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[发明专利]工件处理方法、工件及等离子体处理装置-CN202210844502.7在审
发明人：陈星建;陈煌琳;史文博;朱海波 -专利权人：南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： B05D5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种工件处理方法、工件及等离子体处理装置，本发明公开的工件处理方法包括：覆盖：在工件上覆盖液态碳硅烷，所述液态碳硅烷至少覆盖在所述工件的待处理位置；固化：将覆盖于所述工件上的液态碳硅烷固化，本发明采用液态碳硅烷作为化学源，经过浸渍和低温固化，获得包含碳化硅的功能层，该功能层耐腐蚀、耐刻蚀、耐磨；致密、厚度均匀、热传导效率高、粘度高。
工件处理方法等离子体装置

[发明专利]一种多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷的回收方法和装置-CN201410401453.5有效
发明人：周迎春;郭蔡明;刘兴平;刘建海 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2014-08-13 - 公布日： 2018-12-25 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷的回收方法和装置，该方法包括以下步骤：使用淋洗液四氯化硅对多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷进行淋洗，其中，多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷包括：二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅，将多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷回收后，得到淋洗液四氯化硅和多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷的液体混合物，淋洗液四氯化硅的淋洗量相对于多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷的流量以处理过的尾气中不含有氯硅烷为标准进行设定该方法通过淋洗液四氯化硅回收多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷，再重新回收利用，同时淋洗液四氯化硅还可以吸收尾气中的硅粉颗粒，从而减轻了下游工序处理负担，降低尾气处理成本，减少空气污染。
一种多晶生产中的尾气硅烷回收方法装置

[发明专利]多晶硅生产过程中物料循环利用的方法和系统-CN201310553096.X有效
发明人：司文学;严大洲;肖荣晖;汤传斌;杨永亮 -专利权人：中国恩菲工程技术有限公司
申请日： 2013-11-08 - 公布日： 2014-02-05 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明公开了多晶硅生产过程中物料循环利用的方法和系统，该方法包括：（1）使三氯氢硅和氢气进行还原反应，得到多晶硅和还原尾气；（2）对还原尾气进行除尘处理，获得经过除尘的还原尾气；（3）对经过除尘的还原尾气进行压缩冷却处理，从还原尾气分离第一氯硅烷和压缩后气；（4）对第一氯硅烷进行精馏提纯处理，获得残液以及三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅；（5）将（4）中获得的三氯氢硅返回至（1）进行还原反应，并且将四氯化硅的一部分与硅粉和氢气发生氢化反应，获得第二氯硅烷；（6）使四氯化硅的一部分与二氯二氢硅发生反歧化反应，获得第三氯硅烷；（7）将第二氯硅烷和第三氯硅烷返回至（4）进行精馏提纯处理。
多晶生产过程物料循环利用方法系统

[发明专利]一种制备高纯度γ-氯丙基三氯硅烷的装置及方法-CN202011065460.4有效
发明人：华超;白芳;陆平;聂佳斌;甘维俊杰;甘维俊 -专利权人：中国科学院过程工程研究所;湖北江汉石化装备有限公司
申请日： 2020-09-30 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： C07F7/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种制备高纯度γ‑氯丙基三氯硅烷方法，步骤一：三氯氢硅与氯丙烯反应完的混合物料进入预分离精馏塔，精馏分离；步骤二：预分离精馏塔塔顶物料进入四氯化硅脱除塔，步骤三：预分离精馏塔塔釜物料进入丙基三氯硅烷脱除塔，塔顶获得纯度≥99.5％的丙基三氯硅烷，塔釜物料进入二次精馏塔；步骤四：步骤三中的二次精馏塔塔顶物料回流到丙基三氯硅烷脱除塔，塔釜物料进入γ‑氯丙基三氯硅烷脱除塔；步骤五：塔釜物料进入产品回收塔；步骤六：步骤五中的产品回收塔塔顶物料回流到γ‑氯丙基三氯硅烷脱除塔，塔釜获得高沸物并定期排出。
一种制备纯度丙基硅烷装置方法

[发明专利]分离四氯硅烷-三甲基氯硅烷共沸物的方法-CN94100159.8无效
发明人：康拉德·毛特讷;安东·施纳贝克 -专利权人：瓦克化学有限公司
申请日： 1994-01-07 - 公布日： 1994-09-28 - 主分类号： C07F7/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种分离四氯硅烷-三甲基氯硅烷共沸物的方法，在该方法中通过加入甲基二氯硅烷来蒸馏分离所述的共沸物。
分离硅烷甲基共沸物方法

