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[实用新型]一种溅镀靶-CN202221328562.5有效
发明人：何小锐;郑健 -专利权人：深圳市派恩新材料技术有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种溅镀靶，由于侧板的高度高于上盖的高度，且通过侧板的上端的内壁直接或间接卡住上盖的边缘而实现固定，使得上盖结构变得简单，成型较为容易，且在装配时不需要压合弯折工艺，直接将侧板的上端的内壁卡住上盖的边缘即可，使得上盖下边的金属网和金属网下方的轰击靶材紧紧地被压住，避免了金属网和轰击靶材脱落的情况发生，大幅降低了溅镀靶的组装和装配作业难度，上盖与外壳的组装和装配时对对位精度要求也不高，当对位精度没有达到预设要求时不会出现不良品，从而大幅提高了溅镀靶的组装和装配效率，同时也提高了溅镀靶的良品概率，降低了溅镀靶的制造成本，提高了溅镀靶的产品竞争力。
一种溅镀靶

[实用新型]一种曲面基底镀膜设备-CN202320221227.3有效
发明人：刘智博;朱杰志;吕圣诗 -专利权人：广州智圣高分子材料科技有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种曲面基底镀膜设备，属于镀膜技术领域，包括安装在机台上的镀膜室和位于镀膜室内的固定机构、滑动机构、支撑机构和溅镀机构，固定机构安装于镀膜室的底部，滑动机构滑动安装于镀膜室中，支撑机构和溅镀机构均安装于滑动机构的滑动端，支撑机构抵接于产品的表面，本实用新型通过将溅镀机构和支撑机构安装在滑动机构的滑动端，滑动机构滑动设置在镀膜室中，让支撑机构与固定在固定机构上的产品抵接来对溅镀机构起到支撑作用，当滑动机构开始滑动时，支撑机构可以让溅镀机构与产品的距离始终保持一致，使得溅镀机构在曲面基板上镀膜的厚度保持一致，降低了镀膜后的色差，同时减少了镀膜液的浪费，节约了成本。
一种曲面基底镀膜设备

[实用新型]一种双面ITO铜导电膜-CN202223102371.X有效
发明人：张子键;张爱国;薛中;刘凯;刘凯华;栗佳星 -专利权人：焦作嵩阳光电科技有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： H01B5/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种双面ITO铜导电膜，包括PET载体膜，PET载体膜上端面设有第一光学高折层，第一光学高折层上端面磁控溅镀有第一光学低折层，第一光学低折层上端面磁控溅镀有第一ITO导电层，第一ITO导电层上端面磁控溅镀有第一铜导电层；PET载体膜下端面设有第二光学高折层，第二光学高折层下端面磁控溅镀有第二光学低折层，第二光学低折层下端面磁控溅镀有第二ITO导电层，所述第二ITO导电层下端面磁控溅镀有第二铜导电层。
一种双面 ito 导电

[实用新型]一种可用于制备具有成分梯度的薄膜材料的梯度溅射装置-CN200720008823.4无效
发明人：李山东;刘美梅;王大伟;李培友;程唤龄 -专利权人：福建师范大学
申请日： 2007-11-22 - 公布日： 2008-11-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：装置由真空、电子控制、靶座、溅镀基板和冷却水等系统构成。靶座和溅镀基板处于一个真空腔体中，电子控制系统通过信号线和电源导线分别与靶座系统、溅镀基板系统连接。圆形旋转溅镀样品盘转动时，正好使基板位于主材料靶的正上方，转至掺杂物靶时，基板与掺杂物靶呈偏离状对应。主材料靶正对，掺杂物靶偏心的设计，使被溅镀的样品来自主材料靶的成分是均匀的，而圆形旋转溅镀样品盘的径向产生的掺杂物靶的成分呈梯度分布，从而实现掺杂物成分的梯度分布。
一种用于制备具有成分梯度薄膜材料溅射装置

