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[实用新型]可调节体积流量的吸阻标准棒测量装置-CN202022255576.6有效
发明人：杨荣超;曾波;苗芊;赵航;张勍;范黎;史占东;张鹏飞;于千源;贺琛;叶长文 -专利权人：中国烟草总公司郑州烟草研究院
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G01F1/38 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种可调节体积流量的吸阻标准棒测量装置，它包括吸阻标准棒、专用夹具、四通接头、气体压差计、气体流量计、气体压力测量装置、伺服流量控制阀和负压源，吸阻标准棒固定于专用夹具上，吸阻标准棒的进气端连通大气、出气端连通四通接头的第一接口，气体流量计的进口连通四通接头的第二接口，气体流量计的出口连接伺服流量控制阀的进口，伺服流量控制阀的出口连接负压源；四通接头的第三接口和第四接口分别连接气体压差计和气体压力测量装置，伺服流量控制阀根据气体压力测量装置所测的气体压力反馈调节气体流量。该装置通过调节体积流量对吸阻标准棒的吸阻值进行精准测量，保证了吸阻标准棒的测量精度。
调节体积流量标准测量装置

[实用新型]一种气体流量自动控制装置-CN202221651945.6有效
发明人：王华利;蔡勇 -专利权人：阿斯曼尔科技（上海）有限公司
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体流量自动控制装置，涉及气体流量控制技术领域，包括设置在气体管路上的阀门、气体流量传感器和常闭电磁阀，以及连接所述阀门、气体流量传感器、常闭电磁阀的控制器；所述阀门为球阀或可控制阀芯开度的阀；所述球阀或可控制阀芯开度的阀，主要负责控制总管路内的流量限制；所述气体流量传感器，主要负责测算流量；所述常闭电磁阀主要考虑到某些场景下，突然上电或断电，由于可控制阀芯开度的阀没有断电复位功能，固后端匹配常闭电磁阀用于突然断电情况下本实用新型能够实现气体流量自动控制，用户设定气体流量，系统根据用户设定值，输出指定流量值的气体，提高了气体输出的精度和可调性。
一种气体流量自动控制装置

[发明专利]气体流量控制装置校验的方法-CN200610114468.9有效
发明人：南建辉;宋巧丽 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2006-11-10 - 公布日： 2008-05-14 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体流量控制装置校验的方法，用于在线校验气体流量控制装置MFC的误差，所述气体流量控制安装于向反应室供应工艺气体的气路上，包括以下步骤：首先将反应室抽到真空状态；然后设置被校验MFC流量为Qv，向反应室通入工艺气体，同时向反应室通入固定流量Qs的参考气体；再通过测定反应室压力的变化，根据理想气态方程公式PV＝nRT推导出进入反应室的气体的总的流量Q；之后根据公式Qp＝Q－Qs求得进入反应室的工艺气体的流量Qp，并将Qp与Qv进行比较，以校验MFC的流量误差。校验准确、精度高、校验时间短，不受环境温度和腔室容积影响，尤其适用于小流量MFC的校验。
气体流量控制装置校验方法

[发明专利]燃料电池系统及燃料电池系统的控制方法-CN201711248377.9有效
发明人：今西启之;山中富夫;户井田政史 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2017-12-01 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： H01M8/04089 文献下载
摘要：燃料电池系统具备燃料电池、氧化气体供给装置、氧化气体供给管、氧化气体排出管、燃料气体供给管、燃料气体返回管、燃料气体排出阀、及控制装置。控制装置以将燃料气体排出阀关闭的方式执行闭阀控制，在闭阀控制执行后根据从燃料气体排出阀向氧化气体排出管流动的泄漏气体的流量来决定由氧化气体供给装置应向氧化气体供给部供给的稀释气体流量。泄漏气体的流量越多，则应向氧化气体供给部供给的稀释气体流量被决定为越多的流量。
燃料电池系统控制方法

[发明专利]潮气量的监测装置及呼吸机-CN201811366202.2在审
发明人：陈锋 -专利权人：培婴（湖北）医学技术有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2019-01-25 - 主分类号： A61B5/087 文献下载
摘要：本发明提供一种潮气量的监测装置，其中，该装置包括：第一采集单元，用于采集呼吸机的吸气管路中气体的气体容积流量数据，并将所述吸气管路中气体的气体容积流量数据输出；第二采集单元，用于采集所述呼气管路中气体的气体容积流量数据，并将所述呼气管路中气体的气体容积流量数据输出；分别与所述第一采集单元和所述第二采集单元相连的数据处理单元，用于接收所述第一采集单元采集气体的气体容积流量数据和所述第二采集单元采集气体的气体容积流量数据，并根据采集到的气体的气体容积流量数据计算潮气量。
气体容积流量采集单元潮气量采集监测装置数据输出吸气管路呼气管呼吸机无创通气数据处理单元临床参数数据计算系统提供自动反馈瓶颈呼吸

