|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 537599个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]一种新型手持激光尘埃粒子计数器-CN202310747335.9在审
-
万桂波;尹荣鑫;郑衍畅
-
苏州康启环境科技有限公司
-
2023-06-25
-
2023-09-22
-
G01N15/10
- 本发明公开了一种新型手持激光尘埃粒子计数器，涉及激光尘埃粒子计数器领域。一种新型手持激光尘埃粒子计数器，包括缓冲框，还包括：可拆卸连接在所述缓冲框上的防护壳；限位导向组件，连接在所述缓冲框底部内壁；支撑座，滑动连接在所述限位导向组件上；本发明,在使用者使用激光尘埃粒子计数器本体时，进而能够稳定将激光尘埃粒子计数器本体固定在使用者手部上，从而以便于使用者使用激光尘埃粒子计数器本体，以及当激光尘埃粒子计数器本体掉落在地面上时，能够达到对激光尘埃粒子计数器本体提供有效地缓冲减震，避免激光尘埃粒子计数器本体受到冲击内部零部件出现损坏，并且在闲置期间，能够达到对激光尘埃粒子计数器本体提供全方位防护。
- 一种新型手持激光尘埃粒子计数器
- [发明专利]半导体制造设备-CN201911045780.0在审
-
杨建勋;林立德;林斌彦
-
台湾积体电路制造股份有限公司
-
2019-10-30
-
2020-05-08
-
H01L21/67
- 来源腔室可操作以产生数个荷电粒子；加工腔室与来源腔室结合，且配置以从来源腔室接收荷电粒子。加工腔室包括一晶圆台以及一激光荷电粒子交互作用模块。晶圆台可操作以固定及移动晶圆；激光荷电粒子交互作用模块还包括一激光源、一光束分离器以及一反射镜。激光源产生第一激光光束；光束分离器配置以分离第一激光光束成第二激光光束及第三激光光束；反射镜配置以反射第三激光光束，使得第三激光光束被重新导向以与第二激光光束相交，以在荷电粒子的路径形成激光干涉图样，且激光干涉图样在微区域模式中调制荷电粒子，以使用被调制的荷电粒子加工晶圆。
- 半导体制造设备
- [发明专利]室内粒子侦测系统-CN200780012544.8有效
-
马克·赖特
-
朗姆研究公司
-
2007-02-07
-
2009-05-06
-
G01N15/02
- 室内粒子侦测系统。大体而言，本发明实施例提供一种改进的室内粒子源确认机制，从而满足了需求。该原位室内粒子源确认方法和设备可以极大的缩短用于确认室内粒子源的时间，能提高用于生产系统的处理室生产能力。该方法和设备也可以用于在工程研制阶段检测元件的粒子性能。在一个实施例中，一个用于半导体处理室的原位室内粒子监测组件包括至少一个激光光源。该至少一个激光光源可以在处理室的室处理体积内扫描激光光。该原位室内粒子监测组件还包括至少一个激光光收集器。该至少一个激光光收集器能够收集由该至少一个激光光源发出的激光光。该室内粒子监测组件还包括一个位于处理室外的分析器，用于分析代表由该至少一个激光光收集器收集的激光光的信号以提供室内粒子信息。
- 室内粒子侦测系统
|