[发明专利]一种双面制程溅镀膜电容触控传感器的制作工艺-CN201810910451.7在审
发明人：林行;葛健国;吕育仁;范小荣;朱育民;庄胜智 -专利权人：无锡变格新材料科技有限公司
申请日： 2018-08-10 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： G06F3/044 文献下载
摘要：本发明公开了一种双面制程溅镀膜电容触控传感器的制作工艺，包括溅镀载板、ITO溅镀层、铜铂贴合层、电容电极，其特征在于：所述双面制程溅镀膜电容触控传感器的制作工艺还包括以下步骤：步骤一真空溅镀、步骤二贴合铜铂本发明采用真空溅镀设置ITO镀层，再在一侧的ITO镀层上辊压贴合设置铜铂金属层的结构，再采用双面制程蚀刻工艺对铜铂层和ITO镀层进行蚀刻，真空溅镀工艺实现真空度要求低，所述ITO溅镀层均匀平整，薄且透光性好
一种双面制程溅镀膜电容传感器制作工艺

[发明专利]金属硅化物溅镀靶-CN01109170.3无效
发明人：袁镇国;黄昭元 -专利权人：矽统科技股份有限公司
申请日： 2001-03-16 - 公布日： 2002-10-23 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：一种金属硅化物溅镀靶,它可以使用在半导体元件制造过程中的金属沉积工艺中,其为一包含有金属硅化物的金属硅化物溅镀靶。利用本发明的金属硅化物溅镀靶,则可减少金属硅化物制造步骤,进而减少生产时间,达到有效降低成本的功效。
金属硅化物溅镀靶

[外观设计]溅镀机降温冷却治具-CN202130098074.4有效
发明人：成凡 -专利权人：必思云国际贸易（上海）有限公司
申请日： 2021-02-19 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：溅镀机降温冷却治具。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于溅镀机溅镀工作时芯片表面的降温冷却。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
机降冷却

[发明专利]一种智能玻璃阳极电致变色层镀膜材料的制备方法-CN201710211153.4在审
发明人：黄信二 -专利权人：深圳市景创科技电子有限公司
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： C03C17/245 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能玻璃阳极电致变色层镀膜材料的制备方法，使用注浆成型加真空高温烧结的方式来制作相关靶材，藉由高温烧结过程中真空处理及添加第二种元素在氧化镍中，造成氧的空缺产生电载子移动性来提高材料的导电性，提高靶材均匀性及致密度，大幅降低溅镀过程中异常电弧的产生，延长靶材寿命及利用率，提高溅镀薄膜质量及性能。溅镀时使用脉冲DC,AC或是MF等电源可以获得稳定的溅镀电弧,溅镀过程中只需通入少量的氧气,不易造成落尘,同时采用阶段升温烧结的工艺及在氩气中添加其他气体，溅镀成膜速率可以提高5‑10倍左右,并提高薄膜的平坦度及大面积的均匀度
溅镀电致变色层阳极镀膜材料智能玻璃制备薄膜高温烧结过程真空高温烧结导电性电弧靶材均匀性氩气靶材寿命阶段升温异常电弧真空处理注浆成型烧结电载子均匀度平坦度氧化镍移动性脉冲靶材成膜落尘氧气电源空缺制作

[发明专利]一种LGA封装电子产品的磁控溅射方法-CN201911196295.3在审
发明人：邢发军;许伟 -专利权人：江苏长电科技股份有限公司
申请日： 2019-11-29 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：相邻两颗单元产品底部之间设计有凹槽；步骤二、取一预贴膜；步骤三、将LGA产品底部表面贴上预贴膜；步骤四、将LGA产品底部的预贴膜上继续粘贴PI膜，沿着切割道对整体LGA产品进行单元产品切割；步骤五、对LGA产品进行溅镀，通过溅镀机在LGA产品的上表面和四个侧面溅镀金属层；步骤六、完成溅镀后的产品进行揭膜作业；步骤七、完成剥离的单元产品放到载盘中，按顺序摆放待出货。本发明可以解决LGA产品从PI膜上剥离后大量的溅镀毛刺粘在材料边缘，溅镀毛刺有移动和脱离的风险，可能造成短路问题。
一种 lga 封装电子产品磁控溅射方法

