“敏感膜”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果989447个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种测量表面剪应力敏感膜剪切模量的方法-CN202310693891.2在审
发明人：严来军;张俊;陈爽;殷一民;周大唐 -专利权人：中国空气动力研究与发展中心设备设计与测试技术研究所
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01N3/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种测量表面剪应力敏感膜剪切模量的方法，涉及剪切模量测量领域，本方法测量待测表面剪应力敏感膜试件倾斜时在自身重力剪切方向分量作用下的表面标记粒子在倾斜方向的位移、施加外部剪应力作用下表面剪应力敏感膜表面标记粒子在倾斜方向的位移及相应的剪应变，消除敏感膜自身重力影响和测量装置内部部件可能存在的刚性位移的影响，且无需夹持待测表面剪应力敏感膜，不产生夹持形变，能够得到表面剪应力敏感膜所受表面剪应力及产生相应剪应变的精确数据，再通过两者函数关系得到表面剪应力敏感膜的剪切模量，本方法能够有效减小测量误差，更准确地得到表面剪应力敏感膜的剪切模量。
一种测量表面剪应力敏感剪切方法

[实用新型]离子复合电极-CN94227823.2无效
发明人：吴旭明 -专利权人：吴旭明
申请日： 1994-03-11 - 公布日： 1995-07-12 - 主分类号： G01N27/333 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种离子复合电极，包括外壳、护套、引出线、内参比电极、内参比溶液、敏感膜，涉及的敏感膜是固态膜或PVC膜，其特征是在外壳内有内支管，在外壳与内支管之间有外参比电极、外参比溶液、在内支管一端有敏感膜装配体及敏感膜本实用新型的优点是结构紧凑、使用方便、测量稳定性好，而且，敏感膜更换方便，使用寿命长。
离子复合电极

[实用新型]一种具有两支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器-CN201520759055.0有效
发明人：许磊 -专利权人：合肥微纳传感技术有限公司
申请日： 2015-09-28 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有两支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器，其具有两支撑悬梁，其四层结构自下而上依次为：硅衬底框架、加热膜层、加热电极层、敏感膜层，敏感膜层包括两层以上敏感膜，且各层敏感膜自下而上，其比表面积逐渐减小与现有技术相比，其具有两支撑悬梁的结构易于通过调节和控制工作温度来提高传感器的性能；并且其采用两层以上敏感膜作为敏感膜层，可以提高气体传感器的灵敏度和选择性。
一种具有支撑悬梁结构电阻气体传感器

[发明专利]一种MEMS压力传感器及其制造方法-CN201510290371.2有效
发明人：郑国光 -专利权人：歌尔声学股份有限公司
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS压力传感器及其制造方法，在衬底上方设有与衬底形成真空腔的敏感膜层，所述敏感膜层包括位于中部的敏感部，以及位于敏感部边缘、支撑在衬底上的支撑部，其中，敏感部所在的平面低于支撑部，并通过倾斜部与支撑部连接在一起，以使敏感部、倾斜部、支撑部构成阶梯状结构。本发明的MEMS压力传感器，敏感膜层中的敏感部、倾斜部、支撑部具有阶梯状的“下沉”结构，在沉积敏感膜层的过程中，可以使其内应力得到彻底的释放；该敏感膜层的弹性系数较低，可以获得较高的灵敏度；另外，敏感部通过倾斜部与支撑部连接，可以大大降低敏感部对应力变化的敏感性，从而提高了芯片的信噪比，提升了压力传感器的性能。
一种 mems 压力传感器及其制造方法

[实用新型]一种MEMS压力传感器-CN201520364825.1有效
发明人：郑国光 -专利权人：歌尔声学股份有限公司
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种MEMS压力传感器，在衬底上方设有与衬底形成真空腔的敏感膜层，所述敏感膜层包括位于中部的敏感部，以及位于敏感部边缘、支撑在衬底上的支撑部，其中，敏感部所在的平面低于支撑部，并通过倾斜部与支撑部连接在一起，以使敏感部、倾斜部、支撑部构成阶梯状结构。本实用新型的MEMS压力传感器，敏感膜层中的敏感部、倾斜部、支撑部具有阶梯状的“下沉”结构，在沉积敏感膜层的过程中，可以使其内应力得到彻底的释放；该敏感膜层的弹性系数较低，可以获得较高的灵敏度；另外，敏感部通过倾斜部与支撑部连接，可以大大降低敏感部对应力变化的敏感性，从而提高了芯片的信噪比，提升了压力传感器的性能。
一种 mems 压力传感器