[实用新型]潮气量的监测装置及呼吸机-CN201821890432.4有效
发明人：陈锋 -专利权人：培婴（湖北）医学技术有限公司
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： A61B5/087 文献下载
摘要：本实用新型提供一种潮气量的监测装置，其中，该装置包括：第一采集单元，用于采集呼吸机的吸气管路中气体的气体容积流量数据，并将所述吸气管路中气体的气体容积流量数据输出；第二采集单元，用于采集所述呼气管路中气体的气体容积流量数据，并将所述呼气管路中气体的气体容积流量数据输出；分别与所述第一采集单元和所述第二采集单元相连的数据处理单元，用于接收所述第一采集单元采集气体的气体容积流量数据和所述第二采集单元采集气体的气体容积流量数据，并根据采集到的气体的气体容积流量数据计算潮气量。
气体容积流量采集单元潮气量采集监测装置数据输出吸气管路呼气管呼吸机无创通气数据处理单元本实用新型临床参数数据计算系统提供自动反馈瓶颈呼吸

[发明专利]气体流量测定装置和使用该装置进行气体流量测定的方法-CN201310210110.6有效
发明人：王国建;黄臣军;张宗元;陈伟钧;卢丽;陈银节;杨俊;刘仿俊 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油勘探开发研究院
申请日： 2013-05-30 - 公布日： 2017-10-27 - 主分类号： G01F1/52 文献下载
摘要：本发明涉及一种气体流量测定装置以及使用该气体流量测定装置进行气体流量测定的方法。所述气体流量测定装置包括活塞缸容器，所述活塞缸容器的内腔通过活塞分成第一腔和第二腔，其中所述第一腔容纳有待测气体，容纳有液体介质的计量容器，所述计量容器与所述活塞缸容器的第二腔形成液体连通，检测机构，其用于检测所述计量容器内的响应于所述待测气体逸出到所述活塞缸容器之外而产生的液位变化，并根据所述液位变化来计算所述待测气体的流量。通过该气体流量测定装置实现了在恒定压力以及不受气体组分变化的影响的情况下，该气体流量测定装置仍能够准确测量气体微小且累积的流量。
气体流量测定装置使用进行方法

[发明专利]应用于蚀刻过程中监测气体流量的装置、方法及蚀刻系统-CN202010213823.8在审
发明人：苏财钰;伍凯义;沈佳辉;张嘉修;杨然翔 -专利权人：重庆康佳光电技术研究院有限公司
申请日： 2020-03-24 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： G01F15/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种应用于蚀刻过程中监测气体流量的装置、方法及蚀刻系统，其中，质量流量计及气体质量流量控制器依次设置在气体管道上；质量流量计用于在气体管道通气后对气体管道内的气体流量进行监测，并生成含流量参数的监测信号，并向服务器发送监测信号；气体质量流量控制器用于在质量流量计开启后，采集流经气体质量流量控制器的流量数据，并将流量数据发送至服务器；服务器用于接收监测信号和流量数据，并进行处理，得到处理结果；服务器将处理结果发送至远程监控平台
应用于蚀刻过程监测气体流量装置方法系统

[实用新型]一种耐高压气体质量流量计-CN201820282464.X有效
发明人：高其光 -专利权人：高其光
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2018-09-18 - 主分类号： G01F1/86 文献下载
摘要：一种耐高压气体质量流量计涉及一种气体测量技术领域，尤其是涉及一种耐高压气体质量流量计。一种耐高压气体质量流量计，包括数字积算仪、耐压外壳、低压气体质量流量传感器和气体测量主体，低压气体质量流量传感器设置于气体测量主体上，在气体管道上设有与低压气体质量流量传感器测量通道进口、出口相对应的进气口和出气口；耐压外壳设于气体测量主体上端，两者形成一个空腔，低压气体质量流量传感器置于空腔内，气体管道通过气体管道上设置的气压平衡孔与空腔相连，耐压外壳上端通过高压接头与数字积算仪相连。本实用新型的有益效果是：发挥在高压气体测量时低压气体质量流量传感器反应快、测量精度高的特点，结构简单，便于安装与生产。
质量流量传感器低压气体气体质量流量计气体测量耐高压耐压外壳气体管道空腔数字积算仪上端进气口本实用新型测量精度高气压平衡孔便于安装测量通道高压接头高压气体出气口测量进口出口生产

