“敏感膜”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果989447个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种应用于FBAR和SAW传感器的气体敏感膜及传感器-CN201210419731.0无效
发明人：杨保和;张乾坤;曾宪顺;苏林;徐晟 -专利权人：天津理工大学
申请日： 2012-10-29 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： G01N29/02 文献下载
摘要：本发明是一种应用于FBAR和SAW传感器的气体敏感膜及传感器方案。所述气体敏感膜采用杯芳烃/含氢类金刚石结构。本发明的有益效果是：相比于当前普遍使用的纳米分子筛式气体敏感膜及微孔聚合物气体敏感膜，本发明基于杯芳烃/含氢类金刚石结构的气体敏感膜具有高灵敏度、响应速度快、可重复性高、疏水性好、对温度变化不敏感、不会出现玻璃化的倾向等优点
一种应用于 fbar saw 传感器气体敏感

[发明专利]表面等离子体谐振图像检测芯片、系统及其使用方法-CN201210210534.8无效
发明人：蔡浩原;崔大付;李辉;陈兴;张璐璐;孙建海;任艳飞 -专利权人：中国科学院电子学研究所
申请日： 2012-06-20 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： G01N21/41 文献下载
摘要：其中，表面等离子体谐振图像检测芯片包括：透明基底；敏感膜阵列，包含至少两个分离的敏感膜单元，至少两分离的敏感膜单元中的每一敏感膜单元包括：金属膜和敏感材料；检测池阵列，为具有厚度的材料，包含贯穿检测池阵列的、与至少两个分离的敏感膜单元分别对应的至少两个分离的检测池单元，其中：检测池阵列上除至少两个分离的检测池单元之外的区域与透明基底紧密结合，形成密封；至少两个分离的检测池单元中的每一检测池单元，其面积大于或等于对应敏感膜单元的面积，从而将该敏感膜单元围设于其底部。
表面等离子体谐振图像检测芯片系统及其使用方法

[发明专利]生化需氧量微生物传感器敏感膜活化方法及自动活化装置-CN200510129966.6无效
发明人：陈曦;肖来龙;辛玲玲;叶艺文;范朝;马越超 -专利权人：厦门大学
申请日： 2005-12-16 - 公布日： 2006-08-30 - 主分类号： C12Q1/02 文献下载
摘要：生化需氧量微生物传感器敏感膜活化方法及自动活化装置，涉及一种微生物传感器，提供一种用于BOD微生物传感器敏感膜的手动活化方法和自动活化方法及自动活化装置，用手动方法时，用GGA溶液浸泡敏感膜至荧光信号稳定，排干GGA溶液，敏感膜曝气至荧光信号恒定；加入新GGA溶液浸泡敏感膜，至动态平衡，重复浸泡－曝气步骤经多次活化。用自动方法时，往水槽加GGA溶液，把泵浸入GGA溶液中；控制敏感膜的浸泡和曝气时间，将敏感膜放入活化槽卡槽中；再把水槽中的GGA溶液抽入活化槽中，敏感膜浸泡在GGA溶液中，再曝气后，重复浸泡和曝气步骤。
生化需氧量微生物传感器敏感活化方法自动装置

[实用新型]防漏液铵离子微电极-CN202221008365.5有效
发明人：张小水;古瑞琴;王成利;刘红霞;付会兵;唐浩 -专利权人：郑州炜盛电子科技有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G01N27/333 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种防漏液铵离子微电极，包括：电极管、填充在所述电极管内的参比溶液、安装在所述电极管后端并插入所述参比溶液中的电极丝、封装在所述电极管前端的敏感膜和安装在所述电极管上并容纳所述敏感膜的盖帽，它还包括容纳在所述盖帽内的密封圈和凹凸槽，所述密封圈套在所述电极管上以固定所述敏感膜，所述凹凸槽安装在所述敏感膜和所述盖帽之间以固定所述敏感膜和所述密封圈，所述盖帽的前端、所述凹凸槽的前端与所述敏感膜的前端平齐所以，上述铵离子微电极能够较好的保护敏感膜，使敏感膜具有较好的耐久性、稳定性和灵敏度，从而防止上述铵离子微电极漏液，使其具稳定性好、灵敏度高和使用寿命长等特点。
防漏离子微电极

[实用新型]一种具有两支撑悬梁六层结构的电阻式气体传感器-CN201520757454.3有效
发明人：许磊 -专利权人：许磊
申请日： 2015-09-28 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有两支撑悬梁六层结构的电阻式气体传感器，其具有两支撑悬梁，其六层结构自下而上依次为：硅衬底框架、加热膜层、加热层、隔离层、电极层、敏感膜层，该敏感膜层包括两层以上敏感膜，且各层敏感膜自下而上与现有技术相比，其具有两支撑悬梁的结构易于通过调节和控制工作温度来提高传感器的性能；并且其采用两层以上敏感膜作为敏感膜层，可以提高气体传感器的灵敏度和选择性。
一种具有支撑悬梁结构电阻气体传感器

