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[发明专利]超浅结深低能量电子探测器-CN202210411524.4在审
发明人：胡立磊;张力;陈昌;豆传国;任嘉莹;罗浒;张旭 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司;上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L31/105 文献下载
摘要：本发明提供一种超浅结深低能量电子探测器，电子探测器包括：硅衬底，其包含相对的第一面和第二面；超浅结深的P型掺杂层，通过在硅衬底表面形成硼单质层后进行热扩散的方式形成于硅衬底的第一面，P型掺杂层的厚度介于3～10nm之间；N型掺杂层，形成于硅衬底的第二面；保护环结构，自P型掺杂层朝硅衬底延伸；阻挡层，形成于P型掺杂层上，阻挡层中形成有窗口，通过窗口定义电子探测器的探测区域；网格状电极，形成于探测区域中的P型掺杂层上。本发明可以有效解决电子探测器对低能量电子的探测问题，有效提高对低能量电子的探测效率。
超浅结深低能量电子探测器

[发明专利]柔性基底纳米孔结构和纳米孔阵列制造方法-CN201910996480.4有效
发明人：陈昌;胡春瑞;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2019-10-19 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C12M1/36 文献下载
摘要：本发明提供一种柔性基底纳米孔结构的制造方法，包括步骤：步骤100、形成纳米孔结构；步骤200、形成柔性基底的纳米孔结构；步骤100包括：在孔基底上形成纳米孔结构，纳米孔结构包括纳米孔腔、纳米孔和光栅，光栅由多组光栅槽构成，纳米孔腔贯穿孔基底，纳米孔是纳米孔腔的一端开口，光栅围绕纳米孔腔，光栅形成于孔基底上远离纳米孔的面上；形成覆盖光栅和纳米孔腔的金属层，以缩小纳米孔尺寸至1～100nm。形成覆盖金属层的等离激元光谱纳米孔，纳米孔周围是布拉格光栅反射镜，实现柔性基底制备；单个纳米孔的尺寸小，具有不易被外力折断，满足恶劣环境下的测序有益效果；金属层表面局域等离激元增强电场与距离呈指数衰减，提供亚纳米的空间分辨率。
柔性基底纳米结构阵列制造方法

[发明专利]拉曼光谱法生物分子测序方法-CN201910996492.7有效
发明人：陈昌;胡春瑞;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2019-10-19 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C12M1/34 文献下载
摘要：本发明提供一种拉曼光谱法生物分子测序方法，包括步骤：I、提供纳米孔装置，包括柔性基底纳米孔结构，所述柔性基底纳米孔结构包括纳米孔、金属层，以缩小所述纳米孔尺寸至1～100nm；II、所述生物分子向所述纳米孔移动，激光拉曼显微镜向所述纳米孔发射激光，所述生物分子通过所述纳米孔时，产生拉曼光谱信号；III、光谱测量装置测量拉曼光谱信号得出测量数据；IV、数据采集分析装置分析系所述测量数据并输出结果。本发明使用表面增强拉曼光谱的检测策略，具有技术效果可实现亚纳米空间分辨率的检测；提供分子特异性指纹信息的振动光谱，各碱基光谱信号不重叠，具有优异的区分度和化学灵敏度。
光谱生物分子方法

[发明专利]基于运动蛋白的基因转运速度控制装置的制造方法-CN201910996484.2有效
发明人：陈昌;胡春瑞;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2019-10-19 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： C12M1/36 文献下载
摘要：本发明提供一种基于运动蛋白的基因转运速度控制装置的制造方法，包括步骤：i)、形成具有多聚阴离子尾的运动蛋白；ii)、提供纳米孔装置，包括壳体、流体腔密封层、柔性基底纳米孔结构、流体腔基座；柔性基底纳米孔结构包括金属层，以缩小纳米孔尺寸至1～100nm；运动蛋白稳定于纳米孔中；运动蛋白通过金属‑硫键锚定于纳米孔中，以使待检测基因链通过纳米孔的转运速度至少慢于0.1ms每碱基对。本发明使用点击化学方法将运动蛋白锚定在纳米孔中，以使待检测基因链通过纳米孔的转运速度至少慢于0.1ms/每碱基对，再调整温度与pH可以有效地控制基因链的转运速度，可将待检测基因链通过纳米孔51的转运速度进一步降低至数十甚至数百毫秒量级，从而提高光谱检测的灵敏度。
基于运动蛋白基因转运速度控制装置制造方法

