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[实用新型]电抛光处理装置及带钢氧化皮连续清理生产线-CN202320393461.4有效
发明人：尹曙辉 -专利权人：郑州邦腾环保科技有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C25F3/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电抛光处理装置及带钢氧化皮连续清理生产线，电抛光处理装置包括电抛光槽，置于其内的导电辊，电极板置于导电辊后部，在电极板的底部均布有多个喷液口，喷液口分别通过开设在电极板内的进液流道与外部电抛光液输送管路相连通由于电极间的距离非常近，电抛光液的电阻小，电抛光效率高，因电抛光液经输送并高流速喷出，可及时将抛光废物带走，并补充新的电抛光液，所以，电抛光液不需要加热，常温即可使用，可大幅度降低电抛光处理成本。本申请的带钢氧化皮连续清理生产线将机械除氧化皮方法和电抛光方法复合使用，解决了冷轧生产效率高但附加值低的问题。
电抛光处理装置带钢氧化连续清理生产线

[发明专利]抛光液传输设备-CN200610148816.4有效
发明人：陈肖科 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2006-12-28 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光液传输设备，包括：抛光液配液装置，用于配制抛光液通过第一传输管道输出并接收第二传输管道输回的抛光液；循环泵，用于将抛光液配液装置中的抛光液通过第一传输管道抽出，再通过第二传输管道传输回抛光液配液装置；第一传输管道，用于传输循环泵从抛光液配液装置抽取的抛光液；第二传输管道，用于传输循环泵向抛光液配液装置传输的抛光液；供应盒，用于抽取第一传输管道或第二传输管道内的抛光液向化学机械抛光机台传输。本发明抛光液传输设备能够保证向化学机械抛光机台传输的抛光液的质量，从而提高了化学机械抛光的工艺质量。
抛光传输设备

[实用新型]一种镍基合金丝抛光装置-CN202021408014.4有效
发明人：沙国伟 -专利权人：江苏兄弟合金有限公司
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： B24B29/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镍基合金丝抛光装置，属于镍基合金丝加工技术领域，包括基板，输送组件，所述输送组件设有两个，回收池，抛光液池，抛光组件，烘干组件，两个所述输送组件呈对称设置在基板的顶部，所述回收池和烘干组件依次设置在基板的顶部，并且回收池和烘干组件位于两个输送组件之间，所述抛光液池设置在回收池的旁侧，所述抛光组件安装在回收池的顶端，并且抛光组件与抛光液池相连通。本实用新型解决了人工使用打磨机对镍基合金丝进行打磨抛光，抛光效率低的问题。
一种合金丝抛光装置

[发明专利]一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置-CN202010984677.9在审
发明人：单佩;顾曹鑫 -专利权人：上海菲利华石创科技有限公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： B24B55/02 文献下载
摘要：本发明属于半导体技术领域，具体涉及一种石英环用的抛光液供给装置。一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置，包括抛光液桶、抛光液桶盖、搅拌装置、抛光液供给水泵、纯水桶、原液桶，纯水桶的底部通过纯水泵联通抛光液桶，原液桶的底部通过抛光液调节水泵联通抛光液桶，抛光液桶盖上设有抛光液回水口，抛光液回水口通过管路连接抛光机的抛光液出液口；抛光液桶盖上安装有音叉式密度计和温度传感器，抛光液桶的下方装有半导体制冷块，音叉式密度计分别连接纯水泵、抛光液调节水泵，温度传感器连接半导体制冷块。本发明可自动调节抛光液浓度和温度，提高抛光效率和精度，操作简单，使用方便。
一种用于半导体石英抛光自动供给装置

[实用新型]一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置-CN202022052037.2有效
发明人：单佩;顾曹鑫 -专利权人：上海菲利华石创科技有限公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： B24B55/02 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体技术领域，具体涉及一种石英环用的抛光液供给装置。一种用于半导体用石英环的抛光液自动供给装置，包括抛光液桶、抛光液桶盖、搅拌装置、抛光液供给水泵、纯水桶、原液桶，纯水桶的底部通过纯水泵联通抛光液桶，原液桶的底部通过抛光液调节水泵联通抛光液桶，抛光液桶盖上设有抛光液回水口，抛光液回水口通过管路连接抛光机的抛光液出液口；抛光液桶盖上安装有音叉式密度计和温度传感器，抛光液桶的下方装有半导体制冷块，音叉式密度计分别连接纯水泵、抛光液调节水泵，温度传感器连接半导体制冷块。本实用新型可自动调节抛光液浓度和温度，提高抛光效率和精度，操作简单，使用方便。
一种用于半导体石英抛光自动供给装置

[发明专利]一种铝扣板自动化抛光装置-CN202310270175.3在审
发明人：许彪 -专利权人：浙江佳源铝业股份有限公司
申请日： 2023-03-14 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B24B21/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝扣板自动化抛光装置，包括机架、铝板输送网板、铝板固定凹槽、抛光液喷洒板、喷液孔、水泵、抛光液箱、抛光机构、升降支架、驱动上辊、前定位抛光辊、抛光皮带、后升降抛光辊、电动转位轴、负压吸尘罩本发明能够使装置对铝扣板抛光过程中的碎屑进行吸附收纳，同时还能够对铝扣板抛光面进行同步喷洒抛光液，配合抛光机构提升铝扣板抛光精度，自动化进行，抛光效率高。
一种铝扣板自动化抛光装置