[实用新型]基于PM10在线监测的气体流量调节装置-CN201320760126.X有效
发明人：史晓光;马光明 -专利权人：宇星科技发展（深圳)有限公司
申请日： 2013-11-26 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本实用新型属于气体测试领域，提供了一种基于PM10在线监测的气体流量调节装置，包括：进气管路、流量传感器、步进电机、流量调节器以及控制器；所述流量传感器设置在所述进气管路上，所述流量传感器采集进气管路内的气体流量值并发送给所述控制器；所述流量调节器的输出端连接所述进气管路，控制端连接所述步进电机的输出轴，所述流量调节器调节所述进气管路内的气体流量；输出端连接所述步进电机的控制端，所述控制器根据所述流量传感器采集的气体流量值通过控制所述步进电机转动调整所述流量调节器使进气管路输送气体的流量在预设范围内，本实用新型在提高自动气体流量调节的精度的同时降低了成本，并降低了操作者的工作强度。
基于 pm10 在线监测气体流量调节装置

[发明专利]气体分配组件及其使用方法-CN202110176866.8在审
发明人：森幸博;V.H.B.G.巴宾;辻直人 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2021-02-07 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：公开了一种气体分配组件和调节通过气体供应单元进入反应室的气体流量的方法。所述气体分配组件和所述方法可用于均匀地增加或减少通过气体供应单元的气体流量。所述气体分配组件和所述方法还可用于增加进入所述反应室的一个区域的气体流量，同时减少进入另一区域的气体流量。
气体分配组件及其使用方法

[发明专利]一种流量自适应的智能气体标定控制方法-CN202210748975.7在审
发明人：宋崇林;王晨晰;吕刚;唐佳媞;刘子枫 -专利权人：天津大学
申请日： 2022-06-29 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本发明公开了一种流量自适应的智能气体标定控制方法，包括：PID控制器控制进气数控流量计的电子阀门开度使标定气流量从0mL/min开始以恒定的速度进行流量的提升；当进气流量满足待标定仪器的标定流量时，多余的气体通过溢流管路流出，并被溢流数控流量计进行测量，溢流数控流量计将溢流流量信号反馈给PID控制器；当溢流流量达到进气流量一定比例时，PID控制器向进气数控流量计发送保持当前开度指令，使进气管路中流量停止上升并保持当前气体流量本发明方法可在不明确待测设备所需标定气气体流量的条件下，通过数控流量计并结合溢流反馈控制策略，实现自动确定待测设备最佳标定气气体流量并以最佳标定气气体流量进行标定的功能。
一种流量自适应智能气体标定控制方法

[发明专利]一种气体流量计的系统校准方法-CN201710714459.1在审
发明人：韩占春;畅晓光;王春燕;徐锦垒;沈志勇;赵广恩 -专利权人：北京首钢自动化信息技术有限公司
申请日： 2017-08-18 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：一种气体流量计的系统校准方法，属于冶金、化工企业能源气体计量技术领域。利用企业现有的能源介质管网、储罐气容及相关计量设备资源，对在线气体流量计进行校准，修正流量计量的系统误差。涉及企业能源气体主管道、给管网供气二位阀、储罐气容、储罐气容标准压力表、输气减压阀组、被校准气体流量计温度补正表、被校准气体流量计压力补正表、被校准气体流量计一次差压表、被校准气体流量计二次流量累积器、该方法能有效克服节流装置设计、安装环节的误差，对能源气体在线计量的系统误差进行量化并修正，确保计量数据准确可靠。
一种气体流量计系统校准方法

[实用新型]一种用于气体质量流量检测的装置-CN202220452136.6有效
发明人：李晓娜;于金香;刘少波;李全;刘子琪 -专利权人：山东正实环保科技有限公司
申请日： 2022-03-04 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01F1/68 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于气体质量流量检测的装置，属于质量流量检测技术领域。包括操作台，操作台的上部设有热式气体质量流量计本体，热式气体质量流量计本体的一端连接有气体释放部件，热式气体质量流量计本体的另一端通过软管连接有气体采样袋，本实用新型具有以下优点：本实用新型的气体释放部件能够对气体样品包进行挤压破碎，检测气体释放后进入热式气体质量流量计本体中进行检测，检测完毕后检测气体进入气体采样袋进行收集，同时气体单向阀通入高压气体，将热式气体质量流量计本体中残留的检测气体驱赶入气体采样袋中，在保证了检测的效果的同时又有利于环境保护
一种用于气体质量流量检测装置

[发明专利]一种炉窑循环气体流量控制方法-CN201410306642.4在审
发明人：侯时云;何中炜 -专利权人：宝钢不锈钢有限公司
申请日： 2014-06-30 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： F27D7/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种炉窑循环气体流量控制方法，炉窑内部的气流包括冷却空气、驱动空气以及主排废气，所述的冷却空气、驱动空气以及主排废气在炉窑内部汇合组成循环气体，该循环气体流量控制方法由PLC通过PID调节方式对炉窑内下燃烧器循环气体流量、上燃烧器循环气体流量、燃烧室循环气体放散流量以及上套筒循环气体放散流量进行自动调节，实现循环气体的流量平衡。
一种循环气体流量控制方法