[发明专利]一种加强镀膜光纤光栅的轴向伸缩效应的方法-CN201010505610.9无效
发明人：胡文彬;杨明红;陈伟;文晓艳;周次明 -专利权人：武汉理工大学
申请日： 2010-10-13 - 公布日： 2011-03-02 - 主分类号： B23K26/36 文献下载
摘要：该方法预先采用微加工技术在光纤光栅所在光纤的侧表面加工一种具有沟槽的微结构阵列，然后采用镀膜技术在拥有光栅和表面微结构的区域镀单层或多层敏感膜。该方法主要针对具有伸缩效应的敏感膜，可以有效加强镀有这种可伸缩的敏感膜的光纤光栅传感器的敏感度，例如镀有超磁致伸缩敏感膜，湿度敏感膜和气体敏感膜的光纤光栅传感器。
一种加强镀膜光纤光栅轴向伸缩效应方法

[发明专利]一种MEMS压力传感元件-CN201510368749.6有效
发明人：郑国光 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS压力传感元件，包括设有凹槽的基底；设置于基底上方的压力敏感膜，压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体；位于密封腔体内的构成电容结构的可动极板和固定极板；其中，固定极板固定于基底凹槽的底壁，可动极板悬置于固定极板的上方并且与固定极板相对；压力敏感膜与可动极板连接，以在外界压力作用下带动可动极板运动。本发明的MEMS压力传感元件将压力敏感和电学检测分开，将压力敏感膜暴露在空气中，将电容结构设置在由压力敏感膜和基底围成的密封腔中，电容结构的可动极板由压力敏感膜带动，这样既完成压力敏感的功能，又屏蔽了外界对电容结构的电磁干扰
一种 mems 压力传感元件

[实用新型]一种MEMS压力传感元件-CN201520456295.3有效
发明人：郑国光 -专利权人：歌尔声学股份有限公司
申请日： 2015-06-29 - 公布日： 2015-12-16 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种MEMS压力传感元件，包括：设有凹槽的基底；设置于基底上方的压力敏感膜，压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体；位于密封腔体内的构成电容结构的可动极板和固定极板；其中，固定极板固定于基底凹槽的底壁，可动极板悬置于固定极板的上方并且与固定极板相对；压力敏感膜与可动极板连接，以在外界压力作用下带动可动极板运动。本实用新型的MEMS压力传感元件将压力敏感和电学检测分开，将压力敏感膜暴露在空气中，将电容结构设置在由压力敏感膜和基底围成的密封腔中，电容结构的可动极板由压力敏感膜带动，这样既完成压力敏感的功能，又屏蔽了外界对电容结构的电磁干扰
一种 mems 压力传感元件

[实用新型]一种MEMS压力传感器-CN201920417889.1有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及传感器技术领域，提供了一种MEMS压力传感器，其包括衬底，位于衬底上方并与衬底形成真空腔的压力敏感膜，压力敏感膜的中部设置有压敏电阻，压敏电阻的端部设置有供信号引出的引线，压力敏感膜面向衬底的一侧设置有第一缓冲单元，第一缓冲单元包括位于衬底顶端的支撑部、连接支撑部且向真空腔内部延伸的倾斜部，第一缓冲单元与压力敏感膜直接接触。上述MEMS压力传感器，通过在压力敏感膜的至少一侧设置阶梯状缓冲单元，降低敏感膜对应力变化的敏感性，降低外界应力对压敏电阻的影响，同时释放敏感膜的内应力，提高压力传感器的信噪比，进而实现提升压力传感器的性能
压力敏感膜衬底缓冲单元压敏电阻压力传感器敏感膜传感器技术领域本实用新型连接支撑部真空腔内部应力变化阶梯状倾斜部信噪比真空腔释放延伸支撑

[发明专利]一种谐振式高压传感器及其制作方法-CN202110379977.9在审
发明人：陈德勇;尉洁;王军波;鲁毓岚;谢波;项超 -专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： G01L7/08 文献下载
摘要：本公开提供了一种谐振式高压传感器，包括：本体，本体制作有第一谐振器、第二谐振器、第一压力敏感膜和第二压力敏感膜；第一谐振器位于第一压力敏感膜上，且靠近第一压力敏感膜的中心；第二谐振器位于第二压力敏感膜上，且靠近第二压力敏感膜的边缘。谐振式高压传感器还包括玻璃盖板，玻璃盖板上制作有第一空腔和第二空腔，第一空腔和第二空腔具有相同的结构；第一空腔的位置与第一压力敏感膜的位置相对应，第二空腔的位置和第二压力敏感膜的位置相对应。本公开采用集成式多膜耦合的方式，利用多膜耦合使双谐振梁可表征传感器的压力和温度，利用得到的温度参数实现谐振式高压传感器温度自补偿，提高压力测量精度。
一种谐振高压传感器及其制作方法