[发明专利]一种高性能的MEMS压力传感器及其制作方法-CN202111020030.5在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：青岛芯笙微纳电子科技有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种高性能的MEMS压力传感器及其制作方法，该压力传感器由下到上依次包括衬底、第一牺牲层、下敏感膜层、第二牺牲层和上敏感膜层，衬底中部上表面设置金属电极，位于金属电极上方的下敏感膜层上开设释放孔一和围绕释放孔一外围的一圈通孔一，位于金属电极上方的上敏感膜层上开设释放孔二，位于金属电极上方的第一牺牲层和第二牺牲层通过释放孔一、释放孔二以及通孔一被腐蚀掉以形成空腔，位于金属电极上方的上、下敏感膜层分别被释放为上、下敏感膜片，上敏感膜层和下敏感膜片中心通过中心柱连接，释放孔二内填充有密封塞，下敏感膜片和金属电极形成敏感电容。本发明所公开的压力传感器敏感度高，线性度好，测量结果准确度高。
一种性能 mems 压力传感器及其制作方法

[发明专利]一种敏感膜及传感器-CN201810689186.4在审
发明人：党茂强;邱冠勳;蔡孟錦 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： H04R7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种敏感膜及传感器，包括膜本体，在所述膜本体的边缘区域设置有折环结构，所述折环结构呈非封闭的环状；所述折环结构的非封闭位置构成非封闭区，所述膜本体位于折环结构两侧的位置与非封闭区是一体且连续的本发明的敏感膜，环状的折环结构被非封闭区间隔开，当敏感膜受到较大冲击时，由于非封闭区与膜本体是一体且连续的，该非封闭区相对于折环结构会抵抗膜本体的变形，从而抑制敏感膜的振幅，降低了敏感膜失效的风险。
敏感膜折环膜本体非封闭区传感器非封闭位置边缘区域大冲击非封闭封闭区与非变形抵抗

[发明专利]一种利用水吸收甲醛的声表面波甲醛气体传感器-CN201310511510.0有效
发明人：胡佳;李臻;余琳;单志林;张婧 -专利权人：中国电子科技集团公司第三十八研究所
申请日： 2013-10-25 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： G01N29/036 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用水吸收甲醛的表面波甲醛气体传感器结构，包括压电基片、电极、导电敏感膜、绝缘敏感膜和电气引线，导电敏感膜、绝缘敏感膜吸附水蒸气，水蒸气吸附甲醛气体。吸附甲醛气体后，导电敏感膜的电导率发生变化，而绝缘敏感膜不发生变化，因此相应的输出频率产生不同变化，两者之差是传感器对甲醛气体的响应。
一种利用吸收甲醛表面波气体传感器

[发明专利]图案形成方法、电子器件的制造方法、层叠膜及上层膜形成用组合物-CN201680070315.0有效
发明人：井上尚纪;丹吴直纮;白川三千纮;后藤研由 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2016-12-01 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： G03F7/11 文献下载
摘要：根据本发明的一实施方式提供一种图案形成方法，所述图案形成方法包括：使用活性光线敏感性或放射线敏感性树脂组合物在基板上形成活性光线敏感性或放射线敏感性膜的工序；使用上层膜形成用组合物在上述活性光线敏感性或放射线敏感性膜上形成上层膜的工序；对包含上述活性光线敏感性或放射线敏感性膜和上述上层膜的层叠膜进行曝光的工序；及对经曝光的上述层叠膜使用包含有机溶剂的显影液进行显影的工序。上述上层膜形成用组合物包含树脂(XA)、含有氟原子的树脂(XB)、碱性化合物(XC)以及溶剂(XD)，且树脂(XA)为不含有氟原子的树脂，或在含有氟原子的情况下，该树脂(XA)为基于质量基准的氟原子的含有率低于树脂
图案形成方法电子器件制造层叠上层组合

[发明专利]敏感膜和气体传感器-CN202280020855.3在审
发明人：中尾厚夫;守法笃 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：提供了一种可以抑制对水分的响应的敏感膜。敏感膜20包括：包含敏感材料的膜主体201；以及包含在膜主体201中的多个导电性颗粒202。膜主体201在吸附被检出物时是可膨胀的。敏感材料的质量M1与多个导电性颗粒202的质量M2的M1/M2比为0.4以下。
敏感气体传感器

