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[发明专利]一种自动动态配气系统及其配气方法-CN201910667970.X在审
发明人：高志强;顾潮春;刘乙;谢兆明;赵玲宝;魏庆瑶 -专利权人：江苏春潮科技发展有限公司
申请日： 2019-07-23 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： B01F15/04 文献下载
摘要：一种自动动态配气系统，包括稀释气体、被稀释气体、气体混合腔、质量流量控制器、气体流通管及气体检测装置；气体混合腔具有三个进气口和一个出气口，稀释气体出气口与气体混合腔一个进气口连接，稀释气体与气体混合腔管路上设置有质量流量控制器Ⅰ，气体混合腔出气口与气体检测装置进气口连接；气体流通管具有多个进气口和两个出气口，被稀释气体通过进气口依次与气体流通管连接，两个出气口与气体混合腔两个进气口连接；气体流通管与气体混合腔之间设有质量流量控制器Ⅱ和质量流量控制器Ⅲ，质量流量控制器Ⅰ量程大于质量流量控制器ⅡⅢ的量程，质量流量控制器Ⅱ量程大于质量流量控制器Ⅲ量程。本发明测试气体传感器速度快、耗时短、效率高。
质量流量控制器气体混合腔稀释气体出气口气体流通管进气口量程进气口连接气体检测装置配气系统自动动态测试气体传感器耗时

[发明专利]处理气体供给系统及处理装置-CN200880101144.9无效
发明人：松本贤治;伊藤仁 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2008-08-28 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明提供处理气体供给系统及处理装置。处理气体供给系统(2)向气体使用系统(4)供给利用稀释气体稀释后的处理气体。处理气体供给系统(2)包括：处理气体罐(10)、稀释气体罐(12)、连接处理气体罐(10)和气体使用系统(4)的主气体通道(14)、将稀释气体罐(12)与主气体通道连接的稀释气体通道。在主气体通道(14)及稀释气体通道上，分别设置有流量控制器(FC1、FC2、FC5)。稀释气体通道在多个流量控制器当中的除最下游侧的流量控制器以外的流量控制器所紧邻的下游侧与主气体通道连接。还设有剩余气体排出通道(24)，其在流量控制器当中的除最上游侧的流量控制器以外的流量控制器所紧邻的上游侧与主气体通道连接，排出剩余的稀释后的处理气体。
处理气体供给系统装置

[发明专利]一种气体热式质量流量计-CN202010745966.3有效
发明人：冯勇;周昌全;黄立基 -专利权人：矽翔微机电（杭州）有限公司
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G01F1/86 文献下载
摘要：本发明提供了一种气体热式质量流量计，涉及气体流量测量领域，为解决现有气体热式质量流量计在使用过程中当校准气体和测量气体不一致时受气体组分影响而导致测量精度偏差的问题而设计。该气体热式质量流量计包括流量计主体、MEMS传感元件、控制模块、电池电源模块和流量矫直器，流量计主体具有供气体流动的气流通道，MEMS传感元件安装于流量计主体，且MEMS传感元件的探测部伸入气流通道，探测部包括质量流量传感器，MEMS传感元件还包括热物性传感器，热物性传感器包括两个热敏元件，一个热敏元件被配置为与被测量的气体接触；质量流量传感器和热物性传感器均与控制模块电连接。本发明提供的气体热式质量流量计能够实现与气体组分无关的测量。
一种气体质量流量计

[实用新型]气体微小流量计在线校准装置-CN201420371969.5有效
发明人：雷天人;李德文;董立旗;阚宏秀;蒲文涛;李富强 -专利权人：西安航空动力控制科技有限公司
申请日： 2014-07-07 - 公布日： 2014-11-19 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种气体微小流量计在线校准装置，该装置包括恒流量装置、标准流量传感器以及校准管路；被校准气体微小流量计置于恒流量装置与标准流量传感器之间；恒流量装置通过校准管路依次接入被校准气体微小流量计以及标准流量传感器本实用新型提供了一种校准结果可靠的气体微小流量计在线校准装置。
气体微小流量计在线校准装置

[发明专利]探测器的保护系统、方法及计算机可读介质-CN202211520579.5在审
发明人：杨伟;龚伟婷;倪倚天;唐立 -专利权人：上海新漫传感科技有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： G01T7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种探测器的保护系统、方法及计算机可读介质，该系统先通过气压稳定装置控制进气气体的气压至气压稳定，然后在气压稳定时，质量控制模块按照预设流量输送气体，使所述气体被输送至各气体支路，通过开关控制模块控制对应气体支路的通断，通过第一流量测量模块测量对应气体支路中，经所述探测器和所述气体反应后的气体流量，供系统检测所述气体流量是否存在异常，再通过气体单向控制模块控制对应气体支路的气体进行单向输出，当系统检测到所述气体流量存在异常时，所述系统控制所述质量控制模块调整所述预设流量的大小，并控制存在异常的所述气体流量所对应的气体支路的开关控制模块，以使所述对应的气体支路断开。
探测器保护系统方法计算机可读介质

