的等离子体可用于对敏感表面的消毒、灭菌、治疗皮肤组织感染治疗以及癌细胞的杀灭。
可插拔等离子体放电装置

[发明专利]一种基于等离子体喷射技术的飞行制导武器控制装置-CN202010996239.4有效
发明人：郑博睿;聂胜阳;赵太飞;葛畅;喻明浩;付钰伟;张雯 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： F42B10/66 文献下载
摘要：本发明公开的一种基于等离子体喷射技术的飞行制导武器控制装置，包括有设置在飞行制导武器壳体头部的四个等离子体喷射壳体，每个等离子体喷射壳体的轴线垂直于飞行制导武器壳体表面，每个等离子体喷射壳体表面上设置有等离子体喷射口，对应的飞行制导武器头部腔体上也设置有与等离子体喷射口对应的开口，等离子体喷射口与开口重合；每个等离子体喷射壳体内壁上还设置有一个等离子体激励电极单元，还包括安装在飞行制导武器内部且相互连接的喷射控制系统及高压直流电源，每个等离子体激励电极单元均与喷射控制系统连接。该装置能够减少飞行气动阻力，提高了武器的飞行速度和飞行距离。
一种基于等离子体喷射技术飞行制导武器控制装置

[发明专利]手持式低温等离子体产生装置及其应用-CN202210939006.X在审
发明人：詹克君 -专利权人：无锡智蜂科技有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： A61N1/44 文献下载
摘要：本发明提供一种手持式低温等离子体产生装置，其特征在于，包括：腔体外壳、等离子体发生装置、气体供给装置、鼓风装置，腔体外壳包含等离子体喷出口，与气体供给装置连接的供气口；等离子体发生装置设置在腔体外壳一端，内部设有驱动电源、电极片，其中，电极片上开设有导流孔；鼓风装置设置在腔体外壳的另一端，以使得鼓风气体用于将等离子体发生装置产生的等离子体喷出腔体外壳的等离子体喷出口的方式，设计风道；气体供给装置为可拆卸式气瓶，气瓶接口与腔体外壳的供气口密闭或者非密闭连接；供气口在腔体外壳内的开口，在等离子体发生装置内部的电极片之间，或者电极片的上游。
手持低温等离子体产生装置及其应用

[发明专利]一种等离子体针灸装置及方法-CN202210368311.8在审
发明人：卢新培;李志宇 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-04-08 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： A61H39/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体针灸装置及方法，属于医疗针灸设备领域。设备包括：控制器和等离子体针灸手柄；所述等离子体针灸手柄包括绝缘壳体以及设置在绝缘壳体内的升压模块和等离子体发生器，所述升压模块与控制器电连接，所述等离子体发生器与升压模块电连接；所述控制器用于产生低电压控制信号；所述升压模块用于产生可变的高电压脉冲；所述等离子体发生器用于产生等离子体，所述等离子体通过设置在绝缘壳体上的等离子体喷口喷出并作用于人体皮肤，对穴位产生电刺激。本发明还提供了一种等离子体针灸方法。本发明能够实现无需刺破皮肤就可针灸以及无痛针灸，同时产生的等离子体中的强电场能够直接穿透皮肤，对深层穴位产生电刺激，治疗效果好。
一种等离子体针灸装置方法

[发明专利]具有独立温控的等离子体处理-CN202180093412.2在审
发明人：刘炜;弗拉基米尔·纳戈尔尼;雷妮·乔治 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本公开内容的实施例一般涉及电感耦合等离子体源、等离子体处理装置及等离子体处理的独立温控。在至少一个实施例中，一种方法包括将工艺气体引入至气体注入通道中，及在气体注入通道内产生电感耦合等离子体。等离子体包括选自氧、氮、氢、NH及氦的至少一种自由基物质。该方法包括借由使等离子体流经在等离子体源与基板之间的分离栅格而将等离子体自等离子体源输送至与等离子体源耦合的工艺腔室。该方法包括处理基板。处理基板包括使包括该至少一种自由基物质的等离子体与基板的面向分离栅格的第一侧接触，及使用位于基板的与分离栅格相对的第二侧上的多个灯来加热基板。
具有独立温控等离子体处理

