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[发明专利]支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置-CN202111479348.X在审
发明人：尹嫝燮;金喆求;崔重奉;宋修汉 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明构思提供一种基板支撑单元，包括：卡盘，其支撑并旋转基板；和灯单元，其设置在基板下方以加热基板，其中灯单元包括第一灯，该第一灯在其表面上具有反射层以阻挡和/或反射从第一灯发射但未导向至基板的光以将光导向至基板
支撑单元包括处理装置

[发明专利]支撑单元和包括该支撑单元的基板处理设备-CN202210826532.5在审
发明人：金康卨;安熙满 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种基板处理设备，包括：处理容器，所述处理容器中具有处理空间；支撑单元，所述支撑单元用于在所述处理空间中支撑并旋转所述基板；以及液体供应单元，所述液体供应单元用于将液体供应到所述基板上，其中所述支撑单元包括：主体，在所述主体上安置所述基板；以及支撑轴，所述支撑轴联接到所述主体，并且所述主体的上表面设置有包括所述主体的中心的中心部分和包围所述中心部分的边缘部分，并且在所述中心部分中形成真空孔，并且在所述边缘部分中形成凹槽
支撑单元包括处理设备

[发明专利]支撑单元和包括该支撑单元的基板处理设备-CN201810455182.X有效
发明人：沈真宇;金炯俊 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及支撑单元和包括该支撑单元的基板处理设备。该基板处理设备包括：腔室，其具有用于处理基板的处理空间；支撑单元，其在处理空间内支撑基板；气体供应单元，其将工艺气体供应到处理空间中；和等离子体源，其基于处理空间内的工艺气体产生等离子体。支撑单元包括：支撑板，基板放置在该支撑板上；聚焦环，其布置成围绕由支撑板所支撑的基板；和温度控制单元，其调节聚焦环的温度。温度控制单元可以包括：第一加热器，其布置成在聚焦环下方加热聚焦环并布置成与聚焦环相对；和冷却构件，其设置在第一加热器下方。
支撑单元包括处理设备

[发明专利]支撑单元及具有支撑单元的衬底处理设备-CN201110339462.2有效
发明人：李镇焕;李亨根 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2011-11-01 - 公布日： 2012-05-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供支撑单元及衬底处理设备。支撑单元包括提供用于对衬底进行加热的热量的加热器块、连接到加热器块一侧的传热板及设置在传热板与衬底之间的金属板，金属板的一侧连接到传热板且另一侧连接到待处理物体。
支撑单元具有衬底处理设备

[发明专利]光学单元的支撑-CN201980044987.8在审
发明人： M.沃格特;J.哈特杰斯 -专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2021-02-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种微光刻的组件，特别是使用极EUV范围(EUV)中的光，所述微光刻的组件包括用于支撑光学单元(106、107)的支撑结构(109)，所述光学单元的质量特别是等于4t至14t，优选地为5t至10t支撑结构(109)包括用于支撑光学单元(106、107)的多个分离的支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的每一个包括空气轴承单元(111.1、111.2、111.3、111.4)，通过空气轴承单元能够生成抵消光学单元(106、107)的重量的支撑力支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)的数目至少等于四个，其中，经由联接装置(112)联接支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的至少两个以形成支撑单元对，使得联接装置(112)抵消与支撑单元对的两个支撑单元(110.1、110.2)的支撑力的可指定比率的偏差。
光学单元支撑

[发明专利]隔震支撑单元-CN200410078937.7有效
发明人：黄志鸿;李森柟;张国镇 -专利权人：唯创光电精密科技股份有限公司;财团法人国家实验研究院国家地震工程研究中心
申请日： 2004-09-16 - 公布日： 2006-03-22 - 主分类号： H05K7/18 文献下载
摘要：本发明是关于一种隔震支撑单元，尤指一种可依照安装现场的需要，轻易地现场组合成一隔震系统的隔震支撑单元。此隔震支撑单元，设于一基面与一承载物之间，包括一下支撑部、一上支撑部及复数个设置于两者之间的隔震单元。此等隔震单元分别由一具有一向上承载面的下承载部、一具有一向下承载面的上承载部及一位于两者之间的支承滚轴构成。当遇到由基面传递而来的地震震动时，本发明的隔震支撑单元由支承滚轴在下承载部与上承载部之间的滚动，减低位于上支撑部上方的承载物摇动的程度，而使承载物不致于被地震震倒而毁损。
支撑单元