[发明专利]一种聚(甲基硅烷-碳硅烷)及其制备方法-CN201310159751.3有效
发明人：李永明;王秀军;徐彩虹;曾凡 -专利权人：中国科学院化学研究所
申请日： 2013-05-03 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： C08G77/38 文献下载
摘要：本发明公开了一种聚(甲基硅烷-碳硅烷)及其制备方法。所述聚(甲基硅烷-碳硅烷)共聚物的结构式如式I所示，其中，x＝0-0.2，y＝0.03-0.2，z＝0-0.25；n＝10-30；R₁为Me，Ph，C2-C8的芳烃或烷烃；R氯硅烷单体混合物与缺量的碱金属发生Wurtz型缩聚反应，合成含Si-Cl键的中间体聚合物；随后通过格氏偶联反应得到含碳碳不饱和键的液态甲基硅烷碳硅烷共聚物。该聚(甲基硅烷碳硅烷)可作为碳化硅陶瓷前驱体，具有陶瓷产率高、存储稳定性好、结构组成可调的优点，可用于做陶瓷涂层和块体材料的前驱体及复合材料的浸渍剂。
一种甲基硅烷及其制备方法

[发明专利]表面处理用液态组合物-CN202280007763.1在审
发明人：前平健;山下恒雄;三桥尚志;大向吉景 -专利权人：大金工业株式会社
申请日： 2022-01-06 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C09D5/16 文献下载
摘要：一种表面处理用液态组合物，其含有含氟代聚醚基的硅烷化合物、含氟代烷基的硅烷化合物和溶剂，利用动态光散射法得到的上述液态组合物中的上述含氟代聚醚基的硅烷化合物和上述含氟代烷基的硅烷化合物的平均流体力学粒径为1～1500nm，上述平均流体力学粒径是以与上述液态组合物中的含氟代聚醚基的硅烷化合物和含氟代烷基的硅烷化合物的比例相同的比例，将上述溶剂中含有50质量％上述含氟代聚醚基的硅烷化合物的液态混合物与上述含氟代烷基的硅烷化合物进行混合
表面处理液态组合

[发明专利]三氯氢硅生产尾气回收的方法及其专用设备-CN200810163037.0有效
发明人：李文宁;徐慧芬;周桂仙;汪建阳;邱贤辉 -专利权人：浙江富士特硅材料有限公司
申请日： 2008-12-15 - 公布日： 2009-06-03 - 主分类号： B01D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及化工技术领域的一种尾气处理工艺，尤其涉及一种三氯氢硅生产尾气的回收方法和该方法专用的设备。三氯氢硅生产尾气的回收方法，该方法包括以下的步骤：将三氯氢硅合成产生的尾气经加压后冷凝，使氯硅烷被冷凝下来形成冷凝液；不凝气体进入吸收塔，吸收塔内用氯硅烷吸收氯化氢得到氯硅烷吸收液，粗氢气从吸收塔塔顶出来；然后将冷凝液和氯硅烷吸收液送到解析塔解析氯硅烷中溶解的氯化氢，氯化氢从解析塔塔顶出来；解析后的氯硅烷进入回收工序。
三氯氢硅生产尾气回收方法及其专用设备

[发明专利]一种六氯乙硅烷提纯装置及方法-CN202011490070.1有效
发明人：张宝顺;宗冰;陈海宝;刘建华;王体虎 -专利权人：亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种六氯乙硅烷提纯装置及方法，属于六氯乙硅烷提纯技术领域，装置包括依次连通的原料罐、反应器和冷却器；所述原料罐上设有原料进口，且原料罐内部设有加热器；反应器内设有电极，且反应器具有与氯气通入管路适配的气体接口本发明通过电极形成电磁场激励氯气，得到同时含有电子、活性氯自由基、自由分子及辐射光的等离子体，在自由电子、辐射光和活性氯自由基的诱导下，加热后形成的气相五氯乙硅烷先脱去一个氢基，然后再结合一个氯基，进而转变为六氯乙硅烷，在在提高六氯乙硅烷的纯度的同时，提高了六氯乙硅烷的产量。
一种六氯乙硅烷提纯装置方法

[发明专利]一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的方法及系统-CN202210702339.0在审
发明人：彭中;李寿琴;杨强;杜炳胜;汪云清;杨成;刘阳;王世棋 -专利权人：云南通威高纯晶硅有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：本发明公开了一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的方法，属于多晶硅生产技术领域，包括以下步骤：将合成的高纯度三氯氢硅与回收三氯氢硅送入分离塔中进行混合，通过对分离塔进行加热，汽化氯硅烷，再通过冷凝器冷凝二氯二氢硅至液态，采出部分二氯二氢硅，余下部分二氯二氢硅送回至分离塔作为回流液，获取分离塔塔釜中的压力值和温度值，通过DCS系统判断分离塔中二氯二氢硅的含量与分离塔压力值、温度值的关系，确定二氯二氢硅的采出量，同时公开了匹配该方案的系统，有效解决现有技术生产多晶硅的还原工段中，输入原料精制三氯氢硅过程中，三氯氢硅与二氯二氢硅的比例存在较大波动，导致产品质量不稳定的问题。
一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量方法系统