[发明专利]一种空气源等离子体烙画装置及其绘画方法-CN201310317106.X有效
发明人：姜玉梅 -专利权人：扬州大学
申请日： 2013-09-03 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： B44C1/02 文献下载
摘要：一种空气源等离子体烙画装置及其绘画方法，包括等离子体发生器和等离子体电源；等离子体发生器包括工作手柄、外电极和内电极，内电极和外电极之间设有内电极移动轨道，内电极内形成气室，内电极和外电极一端分别对应设有压力空气出口；设置压力空气出口的外电极一侧设有喷口；手柄上设有等离子体强度控制器、等离子体连接开关和风机；等离子体强度控制器和等离子体连接开关通过导线相连接，等离子体强度控制器分别通过导线连接所述内电极和外电极；等离子体连接开关、风机分别通过连接线连接等离子体电源；风机上设有进风口和进风道，进风道和所述气室之间设有压力空气引入通道。
一种空气等离子体装置及其绘画方法

[发明专利]自由曲面光学零件的大气等离子体数控加工的装置-CN201310177071.4有效
发明人：王波;李娜;姚英学;李国;金会良;辛强;金江;李铎 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-05-14 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： B23K10/00 文献下载
摘要：自由曲面光学零件的大气等离子体数控加工的装置，它属于等离子体加工大口径非球面光学零件的技术领域。它是为了解决高精度大口径非球面光学零件的加工效率和表面质量问题。它的五轴联动数控机床的绝缘工作架上安装有大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬；将待加工光学零件装卡在地电极上；大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬分别对待加工光学零件待加工表面进行大气等离子体数控加工本发明能采用不同类型的等离子体炬进行大气等离子体加工。
自由曲面光学零件大气等离子体数控加工装置

[发明专利]用于气相蚀刻以及清洗的等离子体装置-CN201510446622.1有效
发明人：金奎东;申雨坤;安孝承;崔致荣 -专利权人： AFO株式会社
申请日： 2015-07-27 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于气相蚀刻以及清洗的等离子体装置，包括：反应器主体，用于处理目标基板；直接产生等离子体区域，其为所述反应器主体内的直接产生等离子体区域，工艺气体流入所述反应器主体内，从而直接感应等离子体；等离子体感应组件，向所述直接产生等离子体区域感应等离子体；基板处理区域，其设在所述反应器主体内，通过混合从所述直接产生等离子体区域流入的等离子体和从所述反应器主体的外部流入的汽化气体来形成反应性物质，并通过所述反应性物质来处理所述目标基板；以及双配气挡板，配置在所述直接产生等离子体区域和所述基板处理区域之间，向所述基板处理区域分配等离子体，将汽化气体分配给所述基板处理区域的中心区域和周边区域。
用于蚀刻以及清洗等离子体装置

[发明专利]主动等离子体喷射装置及高超声速飞行器主动隐身方法-CN202111506622.8有效
发明人：张佳;张鹏飞;刘鑫;罗成;白博文;刘东林;李小平;刘彦明 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H05H1/26 文献下载
摘要：本发明属于脉冲放电等离子体应用技术领域，公开了一种主动等离子体喷射装置及高超声速飞行器主动隐身方法；利用脉冲合成电源，产生高电压脉冲和大电流脉冲，驱动间隙放电，产生等离子体喷射；喷射等离子体进入等离子体鞘套，对等离子体鞘套进行调控；采用重复频率脉冲合成电源，产生重复频率脉冲放电，实现重复频率脉冲等离子体喷射，持续不断的对等离子体鞘套进行调控，实现高超声速飞行器的隐身。本发明通过产生强度、参数、时间可调的等离子体喷射，对等离子体鞘套进行调控，改变等离子体鞘套的电子密度的大小和分布，从而使高超声速飞行器产生目标探测异常，具有灵活性高、可控性强、成本低等特点。
主动等离子体喷射装置高超声速飞行器隐身方法

[发明专利]用于将材料进给到等离子体中的方法及设备-CN202180079354.8在审
发明人： P·马蒂斯;M·科兹洛夫斯基;M·雷吉达尔;J·R·卡鲁索;尚宗仁 -专利权人： 6K有限公司
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B23K10/00 文献下载
摘要：一种用于将材料原料提供到等离子体炬的等离子体中的设备包括具有输入端和输出端的材料进给装置。材料进给装置的输出端至少部分地围绕等离子体炬的输出端附近生成的等离子体的外围延伸。材料进给装置相对于等离子体炬的中心轴线成角度定向。
用于材料进给等离子体中的方法设备