[发明专利]电池单元支撑组件-CN201810331944.5有效
发明人：史蒂夫·F·克洛赖恩;金柏莉·金;拉贾拉姆·萨勃拉曼尼亚;史蒂夫·德罗斯特;撒拉乌安南·帕拉玛斯瓦木 -专利权人：福特全球技术公司
申请日： 2018-04-13 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01M50/244 文献下载
摘要：一种用于电池阵列的示例性支撑组件，包括将第一电池单元与第二电池单元轴向分隔开的间隔件、保持间隔件的框架以及固定到框架的插入件。插入件被压靠第一电池单元。支撑电池单元的示例性方法包括将插入件压靠电池单元的拐角区域。插入件被固定到由第一材料制成的框架上。插入件由比第一材料更柔软的第二材料制成。
电池单元支撑组件

[发明专利]动力单元支撑结构-CN200910150057.9无效
发明人：滨田真彰;井原芳雄;石川亮太 -专利权人：东海橡胶工业株式会社
申请日： 2009-06-30 - 公布日： 2010-01-06 - 主分类号： B60K5/12 文献下载
摘要：一种动力单元支撑结构(10)，其适于经由发动机支座在车身上提供对FR纵置发动机设计的汽车的动力单元(12)的减振支撑，该发动机支座分别位于靠车辆前端的两个位置和靠车辆后端的一个位置。
动力单元支撑结构

[发明专利]悬浮式支撑单元-CN200810088665.7无效
发明人：咸德天 -专利权人：株式会社礼一M&C
申请日： 2008-04-10 - 公布日： 2009-07-15 - 主分类号： F16F6/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种悬浮式支撑单元，其插入到被支撑物体和安装表面之间，以相对于所述安装表面支撑所述物体。所述悬浮式支撑单元包括：具有下磁体的下磁体部；具有上磁体的上磁体部，所述上磁体部具有间隔地设置在所述下磁体部的上部，其方式是所述上磁体部与所述下磁体部隔开，所述上磁体具有面对所述下磁体的表面，所述表面的极性与所述下磁体的相应表面的极性一样支撑单元以悬浮方式相对于安装表面支撑物体，使得被支撑物体的振动和由振动引起的噪音可被减小，并且诸如公寓这样的居住空间中楼层之间产生的噪音和振动可最小化。
悬浮支撑单元

[实用新型]直流支撑电容单元-CN201020129484.7有效
发明人：彭正洪;金维宇;胡楷;邓名高;刘宏超 -专利权人：长沙威胜能源产业技术有限公司
申请日： 2010-03-12 - 公布日： 2011-07-27 - 主分类号： H01G2/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种直流支撑电容单元，包括柱形电容器和电容箱，所述电容箱的底部有V型定位槽用于柱形电容器的定位，电容箱的上部是电容箱盖，该电容箱盖上装有用于固定柱形电容器的缓冲压杆和调节紧定螺钉，通过缓冲压杆的下压固定本实用新型作为基于IGBT技术的电力电子功率模块单元中的一个独立单元，其电容的更换是非常快捷而轻松的，并且在更换时不会使其它元件因现有技术中的被迫拆卸而受损，延长了电力电子功率模块单元的使用寿命。
直流支撑电容单元