[发明专利]基于CMOS图像传感的光栅波导微流体芯片的制造方法-CN202010054152.5有效
发明人：陈昌;刘博;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明提供一种基于CMOS图像传感的光栅波导微流体芯片的制造方法，包括提供CMOS图像传感层，在CMOS图像传感层上形成厚度为15～30μm高分子聚合材料的下包层；在25‑150℃沉积温度下在下包层上沉积形成氮化硅材料的波导层；以波导层形成光栅波导，光栅波导包括出射光栅；在保护层上形成厚度为15～30μm的上包层；形成微流道，微流道贯穿上包层以暴露出保护层；出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内。具有有益效果：在CMOS图像传感层和高分子聚合材料上低温沉积光学性能可调的氮化硅光波导，不破坏CMOS图像传感层，减少了实验中对收集光路调整等准备工作，提高了实验效率；提高了检测系统的便携性，大大增加了系统的应用场景。
基于 cmos 图像传感光栅波导流体芯片制造方法

[实用新型]一种用于多样本检测的封闭式PCR微流控芯片-CN202221450501.6有效
发明人：刘博;徐佳君;豆传国 -专利权人：上海驷格生物科技有限公司
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C12M1/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及生物医疗领域，尤其涉及一种用于多样本检测的封闭式PCR微流控芯片，包括至少两个进样口和出气口，至少两个进样导流管和至少两个出气管，且将至少两个扩增单元集成至同一硅基芯片上，利用同一导热片对至少两个扩增单元均匀传热，使得所有扩增腔的升降温可以和外部热源的升降温同步并且所有扩增腔均匀传热，实现快速升降温，极大缩短核酸检测的耗时；本公开中导热片与硅基芯片之间不存在间隙，进一步提高传热效率。
一种用于多样检测封闭式 pcr 微流控芯片

[发明专利]光栅波导多微流道芯片的制造方法-CN202010053511.5有效
发明人：陈昌;刘博;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种光栅波导多微流道芯片的制造方法，包括提供衬底，在所述衬底上形成下包层；在所述下包层上形成波导层；以所述波导层形成光栅波导；所述光栅波导包括出射光栅；形成第一数量的微流道，形成微流体组；所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层；所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
光栅波导多微流道芯片制造方法

[发明专利]基于CMOS图像传感的光栅波导多微流道芯片的制造方法-CN202010054306.0有效
发明人：陈昌;刘博;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种CMOS图像传感的光栅波导多微流道芯片的制造方法，包括提供CMOS图像传感层；在25‑150℃沉积温度下形成氮化硅材料的波导层；形成光栅波导组，包括光栅波导及出射光栅；形成第一数量的微流道，光栅波导组与微流道对应组成第一数量的微流体，形成微流体组；出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：形成光栅波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光栅波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片；减少实验中对收集光路调整等准备工作，提高检测系统的便携性。
基于 cmos 图像传感光栅波导多微流道芯片制造方法

[发明专利]光波导微流体芯片的制造方法-CN202010052316.0有效
发明人：陈昌;刘博;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： G02B6/132 文献下载
摘要：本发明提供一种光波导微流体芯片的制造方法，包括，提供衬底，在所述衬底上形成厚度为2～3μm的下包层；在下包层上形成波导层，波导层是氮化硅材料；以波导层形成光波导；在波导层上形成厚度为15～30μm的上包层；形成微流道，所述微流道由上而下贯穿所述上包层、所述波导层和所述下包层延伸进所述衬底；所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内，所述下包层是二氧化硅，所述上包层是高分子聚合材料，所述微流道延伸进所述衬底10～15μm，宽度为10‑100μm。具有有益效果：生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
波导流体芯片制造方法

[发明专利]光栅波导多微流道芯片的制造方法-CN202010053995.3有效
发明人：陈昌;刘博;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种光栅波导多微流道芯片的制造方法，包括提供衬底，形成牺牲层，形成下包层；形成波导层；形成光栅波导组，包括光栅波导；光栅波导包括出射光栅；在波导层上形成二氧化硅保护层，用于覆盖保护出射光栅；形成上包层；形成第一数量的微流道，以形成微流体组；微流道贯穿上包层以暴露出保护层；出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内；去除牺牲层。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
光栅波导多微流道芯片制造方法