[实用新型]一种石英晶体气味传感器敏感膜的涂膜装置-CN201920180112.8有效
发明人：候俊才;王京京 -专利权人：西北农林科技大学
申请日： 2019-02-01 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B05B17/06 文献下载
摘要：本实用新型公开一种石英晶体气味传感器敏感膜的涂膜装置，包括惰性气体储存瓶、带有橡胶塞的敏感膜溶液储存瓶、进气管、出气管、超声波发生装置、载物台、夹持夹、固定架，所述的惰性气体储存瓶的出气管与进气管的一端连接，所述的进气管的另一端穿过橡胶塞伸入到敏感膜溶液储存瓶内部；所述的出气管一端穿过橡胶塞伸入到敏感膜溶液储存瓶内部，另一端呈喇叭口状；所述的敏感膜溶液储存瓶置于超声波发生装置上边；所述的超声波发生装置嵌入式安装在载物台上该装置采用惰性气体为中介气体，其不与敏感膜溶液发生反应，实现对石英晶体敏感膜厚度细微变化的控制，敏感膜均匀性极大提高，且涂膜过程易于控制。
储存瓶敏感膜溶液超声波发生装置惰性气体出气管进气管敏感膜橡胶塞石英晶体固定架夹持夹伸入穿过本实用新型气味传感器嵌入式安装喇叭口状涂膜装置细微变化一端连接均匀性载物台涂膜载物中介

[实用新型]压力传感器及压力传感器封装结构-CN202220193702.6有效
发明人：吕萍;李刚 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01L1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种压力传感器及压力传感器封装结构，其中，所述压力传感器包括力敏感膜以及基板，所述基板在与所述力敏感膜接触并支撑所述力敏感膜的第一表面设有凹陷部，所述凹陷部的表面与所述力敏感膜面向所述第一表面的一侧表面形成至少一个腔体；所述力敏感膜背离所述第一表面的一侧表面具有受力敏感区，其中，所述受力敏感区的投影中仅一部分与所述至少一个腔体的投影重叠。本实用新型所提供的压力传感器能够避免所述力敏感膜受力后所发生大面积形变，避免了由于所述力敏感膜在发生大面积形变后所造成的线性度差的问题，提升了所述压力传感器的检测可靠性及准确性。
压力传感器封装结构

[发明专利]一种基于电磁激励电磁检测的硅微谐振式表压传感器芯片-CN202011140341.0有效
发明人：赵立波;邱煜祥;王李;韩香广;李支康;皇咪咪;杨萍;朱楠;王淞立;赵虎;蒋庄德 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2020-10-22 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G01L1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电磁激励电磁检测的硅微谐振式表压传感器芯片，包括谐振器、气压敏感膜和检测压力敏感膜。加载压力时，气压敏感膜和检测压力敏感膜受压产生变形，气压通过气压敏感膜和检测压力敏感膜在谐振器两端产生的拉应力和压应力平衡，使得传感器得以测量到表压。气压敏感膜与多晶硅层上表面通过键合形成整体并为谐振器所在空腔提供了真空环境，提高了传感器的品质因子。
一种基于电磁激励检测谐振式表压传感器芯片

[发明专利]一种室温检测NH₃的气体传感器的制作方法-CN201310218295.5无效
发明人：李冬梅;詹爽;梁圣法;陈鑫;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2013-06-04 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种室温检测NH3的气体传感器的制作方法，包括：在柔性衬底表面制作金属电极；制作α-Fe2O3-ZnO敏感膜；以及将α-Fe2O3-ZnO敏感膜与柔性衬底具有金属电极的表面结合，形成在室温检测利用本发明，通过问接的方法将敏感膜材料和柔性衬底结合起来，避免了柔性衬底在敏感膜制备过程中的高温操作，而是将敏感膜α-Fe2O3-ZnO涂覆在SiO2基片上，然后利用HF酸刻蚀掉下层的SiO2，将敏感膜与衬底分离，最后在柔性衬底的电极表面涂覆一层导电银浆，将敏感膜与柔性衬底结合起来。
一种室温检测 nh sub 气体传感器制作方法

[实用新型]压力传感结构及压力传感器-CN202220418152.3有效
发明人：吕萍;李刚 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： G01L1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压力传感结构及压力传感器，包括：力敏感体，力敏感体包括支持部和力敏感膜，力敏感膜在支持部的上方，其中，力敏感膜有可变形区域和不可变形区域，支持部与力敏感膜固定连接；压敏电阻，压敏电阻设置在力敏感体上；其中，压敏电阻包括第一组压敏电阻和第二组压敏电阻，第一组压敏电阻设置在力敏感膜的可变形区域上并组成第一惠斯通电桥，第二组压敏电阻设置在力敏感膜的不可变形区域上并组成第二惠斯通电桥。本实用新型提供的压力传感结构及压力传感器，旨在有效解决现有技术中压力传感器的不同部件的热膨胀系数不同，影响传感器的零点温度特性，且力敏感膜易在强压下产生非线性形变，影响测量精度的技术问题。
压力传感结构压力传感器