专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种压力传感器-CN202210741854.X在审
  • 李向光;庞丹;闫文明 - 青岛歌尔智能传感器有限公司
  • 2022-06-28 - 2022-09-30 - G01L9/00
  • 本发明公开了一种压力传感器,包括衬底,衬底上依次设置有第一敏感、第一真空腔、第二敏感和第二真空腔,第一敏感的面积大于第二敏感的面积,第一敏感或第二敏感上设置有位于第一真空腔的凸起结构;第一敏感的周围设置有与其连接的第一压敏电阻;第二敏感的周围设置有与其连接的第二压敏电阻。工作在低量程时第一敏感形变,第一敏感和第二敏感未接触,第二敏感不会发生形变,低量程有输出高量程无输出;工作在高量程时,第一敏感发生形变后,在凸起结构的作用下第一敏感和第二敏感接触,第二敏感产生形变
  • 一种压力传感器
  • [发明专利]一种声压信号放大结构-CN201910582951.7有效
  • 李成;肖习;刘欢 - 北京航空航天大学
  • 2019-07-01 - 2020-12-11 - G01H17/00
  • 本发明公开了一种声压信号放大结构,包括外壳(1)、一级敏感(2)、连杆(3)、二级敏感(4)、终端敏感(5),用于对外部加载的声压进行放大。即,外部声压作用到一级敏感,使一级敏感发生形变,而作用到一级敏感表面的声压通过连杆进行放大,并传递到二级敏感。由于二级敏感与终端敏感形成密封腔,则二级敏感受连杆作用而产生形变,进而引起密封腔压强变化,并作用到终端敏感。由此,终端敏感感受的声压为放大后的声压。该放大后的声压信号可通过光纤检测或电学检测方式,获取该终端敏感的中心挠度变化,从而实现待测声压的测量。本发明具有结构新型、体积小、声压增敏,并可拓展至MEMS工艺实现外结构封装。
  • 一种声压信号放大结构
  • [实用新型]一种MEMS压力传感元件-CN201520454215.0有效
  • 郑国光 - 歌尔声学股份有限公司
  • 2015-06-29 - 2015-11-11 - G01L9/02
  • 本实用新型公开了一种MEMS压力传感元件,包括:设有凹槽的基底;设置于基底上方的压力敏感,压力敏感密封凹槽的开口以形成密封腔体;悬置于密封腔体内的平行于压力敏感的压力敏感梁,其上设置有压敏电阻;压力敏感梁的中心与压力敏感的中心固定连接,外周与基底凹槽的底壁固定连接,以使压力敏感在外界压力作用下带动压力敏感梁弯曲变形。本实用新型的MEMS压力传感元件,压力作用在压力敏感上时,压力敏感带动压力敏感梁运动引起压力敏感梁的弯曲,继而引起压力敏感梁上的压敏电阻的阻值的变化,这样既完成压力敏感的功能,又屏蔽了外界对压力传感元件的电学部分的电磁干扰
  • 一种mems压力传感元件
  • [实用新型]汽车空燃比控制用氧化钛型氧传感器-CN201620846122.7有效
  • 袁战恒 - 西安惠康传感科技有限公司
  • 2016-08-05 - 2017-01-18 - G01N27/407
  • 本实用新型公开一种汽车空燃比控制用氧化钛型氧传感器,基体为空心盲管,中部形成有腰鼓;整个基体呈现阶梯形;盲端外表面间隔设有敏感内电极和敏感外电极;敏感内电极和敏感外电极表面覆盖一层敏感和一层敏感保护;基体的盲端侧面设有加热,腰鼓距盲端面之间的侧面,设有加热的保护;连接敏感内电极的信号电极线设置于基体表面,一端连接敏感内电极,另一端延伸至电极引出端;基体上设有连接加热的加热负极和加热正极;加热正极还连接敏感外电极。
  • 汽车控制氧化钛型氧传感器
  • [发明专利]一种MEMS压力传感元件及其制造方法-CN201510367571.3有效
  • 郑国光 - 歌尔股份有限公司
  • 2015-06-29 - 2017-07-04 - G01L9/02
  • 本发明公开了一种MEMS压力传感元件,包括设有凹槽的基底;设置于基底上方的压力敏感,压力敏感密封凹槽的开口以形成密封腔体;悬置于密封腔体内的平行于压力敏感的压力敏感梁,其上设置有压敏电阻;压力敏感梁的中心与压力敏感的中心固定连接,外周与基底凹槽的底壁固定连接,以使压力敏感在外界压力作用下带动压力敏感梁弯曲变形。本发明的MEMS压力传感元件,压力作用在压力敏感上时,压力敏感带动压力敏感梁运动引起压力敏感梁的弯曲,继而引起压力敏感梁上的压敏电阻的阻值的变化,这样既完成压力敏感的功能,又屏蔽了外界对压力传感元件的电学部分的电磁干扰
  • 一种mems压力传感元件及其制造方法