[实用新型]轮胎内支撑单元-CN201820325886.0有效
发明人：翟明荣;孟照宏;宋美芹;朱建鹏;安丰永;史彩霞;于胜红;孙远镇;孙彬;刘小强 -专利权人：青岛双星轮胎工业有限公司
申请日： 2018-03-09 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： B60C17/04 文献下载
摘要：本实用新型提出一种轮胎内支撑单元，包括第一支撑体和第二支撑体，所述第一支撑体上设有第一接头，所述第二支撑体上设有与第一接头配合的第二接头，所述第一接头包括沿所述第一支撑体轴向方向凸起的球型或多面体型的凸起部由于使用“骨关节”的仿生设计，有效地降低了爆胎时对于支撑体的冲击；第一轴向侧面倾角的设计，可以使结合面紧密贴合，同时更易于安装拆卸；第一周向侧面的曲面设计，可以使结合面紧密贴合；限位件的设置，可以有效防止爆胎时轮胎脱圈；第一支撑体“工”字型设计，可以有效增加轮胎内支撑单元的承压能力；圆形通孔的设置，可以有效地使爆胎时冲击力均匀离散传递。
支撑体轮胎内支撑爆胎紧密贴合结合面凸起部有效地本实用新型多面体型仿生设计曲面设计圆形通孔周向侧面轴向方向字型设计第一轴骨关节限位件拆卸承压球型凸起脱圈冲击力侧面传递配合

[实用新型]建筑单元支撑骨架-CN202020248442.9有效
发明人：何宣谋;王忠斌 -专利权人：贵州兴旺工程有限公司
申请日： 2020-03-02 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： E04G25/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种建筑单元支撑骨架，支架包括固定杆和支杆；固定杆侧壁上均匀设置有三个卡槽，卡槽内放置有支杆，卡槽内放置有卡接，卡接固定设置在支杆一端；固定杆顶部设置有顶板，顶板一端上开有第一固定孔，顶板另一端侧壁设置有支撑板，支撑板上活动连接固定板，固定板侧壁上设置有移动杆，移动杆穿过第一固定孔延伸；移动杆上均匀设置有固定槽，固定槽内设置有固定卡杆，固定卡杆包括第一固定部和第二固定部，第一固定部的一侧壁上设置有卡套，第一固定部的另一侧壁上设置有卡锁解决建筑在修建时不易筛选支撑固定的问题。
建筑单元支撑骨架

[实用新型]圆筒内部支撑单元-CN202021040587.6有效
发明人：戴永成;谭明;许程超 -专利权人：浙江臻强精密机械有限公司
申请日： 2020-06-08 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：一种圆筒内部支撑单元，包括转轴、固定套设于转轴中部的固定套环、若干与固定套环连接的辐向连接板、与辐向连接板远离固定套环的一端连接的周向环、若干沿径向穿过周向环的调节螺柱及与调节螺柱螺纹连接的限位螺母；周向环与固定套环及转轴同心设置如此能够从内部对金属圆筒进行支撑、且支撑径向可调节、加工误差小。
圆筒内部支撑单元

[实用新型]梁板支撑单元-CN202120154063.8有效
发明人：谢亮;田明华;杨刚 -专利权人：湖南五恒模架股份有限公司
申请日： 2021-01-20 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： E04G13/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种梁板支撑单元，包括主梁和卡盘；主梁包括梁主体、卡接头和卡座，卡接头分设于梁主体两端，卡座设置于梁主体中部；主梁呈纵、横布置，两端通过卡接头与卡盘或卡座卡接。投入使用时，先将套于脚手架的顶托上的卡盘调整到相应位置，再将梁主体通过卡接头与卡盘连接形成支撑，再将主梁通过卡接头与其它主梁的卡座卡紧，形成支撑梁组，从而对梁或板类结构进行支撑。并可灵活调整卡座的位置与数量来实现不同或者相同高度交叉梁的支撑，减少各种材料投入。
支撑单元

[实用新型]支撑集成透镜单元-CN202122234642.6有效
发明人：赵星翼;崔晋源 -专利权人：赵星翼;崔晋源;上海贝视特电子科技有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G02F1/13357 文献下载
摘要：本实用新型公开一种支撑集成透镜单元，其安装在基板上并且沿扩散片的方向均匀地发射从光源照射的光。所公开的透镜单元包括光源的中心上光源发出的光入射的入射面；允许入射光在扩散片的方向发散和发射的出射面；一体地投影在出射面上的预定位置，在出射面和扩散片之间形成气隙，并且包括用于支撑扩散片的支撑件。
支撑集成透镜单元