[发明专利]一种PCR荧光核酸检测装置及其应用-CN202010590627.2在审
发明人：胡立磊;胡春瑞;豆传国;刘博;刘琦;陈昌 -专利权人：上海驷格生物科技有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： C12M1/38 文献下载
摘要：本发明提供一种PCR荧光核酸检测装置及其应用，该装置包括微流体芯片、蓝光LED组件、黄光LED组件、PCR荧光检测仪、温控装置及控制电路板，其中，微流体芯片用于进行核酸的PCR核酸扩增反应，蓝、黄光LED组件位于微流体芯片上方，分别用于出射蓝光、黄光至微流体芯片表面；PCR荧光检测仪位于微流体芯片上方，并位于蓝、黄光LED组件之间，用于采集来自微流体芯片的荧光信号；温控装置位于微流体芯片下方，用于调节微流体芯片的温度；控制电路板与蓝、黄光LED组件、PCR荧光检测仪及温控装置连接。本发明的PCR荧光核酸检测装置基于微流体芯片，具有小型化、芯片化、检测流程高度集成的特点，可应用于病毒、细菌、细胞、体液中的核酸类物质的PCR超快荧光检测。
一种 pcr 荧光核酸检测装置及其应用

[发明专利]一种PCR荧光核酸检测方法及其应用-CN202010592177.0在审
发明人：胡立磊;胡春瑞;豆传国;刘博;刘琦;陈昌 -专利权人：上海驷格生物科技有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： C12Q1/686 文献下载
摘要：本发明提供一种PCR荧光核酸检测方法及其应用，该PCR荧光核酸检测方法包括以下步骤：采用微流体芯片进行样品的PCR核酸扩增反应；采用蓝光激发样品靶标的荧光标记分子，并采用PCR荧光检测仪采集来自所述微流体芯片的荧光信号；采用黄光激发样品内标的荧光标记分子，并采用所述PCR荧光检测仪采集来自所述微流体芯片的荧光信号；基于所述PCR荧光检测仪采集的荧光信号进行图像处理与图像分析，并进行结果判断。本发明的PCR荧光核酸检测方法采用了微流体芯片，具有小型化、芯片化、检测流程高度集成的特点，能够实现核酸PCR超快荧光检测，可应用于病毒、细菌、细胞、体液中的核酸类物质的检测。
一种 pcr 荧光核酸检测方法及其应用

[发明专利]一种微流体芯片及其应用-CN202010592187.4在审
发明人：刘琦;豆传国;胡立磊;胡春瑞;刘博;陈昌 -专利权人：上海驷格生物科技有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微流体芯片及其应用，该微流体芯片包括衬底、至少一组微流体结构及至少一组隔热槽结构，其中，微流体结构位于衬底中，并包括依次连通的液体进口、液体输入流道、PCR反应腔、液体输出流道及液体出口，隔热槽结构上下贯穿衬底，其中，一组隔热槽结构在衬底中围成至少一个收容区域，一个收容区域中设有至少一组微流体结构。本发明的微流体芯片设有隔热槽结构，可以实现快速升降温，从而大大缩短PCR反应时间。该微流体芯片可通过硅基微流体芯片技术实现高精度的集成，尤其是芯片化，从而实现了设备的便携性、小型化，并可大规模量产，有助于降低设备成本。本发明的微流体芯片可应用于病毒、细菌、细胞、体液中的核酸类物质的检测。
一种流体芯片及其应用

[发明专利]光波导多微流道芯片的制造方法-CN202010053152.3有效
发明人：陈昌;刘博;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种光波导多微流道芯片的制造方法，包括提供衬底，在衬底上形成牺牲层，在牺牲层上形成下包层；在下包层上形成波导层；以波导层形成光波导；在所述波导层上形成上包层；形成微流道；所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内；所述微流道由上而下贯穿所述上包层和所述波导层延伸进所述下包层；去除所述牺牲层，以将所述衬底剥离；所述微流道宽度为10‑100μm、不贯穿所述下包层。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
波导多微流道芯片制造方法

[发明专利]基于CMOS图像传感的光波导微流体芯片的制造方法-CN202010053316.2有效
发明人：陈昌;刘博;豆传国 -专利权人：上海新微技术研发中心有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于CMOS图像传感的光波导微流体芯片的制造方法，包括。具有有益效果：在CMOS图像传感层和高分子聚合材料上低温沉积光学性能可调的氮化硅光波导，不破坏CMOS图像传感层，减少了实验中对收集光路调整等准备工作，提高了实验效率；提高了检测系统的便携性，大大增加了系统的应用场景。
基于 cmos 图像传感波导流体芯片制造方法

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