[发明专利]具有温度敏感性的聚丙烯多孔膜及其制法-CN200810117954.5有效
发明人：周建军;王磊;李林 -专利权人：中国科学院化学研究所
申请日： 2008-08-18 - 公布日： 2009-01-14 - 主分类号： C08J7/04 文献下载
摘要：本发明属于作为锂离子电池隔膜的聚丙烯多孔膜领域，特别涉及用于锂离子电池隔膜的具有温度敏感特性的聚丙烯多孔膜及其制备方法。本发明的作为电池隔膜的具有温度敏感特性的聚丙烯多孔膜，是通过粘结剂在以聚丙烯多孔膜为基材的一个或两个表面粘结有具有温度敏感特性的材料及无机填料，在聚丙烯多孔膜的一个或两个表面形成具有温度敏感特性的涂层；所述的具有温度敏感特性的聚丙烯多孔膜在温度为100～130℃的区间具有温度响应特性，当温度升高到100～130℃时，其中的具有温度敏感特性的材料会发生熔化，使聚丙烯多孔膜中的部分微孔通道关闭，改变聚丙烯多孔膜的电导率
具有温度敏感性聚丙烯多孔及其制法

[发明专利]离子传感设备-CN202111411854.5在审
发明人：竹知和重;岩松新之辅;村山裕纪;渡部善幸 -专利权人：天马日本株式会社
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： G01N27/414 文献下载
摘要：一种离子传感设备包括：第一场效应晶体管、第二场效应晶体管、被配置为直接接触样品溶液的参考电极、第一离子敏感膜，以及第二离子敏感膜。第一场效应晶体管和第二场效应晶体管中的每个包括：半导体膜、底部栅极、位于底部栅极与半导体膜之间的底部栅极绝缘膜，以及顶部栅极绝缘膜。用于第一离子敏感膜和第二离子敏感膜的与样品溶液接触的表面材料是相同的。第一场效应晶体管与第一离子敏感膜的组合的灵敏度高于第二场效应晶体管与第二离子敏感膜的组合的灵敏度。
离子传感设备

[发明专利]一种电阻式压力传感器的制备方法及电阻式压力传感器-CN202310008786.0在审
发明人：崔震林;雷浩;李俊熙;王秋;孙旭辉 -专利权人：湖州慧闻传感科技有限公司
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01L1/22 文献下载
摘要：该电阻式压力传感器的制备方法包括如下步骤：提供第一基底和第二基底；在所述第一基底上形成电极层；在所述第二基底上形成微结构压敏膜组，所述微结构压敏膜组由平面敏感膜层和至少一层图案化敏感膜层组成，所述微结构压敏膜组的最内层为平面敏感膜层，所述微结构压敏膜组的最外层为图案化敏感膜层，最外层的所述图案化敏感膜层与所述电极层之间具有间距，所述图案化敏感膜层是利用丝网印刷方法制备获得的。
一种电阻压力传感器制备方法

[发明专利]一种水听器离散梁膜融合声敏感芯片的过载或干扰信号释放及离散电容的增敏设计方法-CN202111478354.3在审
发明人：陈丽洁;朴胜春;龚李佳;雷亚辉;张强;曲彦达;葛宣佐 -专利权人：哈尔滨工程大学
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种水听器离散梁膜融合声敏感芯片的过载或干扰信号释放及离散电容的增敏设计方法。在C形硅杯基座上制作的平膜分为多个子梁膜，多个子梁膜组成圆形平膜，每个子梁膜之间存在微米级间隙；每个子梁膜上制作有压电敏感膜及检测电容电极，每个子梁膜上的检测电容通过串联的方式连接。本发明用以解决如何在MEMS敏感结构有限尺寸之内实现传感器敏感芯片原始灵敏度增强，同时提高传感器抗过载能力，增强环境适应性；水听器离散梁膜融合声敏感芯片用于敏感水下声压等信号，制作声压水听器，也可以利用此芯片设计制作位移
一种水听器离散融合敏感芯片过载干扰信号释放电容设计方法

[发明专利]硅基电容式声发射传感器及其制备方法-CN201510881188.X有效
发明人：杨恒;王小飞;豆传国;孙珂;吴燕红;李昕欣 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2015-12-03 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： G01N29/14 文献下载
摘要：本发明提供一种硅基电容式声发射传感器及其制备方法，包括：声发射敏感膜；停靠环，位于声发射敏感膜的下表面；边框，位于声发射敏感膜外围，且与声发射敏感膜相隔一定的间距；边框的上表面设有上电极，下表面设有第一绝缘层；支撑膜，位于声发射敏感膜与边框之间；下电极硅片，下表面设有下电极，上表面设有第二绝缘层；第二绝缘层与第一绝缘层上下对应，且通过焊料层焊接在一起。支撑膜在大气压作用下变形，使得停靠环贴置于下电极硅片的上表面，声发射信号可以较好地耦合到声发射敏感膜上；在大气压作用下停靠环贴置于下电极硅片的上表面之后，声发射敏感膜与下电极硅片之间形成亚微米/纳米间隙
电容声发传感器及其制备方法