[发明专利]显示屏的面板及加工方法-CN201210379975.0无效
发明人：金振平 -专利权人：金振平
申请日： 2012-10-09 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： H04M1/02 文献下载
摘要：面板包括中间透明的视窗部和边侧的边框体，视窗部和边框体为一体结构，在面板最上层和最下层表面设有保护膜，面板内层为光学透明材料的基片，在基片的边框体位置采用溅镀方式镀设有溅镀分子层，在溅镀分子层上侧印刷有油墨层本发明采用在基片上溅镀溅度分子层，光线透过溅度分子层看彩色油墨层可产生彩色折射效果，不同角度观看面板呈现变色效果，印刷指定比例的彩色油墨将金属粒子包裹在油墨与片材之间，呈现出一种金属效果，且从不同角度观察产品会有变色视觉效果
显示屏面板加工方法

[实用新型]显示屏的面板-CN201220513761.3有效
发明人：金振平 -专利权人：金振平
申请日： 2012-10-09 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H04M1/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及显示屏的面板，面板包括中间透明的视窗部和边侧的边框体，视窗部和边框体为一体结构，在面板最上层和最下层表面设有保护膜，面板内层为光学透明材料的基片，在基片的边框体位置采用溅镀方式镀设有溅镀分子层，在溅镀分子层上侧印刷有油墨层，在油墨层上层覆有保护膜。本实用新型采用在基片上溅镀溅度分子层，光线透过溅度分子层看彩色油墨层可产生彩色折射效果，不同角度观看面板呈现变色效果，印刷指定比例的彩色油墨将金属粒子包裹在油墨与片材之间，呈现出一种金属效果，且从不同角度观察产品会有变色视觉效果
显示屏面板

[实用新型]一种溅镀过程保护装置-CN201920417971.4有效
发明人：施克炜;陈晓东 -专利权人：太湖金张科技股份有限公司
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型提供一种新型溅镀过程保护装置。一方面限位材料可以有效的将产品定位于压敏胶表面，另一方面通过限位材料可以阻挡溅镀材料进入非溅镀区域，造成溅镀产品的不良，同时由于限位材料的厚度均匀性，使得溅镀后产品的溅镀边际清晰平整，从而提高产品良率及档次
一种过程保护装置

[发明专利]芯片溅镀治具及溅镀方法-CN201510682124.7在审
发明人：姜志良 -专利权人：丰盛印刷（苏州）有限公司
申请日： 2015-10-21 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种芯片溅镀治具以及使用该治具进行芯片溅镀的方法。本发明溅镀时则不需要金属薄膜溶入，实现了芯片五面溅镀的新工艺，芯片生产更为环保，同时大大降低了生产成本，也避免了清洗芯片的复杂流程，大大提高了溅镀效率。
芯片溅镀治具方法

[发明专利]曲面基板的镀膜装置及其镀膜方法-CN202010834726.0在审
发明人：郭青峰;丁景隆;汤莹瑶 -专利权人：群创光电股份有限公司
申请日： 2020-08-18 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种曲面基板的镀膜装置与镀膜方法，其中镀膜方法包含：一镀膜装置，该镀膜装置包含：一腔体(1)、一承载台(2)、一溅镀机构(3)以及一位置调整机构(4)，承载台(2)设于腔体(1)内且具有一第一表面，溅镀机构(3)设于腔体(1)内且与承载台(2)相对设置，位置调整机构(4)设于腔体(1)内；提供一曲面基板，设于承载台(2)的第一表面上，曲面基板具有一第二表面；以位置调整机构(4)将溅镀机构(3)调整到不同位置；以及在不同位置处，以溅镀机构(3)将一镀膜材料对曲面基板的第二表面的不同部分进行溅镀。
曲面镀膜装置及其方法

[发明专利]陶瓷溅镀靶材组件及其焊合方法-CN200910136526.1有效
发明人：吴国贤;杜承鑫 -专利权人：光洋应用材料科技股份有限公司
申请日： 2009-05-06 - 公布日： 2010-11-10 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种陶瓷溅镀靶材的焊合方法，其包括提供一背板，并在其一表面形成具有低熔点焊料的一软焊料层；提供一陶瓷溅镀靶材，并在其一表面进行纯铬或铬合金镀膜处理而形成一介面层；令该具有介面层的陶瓷溅镀靶材进行退火处理本发明借由让陶瓷溅镀靶材上形成铬或铬合金介面层，并将该介面层经过退火处理后，使得该介面层与软焊料层之间具有极佳的接合附着能力，让该陶瓷溅镀靶材与背板接合得更为紧密。
陶瓷溅镀靶材组件及其方法