专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]干式剥离-膜的方法-CN201280015166.X无效
  • K·D·李;S·拉蒂;R·萨卡拉克利施纳;M·J·西蒙斯;I·贾勒米;金秉宪 - 应用材料公司
  • 2012-04-27 - 2013-12-11 - H01L21/3065
  • 本发明的实施例大致涉及干式剥离-膜的方法。在一个实施例中,利用氢与氧的交替等离子体来移除-膜。在另一实施例中,利用共同流动的氧与氢等离子体来移除含硼-的膜。除了上述氧等离子体的任一个以外可利用一氧化二等离子体,或者可利用一氧化二等离子体来取代上述氧等离子体的任一个。在另一实施例中,利用自水蒸气产生的等离子体来移除-膜。-移除工艺还可包括在-膜的移除之前的视情况的聚合物移除工艺。聚合物移除工艺包括将-膜暴露至NF3,以自-膜的表面移除在基板蚀刻工艺期间产生的任何聚合物。
  • 剥离方法

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