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- [发明专利]一种溅镀方法及溅镀设备-CN200810097817.X无效
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范继良;杨明生;谢金桥;刘涛;王勇
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东莞宏威数码机械有限公司
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2008-05-15
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2008-09-10
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C23C14/34
- 本发明提出一种溅镀方法及溅镀设备。包括：取来待溅镀的盘片并将其抽真空至预真空后，将所述盘片旋转传输到第一溅镀腔。通过第一溅镀腔在磁场的作用下进行溅镀，在达到预定设置的膜厚A时停止溅镀，并将已溅镀的盘片旋转传输到第二溅镀腔，在所述第一溅镀腔和第二溅镀腔内盘片被抽真空至高真空。由所述第二溅镀腔在磁场的作用下将所述已溅镀的膜厚继续溅镀到膜厚B，所述膜厚B为预定设置的要溅镀的总膜厚，膜厚B≥膜厚A，且均为常数。本发明可以使溅镀后的光盘膜层厚度均匀，同时可以在较低功率、较短时间下溅镀薄膜，避免了盘片升温而变形，也降低了光盘生产周期。
- 一种方法设备
- [发明专利]一种塑胶管材溅镀方法-CN201810989043.5有效
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杨胜
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佛山市顺德区侨晟绝缘材料有限公司
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2018-08-28
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2020-08-18
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C23C14/20
- 本发明属于镀膜技术领域，具体的说是一种塑胶管材溅镀方法，该方法包括如下步骤：开启塑件管材溅镀系统，使塑胶管材溅镀系统进行自清洗和自烘干；将已喷入底漆的塑胶管材安装到塑胶管材溅镀系统中，随后对塑胶管材溅镀系统内部抽真空，随后注入氩气；以靶材为阴极，被镀塑胶管材及工件架为阳极进行通电，进行真空溅镀；待塑胶管材真空溅镀完成后，对塑胶管材喷涂面漆，完成塑胶管材的整个溅镀过程；本发明通过使用已喷入底漆的塑胶管材进行溅镀，有利于塑胶管材溅镀均匀；通过塑胶管材溅镀系统溅镀塑胶管材使得塑胶管材被溅镀均匀，通过在塑胶管材表面喷涂面漆，增加塑胶管材溅镀层的耐磨性，有利于提高塑胶管材表面溅镀质量。
- 一种塑胶管材方法
- [发明专利]一种BGA电磁屏蔽产品的磁控溅射方法-CN201911266209.1有效
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邢发军
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江苏长电科技股份有限公司
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2019-12-11
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2021-07-27
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C23C14/35
- 本发明涉及一种BGA电磁屏蔽产品的磁控溅射方法，它包括以下步骤：步骤一、取一溅镀胶带；步骤二、使用加热的冲切模具在溅镀胶带上冲出对应尺寸通孔，并在溅镀胶带表面靠近通孔边缘处通过压合方式形成斜坡；步骤三、将带通孔的溅镀胶带先贴合到溅镀载具上，再将BGA产品放置到溅镀胶带对应通孔位置上，溅镀前用压合机下压BGA产品，使BGA产品的底部边缘最外圈的锡球可以陷入斜坡处的溅镀胶带中，然后进行溅镀作业；步骤四、BGA产品完成溅镀作业后，加热溅镀胶带至175℃以上，使塑性记忆金属膜恢复到记忆形状，BGA产品自发与溅镀胶带分离。本发明通过对BGA溅射胶带结构和材质设计，可以实现溅镀过程中保护锡球不被溅镀，锡球从塑性变形的溅射胶带中弹起，同实现产品自发与溅镀胶带分离。
- 一种bga电磁屏蔽产品磁控溅射方法
- [发明专利]一种塑胶管材溅镀系统-CN201810989064.7有效
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杨胜
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铜陵市兆林工贸有限责任公司
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2018-08-28
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2020-07-31
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C23C14/35
- 本发明属于镀膜技术领域，具体的说是一种塑胶管材溅镀系统，包括溅镀箱、工件架、电机、靶材模块、加热器和自动清洗模块，电机固定在溅镀箱外部；工件架位于溅镀箱内部中央，工件架由电机驱动转动；靶材模块安装于溅镀箱内壁上，靶材模块可上下移动和横向移动靠近工件架；自动清洗模块用于在溅镀前对溅镀箱清洗；加热器位于溅镀箱内壁上端，加热器用于对清洗过后的溅镀箱进行烘干；本发明通过使自动清洗模块向溅镀箱内喷洒水进行清洗，有利于提高整个塑胶管材溅镀过程的效率；通过电机驱动工件架转动使塑胶管材溅镀均匀，通过靶材模块上下移动或横向移动使塑胶管材溅镀均匀，提高塑胶管材溅镀质量。
- 一种塑胶管材系统
- [实用新型]一种高精密度石英晶片溅镀装置-CN201420573418.7有效
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曾家骏
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东晶锐康晶体（成都）有限公司
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2014-09-30
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2015-01-28
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H03H3/02
- 本实用新型公开了一种高精密度石英晶片溅镀装置，它包括两个相连的溅镀腔体A（1）和溅镀腔体B（2），溅镀腔体A（1）和溅镀腔体B（2）相连处设置有一隔板（3），隔板（3）上开设有一通孔（4），通孔（4）的大小允许溅镀夹具（5）通过，溅镀腔体A（1）和溅镀腔体B（2）内均充满氩气，所述的溅镀腔体A（1）和溅镀腔体B（2）内均设置有电场发生器（6）和磁场发生器（7），所述的溅镀腔体A（1）和溅镀腔体B（2）上均设置有靶材（本实用新型的有益效果是：通过调整在不同溅镀腔体的速度来控制镀层厚度，使石英晶体两面溅镀镀层厚度不同，从而达到经过后期离子蚀刻工艺后石英晶体两面镀层厚度一致的目的。
- 一种精密度石英晶片装置
- [实用新型]一种全自动溅镀装置-CN201920728459.1有效
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陈道理
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盱眙新远光学科技有限公司
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2019-05-21
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2020-04-14
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C23C14/34
- 本实用新型提供一种全自动溅镀装置，包括：溅镀仓，所述溅镀仓上端设有上固定板、下端设有下固定板，下固定板安装在设备支架上，所述上固定板上设有阳极电极、所述下固定板上设有阴极电极，所述阳极电极通过阳极电极固定支架安装在上固定板，阴极电极通过阴极电极固定支架安装在下固定板上，所述溅镀仓一侧设有溅镀气体入口、另一侧设有抽真空排出口，所述溅镀仓内设有溅镀件固定支架，溅镀件固定支架一端安装在旋转电机上，所述旋转电机通过电机固定座安装在溅镀仓内本实用新型，可以对溅镀件进行立体溅镀，大大提高了自动化程度，而且，特别适用于中空物件的溅镀，可以提高溅镀效率。
- 一种全自动装置
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