[发明专利]用于处理硅石的有机硅化合物和共混物-CN03821691.4无效
发明人： A·雷维斯 -专利权人：陶氏康宁公司
申请日： 2003-09-05 - 公布日： 2005-10-12 - 主分类号： C08K9/04 文献下载
摘要：组合物中的有机硅化合物仅具有单体的二氯硅烷和三烷氧基硅烷的结构基团类型。这些组合物可以是：(i)含烷基和芳基的二氯硅烷与不含有可与硅石表面反应的烃基或有机官能团的三烷氧基硅烷的混合物或共混物；(ii)含取代烷基和取代芳基的二氯硅烷与不含有可与硅石表面反应的烃基或有机官能团的三烷氧基硅烷的混合物或共混物，其中二氯硅烷不含有可与硅石表面反应的烃基或有机官能团；或者(iii)含有取代和未取代烷基和芳基的二氯硅烷，其中二氯硅烷不含有可与硅石表面反应的烃基或有机官能团。这些混合物和共混物以1∶0.1－1∶2的重量比分别含有二氯硅烷和三烷氧基硅烷。
用于处理硅石有机硅化合物共混物

[发明专利]有机氢氯硅烷及其制备方法-CN201080040874.X无效
发明人：郑一男;洪淳铉;金殷成;玄相一 -专利权人：三星精密化学株式会社
申请日： 2010-07-13 - 公布日： 2012-06-13 - 主分类号： C07F7/12 文献下载
摘要：本发明涉及有机氯硅烷及其制备方法，该有机氯硅烷可用作制备高分子硅聚物的原材料。本发明尤其涉及将有机季膦盐化合物用作催化剂，使氯硅烷的Si-H键和其他有机氯硅烷的Si-Cl键进行交换反应，从而能够低成本且容易地合成高收率的各种新有机氢氯硅烷的方法。
有机硅烷及其制备方法

[发明专利]烯丙基氯硅烷的制备方法-CN200610050555.2无效
发明人：李志芳;来国桥;邱化玉;蒋可志;曹肖君 -专利权人：杭州师范学院
申请日： 2006-04-28 - 公布日： 2006-12-20 - 主分类号： C07F7/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种用稀土金属催化剂制备烯丙基氯硅烷的方法。本发明是在稀土金属催化下，通过二氯硅烷或者三氯硅烷与烯丙基溴间的偶联反应，合成烯丙基氯硅烷，能很好地解决现有技术中所存在的一些问题。本发明的制备方法其特征在于：在氮气保护下，将氯硅烷和烯丙基溴溶于有机溶剂中，然后加入稀土金属作为催化剂，充分搅拌，充分反应，静置过滤；对滤液进行减压蒸馏，就可以得到烯丙基氯硅烷单体，其通式为(1)：R(
丙基硅烷制备方法

[实用新型]氯硅烷残液回收装置-CN201620644150.0有效
发明人：王姗 -专利权人：成都蜀菱科技发展有限公司
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： C01C1/16 文献下载
摘要：本氯硅烷残液回收装置由表面蒸发器和螺旋蒸发器两部分组成，表面蒸发器残渣出口与螺旋蒸发器残渣进口气密连通。本实用新型通过采用表面蒸发器和螺旋蒸发器两级蒸发器高温蒸发、回收氯硅烷气体的技术措施，从氯硅烷残液中回收多晶硅生产原料氯硅烷气体，实现了95%以上的高回收率，从而大大降低了多晶硅生产成本，既从作为废弃物的氯硅烷残液中回收了大量可贵的多晶硅生产原料，又解决了氯硅烷残液所造成的严重环境污染问题。
硅烷回收装置

[发明专利]三氯硅烷的制备方法及利用方法-CN200980143120.4有效
发明人：斋木涉;水岛一树 -专利权人：三菱综合材料株式会社
申请日： 2009-10-30 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： C01B33/107 文献下载
摘要：该三氯硅烷的制备方法为冷却反应气体来回收三氯硅烷的三氯硅烷的制备方法。该三氯硅烷的制备方法中，首先使原料四氯化硅与氢气在1000℃以上且1900℃以下的温度下发生转化反应，生成包含三氯硅烷、二氯硅烯、氯化氢和高阶硅烷化合物的反应气体，接着将从转化炉导出的反应气体自冷却开始在
硅烷制备方法利用