[实用新型]一种从“零”计量的气体流量测量装置-CN201220229993.6有效
发明人：王月声 -专利权人：北京菲舍波特仪器仪表有限公司
申请日： 2012-05-22 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： G01F1/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种从“零”计量的气体流量测量装置，包括气体流量测量装置本体，在本体上安装有显示气体流量的信号处理装置，所述本体设置有被测气体进口和被测气体进口，从被测气体进口到被测气体进口的气路通道上分别设置有热式质量流量传感器、压力传感器和旋进旋涡流量计探头；所述热式质量流量传感器、压力传感器和旋进旋涡流量计探头的信号连接至信号处理装置；本实用新型结构简单，通过组合传感器从根本上解决了现有的小气体流量测量难题，实现了流量测量从零开始的计量显示
一种计量气体流量测量装置

[实用新型]一种富氧助燃的供氧机用空气流量调节器-CN202320333172.5有效
发明人：陈海锋;洪淳昉 -专利权人：中辰高新技术（杭州）有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种富氧助燃的供氧机用空气流量调节器，包括气体流量计，所述气体流量计的顶部设置有自锁快接母头，所述气体流量计的顶部设置有安装头。本实用新型中通过设置安装头和气体流量计通过快装方式连接，实现对气体进行收集；通过设置有气体流量计，气体流量计可以检测实时流量；同时气泵的作用是抽气，让空气在气路中流动，从而使环境中的气体被安装头收集；而通过设置有气压计来检测气路中的气压，可以通过调节气泵的功率，以便对供氧机进行流量调节；最后气体流量计的底部固定安装有橡胶垫，且橡胶垫上均刻有防滑纹，增大摩擦的同时增强装置的稳定性。
一种助燃供氧空气流量调节器

[发明专利]钨生长控制设备及方法-CN201110379861.1有效
发明人：韩晓刚;陈建维 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2011-11-24 - 公布日： 2012-03-28 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：根据本发明的钨生长控制设备包括：WF6的气体流量控制器、SiH4的气体流量控制器以及检测控制仪器；其中WF6的气体流量控制器控制WF6气体的流量，SiH4的气体流量控制器控制SiH4气体的流量；检测控制仪器检测WF6的气体流量控制器的反应时间以及SiH4的气体流量控制器的反应时间，并且根据检测结果控制气体进入腔室时间。根据本发明的钨生长控制设备在确保产品无侵蚀和颗粒问题产生的同时不会造成气体浪费及切换阀容易堵塞不工作等问题。
生长控制设备方法

[实用新型]气体流量调节器-CN201420017622.0有效
发明人：乐晓峰 -专利权人：宁波北仑乐工仪表有限公司
申请日： 2014-01-11 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： F17C13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体流量调节器，旨在提供一种通过将流量计嵌装在主阀体内部，提高了安全性且不易造成流量计损坏的气体流量调节器，具体的，该气体流量调节器的流量计与主阀体内部的低压气室相连通，气体由气瓶进入到高压气室时，先由覆盖主阀体外的减压机构利用弹簧进行稳压，随后，由于气体的压力，推开了设置在主阀体内的针阀，进而打开了连通高压气室和低压气室的气孔，让高压气室中的一部分气体进入到低压气室内，因为低压气室是与流量计相连通，所以可以在流量计上反映出低压气室内的气体流量。另外，该气体流量调节器上还设置有流量调节开关，拧动该流量调节开关可以控制气孔的大小，从而来控制流量。
气体流量调节器

[发明专利]一种高精度气体微流量计及气体流量测量方法-CN201811194862.7有效
发明人：于建志;薛庆军 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： G01F1/58 文献下载
摘要：本发明提供了一种高精度气体微流量计及气体流量测量方法，气体微流量计包括流量计外壳，在流量计外壳内设置有气体测量电容器、进气管和出气管。进气管的中部设置有电磁阀导气孔，进气管的后部设置有电容导气孔。气体测量电容器的下部中间与电容导气孔相连，出气管的下部与电磁阀导气孔相连，出气管内设置有电磁阀，电磁阀能控制出气管的通闭，待测气体自进气管的电容导气孔进入气体测量电容器，造成气体测量电容器电容值变化。本发明通过气体测量电容器电容值的变化，实现单位时间内微流量气体的流量测量的目的，气体测量电容器感知灵敏，电容值变化速度快，因此微流量气体的流量测量精度非常高且迅速，适用于精密测量。
一种高精度气体流量计流量测量方法