[发明专利]一种共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定装置与方法-CN201610984073.8在审
发明人：龚革联;游利兵;李聪隐;方晓东;孙卫东;徐成;徐红云 -专利权人：中国科学院广州地球化学研究所
申请日： 2016-11-09 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本发明公开了一种共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定装置和方法。沿电感耦合等离子体发生装置产生的电感耦合等离子体轴向设有接收电感耦合等离子体的质谱仪，沿电感耦合等离子体发生装置产生的电感耦合等离子体径向设有接收电感耦合等离子体的光纤探头，光纤探头与光纤的一端相连，光纤的另外一端与光栅光谱仪相连由于本发明的光栅光谱仪与等离子质谱仪共享同一个ICP光源，在提高元素测量精度的同时，也减少了成本消耗。本发明的共享电感耦合等离子体光源的光谱与质谱测定装置还具有结构紧凑、便于模块化组装等特点。
一种共享电感耦合等离子体光源光谱测定装置方法

[发明专利]一种筛网电极目数可调的大气压低温等离子体射流处理装置-CN202111405568.8在审
发明人：柳晶晶;谭文超;穆金均;钟英英 -专利权人：广州大学
申请日： 2021-11-24 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种筛网电极目数可调的大气压低温等离子体射流处理装置，包括装配体、固定台、第一支撑体、进气口、等离子体发生器、第二支撑体以及高压频率可调交流电源；其中，等离子体发生器包括筛网电极、玻璃介质板和圆形电极本发明解决了等离子体射流装置结构固定导致等离子体射流位置不可调以及处理材料不充分的问题，不仅能随时调整等离子体射流处理材料的距离和随时更换筛网电极目数，还能随时调整被处理区域的位置和增大等离子体射流的面积，真正实现全方位处理材料，提高了等离子体处理材料的灵活性、方便性，使得等离子体射流处理材料得到更加广泛的应用。
一种筛网极目可调大气压低温等离子体射流处理装置

[发明专利]光刻胶去除方法和去胶机-CN202210305069.X在审
发明人：林政勋;张云飞;华义永 -专利权人：无锡邑文电子科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G03F7/42 文献下载
摘要：去胶机包括去胶机本体、进气管道和等离子体形成装置。等离子体形成装置设置于去胶机本体的反应腔，等离子体形成装置具有与反应腔连通的等离子体形成腔室，等离子体形成装置用于形成等离子体。进气管道与等离子体形成腔室连通，以向等离子形成腔室输送气体。方法包括将涂好胶的硅片送入反应腔；控制等离子体形成装置以第一预设射频功率运行，进气管道向等离子体形成腔室内通入第一预设量的氧气和第二预设量的氮气；使等离子体形成装置以第二预设射频功率运行，进气管道向等离子体形成腔室内通入第三预设量的氧气以使等离子体形成装置形成等离子体
光刻去除方法去胶机

[发明专利]一种低温等离子体采后防腐保鲜装置-CN201910026794.1在审
发明人：熊紫兰;朱宇;陆晨 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： A23B7/152 文献下载
摘要：本发明公开了一种低温等离子体采后防腐保鲜装置，包括储藏室、等离子体发生装置、循环风扇、残余气体吸收池；利用等离子体发生装置产生的等离子体对采后果蔬进行防腐保鲜处理，处理后的气体通入残余气体吸收池中进行吸收；等离子体发生装置位于储藏室的上部空间的底部，用于产生等离子体；残余气体吸收池位于储藏室的下部空间内，用于吸收残余气体；储藏室内置循环风扇，使得储藏室内活性成分浓度均匀，以促进储藏室内的整体采后保鲜效果，并加快等离子体发生装置的散热。本发明旨在利用放电等离子体产生的活性粒子、自由基等杀死果蔬上的细菌、真菌等，并分解果蔬上面残留的乙烯、农药等有害物质，达到等离子体保鲜的目的。
等离子体发生装置残余气体等离子体储藏室吸收池低温等离子体防腐保鲜装置循环风扇室内果蔬放电等离子体保鲜效果防腐保鲜活性粒子上部空间下部空间自由基散热真菌吸收乙烯杀死保鲜细菌残留分解农药