  • [发明专利]一种中子敏感复合及其制备方法、中子敏感微通道板-CN202011416105.7在审
  • 赵卫;孙蒙雅;朱香平;韦永林 - 松山湖材料实验室
  • 2020-12-03 - 2022-06-10 - H01J43/24
  • 本申请提供一种中子敏感复合及其制备方法、中子敏感微通道板,属于电子器件技术领域。中子敏感复合包括交替层叠布置的中子敏感层和金属单质层。中子敏感层的材质包括BN或10BN。交替层叠布置的中子敏感层和金属单质层能够优化中子敏感复合的中子探测能力,且金属单质层使中子敏感复合具有导电性。利用原子层沉积法在微通道板内壁制备得到表面致密且厚度均匀的中子敏感复合,使微通道板获得较好的中子探测能力,提升中子敏感复合的中子探测效率。同时,通过调控原子层沉积的重复次数,可以精确控制每一层中子敏感层和金属单质层的厚度,以及精确控制整个中子敏感复合的厚度,从而设计得到具有预设电阻的中子敏感复合
  • 一种中子敏感复合及其制备方法通道
  • [发明专利]一种频响可调的微型声压放大结构-CN202111045715.5在审
  • 李成;肖习;刘洋 - 北京航空航天大学
  • 2021-09-07 - 2021-12-17 - H04R1/28
  • 本发明提供了一种频响可调的微型声压放大结构,包括外壳(1)、多个一级敏感(2)、多个连杆(3)、多个二级敏感(4)以及终端敏感(5),外壳为刚性结构,包含两个腔体结构;多个一级敏感作为声压信号的接收端固定在外壳(1)的上表面框架上,形成周边固支的第一边界条件;多个连杆分别连接多个一级敏感与多个二级敏感的中心,使两者受到声压作用后共同运动;多个一级敏感与多个二级敏感以及外壳共同构成第一个密封腔;多个二级敏感固定在外壳内部的框架上,形成周边固支的第二边界条件,并与终端敏感以及外壳构成第二个密封腔;终端敏感作为声压信号的放大端固定于外壳的下表面,形成周边固支的第三边界条件。
  • 一种可调微型声压放大结构
  • [发明专利]一种层制备方法-CN201710288875.X在审
  • 关峰;王大伟 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2017-04-27 - 2017-08-25 - H01L51/56
  • 本发明公开一种层制备方法,涉及显示技术领域,用于提高层的制备效率。所述层制备方法包括提供一具有功能层去除区域和功能层保留区域的基板,在基板的功能层去除区域形成敏感材料层;在基板的功能层保留区域和敏感材料层沉积功能层;提供一敏感材料层的敏化条件,敏感材料层在敏化条件下敏化,使得敏感材料层和功能层对应敏感材料层的部分从基板去除,得到图案化的功能层。本发明提供的层制备方法用于制备图案化的层。
  • 一种制备方法
  • [实用新型]一种MEMS芯片-CN201720752030.7有效
  • 郝红蕾;李江龙;马路聪;田昕 - 歌尔科技有限公司
  • 2017-06-26 - 2018-03-20 - H04R19/04
  • 本实用新型提供了一种MEMS芯片,包括衬底,以及通过支撑部支撑在衬底上方的极板;还包括用于与极板构成平板电容器结构的敏感;所述敏感包括敏感本体,以及设置在敏感本体边缘且偏离敏感本体延伸方向的限位部;所述支撑部的内壁上设置有与敏感本体延伸方向一致的第一凹槽,以及与第一凹槽连通且延伸方向与限位部一致的第二凹槽;所述敏感本体的边缘穿入第一凹槽内,且限位部伸入至第二凹槽中。本实用新型的MEMS麦克风芯片,摒弃了传统振与衬底固定连接的方式,使得可以完全释放敏感的内应力,从而提高了麦克风芯片的性能。
  • 一种mems芯片
  • [发明专利]自检测硅微机械电容式麦克风及其制备方法-CN200910095918.8有效
  • 董健;计时鸣;王伟;张立彬 - 浙江工业大学
  • 2009-02-20 - 2009-07-22 - H04R19/01
  • 自检测硅微机械电容式麦克风,包括敏感和底板、硅基体;敏感的周边固定在硅基体上;底板上分布有通气孔,底板通过连接座固定在硅基体上,底板位于敏感的正上方,底板和敏感之间有空气隔层;各支板分别通过连接支座固定在硅基体上,支板分别通过连接支座与一引线端连接;敏感上设有敏感引线端。制备所述的麦克风的方法是:制备处三层的敏感;在敏感上干法刻蚀开引线窗口;制备形成空气隔层的空间;制备底板;在硅基体上腐蚀出声波传入通道;释放出敏感和第一支板、第二支板、第三支板。
  • 检测微机电容麦克风及其制备方法

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