[发明专利]一种双标准气体流量装置并联式结构及检测方法-CN201910116564.4有效
发明人：万勇;王龙;钱碧波;陈汉松;邹昌活;赖森豪 -专利权人：广州能源检测研究院
申请日： 2019-02-13 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本发明提供一种双气体流量标准装置并联式结构及检测方法，涉及测量技术领域。气源连接被检流量计，被检流量计通过三通分别连接钟罩和标准气体流量计；通过脉冲计算钟罩、标准气体流量计、被检流量计的气体累积量，将钟罩、标准气体流量计的气体累积量转换成被检流量计压力和温度状态下的气体累积量并相加得到标准气量值，与被检流量计的气体累积量计算得到被检流量计值误差。本发明解决了现有技术中标准器使用仅采用“单一类型”标准器值、流量范围不能扩充、压力损失大的技术问题。本发明有益效果为：同一套装置上实现不同检测方法，同时应用在运算过程中；流量范围大、压力损失小。用装置本身对标准气体流量计单点在线校准，消除了安装误差。
一种标准气体流量装置并联结构检测方法

[实用新型]一种差压流量计-CN202122021039.X有效
发明人：陈行柱;吴丹凤 -专利权人：飞思仪表（深圳）有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G01F1/34 文献下载
摘要：本申请涉及一种差压流量计，包括一端位于气体管道内的引压管、设于引压管远离气体管道一端且用于计算并显示气体管道内流量的流量计主体，引压管位于气体管道内一端侧面开设有连通于流量计主体的低压孔和高压孔，低压孔向流量计主体中送入低压气体，高压孔向流量计主体中送入高压气体，流量计主体连通有高低压连通阀，高低压连通阀连通于流量计主体中送入高压气体的腔室和引压管向流量计主体送入低压气体的部分，高低压连通阀连通引压管向流量计主体送入低压气体的位置处连通有排气阀，排气阀远离流量计主体一端连通至外部空气中，具备流量计主体内堆积的杂质能够经由排气阀送出，使得流量检测结果不易受到影响的效果。
种差流量计

[发明专利]小流量气体流量计的检定装置-CN201410734047.0在审
发明人：王杏玉 -专利权人：常州市晨通电信设备厂(普通合伙)
申请日： 2014-12-03 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种小流量气体流量计的检定装置，包括通过连接管路顺序连接的压缩气源供应装置、质量流量计、主标准器和被检气体流量计，还包括调节阀和工控设备，所述主标准器是活塞式气体流量计，所述调节阀设置于压缩气源供应装置与质量流量计之间的连接管路上，所述工控设备通过数据线分别与调节阀、质量流量计、活塞式气体流量计和被检气体流量计相连。本发明的小流量气体流量计的检定装置能够达到的准确度等级为0.05级，相对比于钟罩式(0.2级或以下)、标准表法(0.25级或以下)检定装置具有很高的优越性，非常适用于小流量气体流量计的检定。
流量气体流量计检定装置

[发明专利]一种改进的气体自动流量控制模块-CN202011596489.5在审
发明人：何荣文;魏朝旭;魏晓霞;王绍武;黄威超;孔令慧;王睿 -专利权人：山东智普信息科技股份有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： F16K31/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进的气体自动流量控制模块，本发明通过设置有气体监测装置和控制模块系统，通过气体监测装置可以实现对管道内气体流量的监测，并通过控制模块系统实现对气体流量偏差的修正，可以使得气体流量稳定，便于使用；通过设置有报警装置，当出现异常气体流量情况时，控制模块系统可以及时的对气体输入设备进行控制，将管道内的气体进行回收操作，并关闭阀门报警，有效的避免危险，提高安全性。本发明具有气体流量稳定和安全性高的优点。
一种改进气体自动流量控制模块

[发明专利]储气罐输出气体流量的检测方法及装置-CN200910082394.9无效
发明人：吴满立;刘玉龙 -专利权人：北京谊安医疗系统股份有限公司
申请日： 2009-04-15 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： G01F1/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种储气罐输出气体流量的检测方法和装置，该方法包括：每隔预定时间测量储气罐的压强；根据压强、预定时间、以及储气罐的容积计算得到气体流量；以及当储气罐无输入气体时，确定计算的气体流量为储气罐的输出气体流量本发明能够不使用流量传感器而得到储气罐输出气体流量，从而实现了降低成本的技术效果。
储气罐输出气体流量检测方法装置

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