[发明专利]一种抛光液抛光颗粒循环提取装置-CN201910749801.0有效
发明人：孟凡伟;于涛;张天琪;陈辽原;张超;张海洋;于天彪;赵继 -专利权人：东北大学
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光液抛光颗粒循环提取装置，包括箱体和设置在所述箱体内部的抛光液储液器、抛光液超声雾化装置、抛光液烘干装置、抛光颗粒与气流混合装置和抛光颗粒分离装置；所述抛光液储液器内设有抛光液搅拌装置抛光废液在抛光液储液器中进行收集并搅拌，在抛光液超声雾化装置中雾化，之后进入抛光液烘干装置，烘干后进入所述抛光颗粒与气流混合装置，之后进入抛光颗粒分离装置，根据不同颗粒器重力范围的不同实现了不同质量的颗粒分离本发明所述的一种抛光液抛光颗粒循环提取装置，是一种能够在抛光后对抛光液进行回收处理的装置，大大降低了抛光过程中的经济成本，提高了抛光过程绿色制造程度。
一种抛光颗粒循环提取装置

[实用新型]用于玻璃冷加工抛光液的自吸搅拌装置-CN201520111400.X有效
发明人：陈继军 -专利权人：陈继军
申请日： 2015-02-16 - 公布日： 2015-07-29 - 主分类号： B01F5/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了用于玻璃冷加工抛光液的自吸搅拌装置，包括泵轴，泵轴的端部设置有离心搅拌器，离心搅拌器的周部设置有周向连通管，所述离心搅拌器的底部设置的垂直连通管，所述垂直连通管与周向连通管连通。本实用新型的用于玻璃冷加工抛光液的自吸搅拌装置，解决了现有技术的普通自吸水泵、在抛光液自吸输送过程中、不带搅拌功能的自吸水泵没有搅拌作用、带螺旋桨搅拌的普通自吸水泵对抛光液搅拌作用很小、可能会使抛光液在使用一段时间后出现分层溶液现象、即抛光液中的抛光粉容易沉淀结块、影响产品加工的稳定性的缺陷。本实用新型的自吸搅拌装置可用于输送含固体颗粒、悬浮物及易沉淀杂质的液体。
用于玻璃冷加工抛光搅拌装置

[发明专利]箱式磁性复合流体抛光装置-CN201810018675.7有效
发明人：姜晨;高睿;姜臻禹;严广和;黄佳雷 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2018-01-09 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种箱式磁性复合流体抛光装置，抛光箱一侧的磁性复合流体抛光液注入口与磁性复合流体抛光液回流出口之间通过抛光液通道连接，磁性复合流体抛光液注入口和磁性复合流体抛光液回流出口与外界抛光液注入装置连接，抛光液通道连接前端抛光液驻留腔和后端抛光液回流腔形成抛光液密闭循环系统；抛光盒置于抛光箱中，抛光盒的抛光液出口连通后端抛光液回流腔，抛光液喷射口与前端抛光液驻留腔之间设有球体，球体通过弹簧连接安装在抛光箱中的蜗杆，蜗杆啮合连接齿轮形成增压喷射装置，齿轮通过传动轴与外界电机相连，外界电机为增压喷射装置提供脉冲信号。本发明结构简单，不但能够对多个小口径通孔同时抛光，还提高了抛光效率和抛光后孔壁的光洁度。
抛光液复合流体抛光抛光箱增压喷射装置抛光液通道回流出口抛光装置回流腔注入口驻留腔齿轮球体蜗杆光洁度电机密闭循环系统抛光液出口小口径通孔弹簧连接脉冲信号啮合连接抛光效率注入装置传动轴喷射口后孔连通

[实用新型]一种抛光液的物料分散装置-CN202122143060.7有效
发明人：叶孔萌 -专利权人：江苏青昀新材料科技有限公司
申请日： 2021-09-06 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B01F31/441 文献下载
摘要：本实用新型属于自动化设备技术领域，尤其涉及一种抛光液的物料分散装置。本实用新型，包括抛光液储存主体，所述的抛光液储存主体内设有抛光液储存腔室，所述的抛光液储存主体顶部设有进料部，所述的抛光液储存主体侧部设有出料部。本实用新型在使用时将抛光液从出料部投入至抛光液储存腔室内，对抛光液进行储存，在导出抛光液前，移动物料混合组件，通过物料混合组件将位于抛光液储存腔室内的抛光液进行推动，使得抛光液在抛光液储存腔室内进行上下对流，避免抛光液的物料分散，保持了抛光液的均一性，再通过出料部将抛光液进行导出，抛光液的使用效果较好。
一种抛光物料分散装置

[发明专利]抛光液混合设备-CN200910197251.2无效
发明人：李景伦 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2009-10-15 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： B01F13/00 文献下载
摘要：一种抛光液实时混合设备，该设备包括：第一抛光液储存装置，用于储存第一抛光液；第二抛光液储存装置，用于储存第二抛光液；第一过滤装置；第二过滤装置；第一阀门；第二阀门；抛光液混合装置，用于混合所述第一抛光液和所述第二抛光液；其中，所述第一、第二过滤装置的过滤孔径≤100μm；所述第一、第二过滤装置的第一端分别连接所述第一、第二抛光液储存装置，第二端分别连接所述第一、第二阀门的第一端；所述第一、第二阀门的第二端分别连接所述抛光液混合装置的第一端第一、第二阀门分别控制第一、第二抛光液储存装置中储存的第一、第二抛光液的流通与关断。因此，本发明的抛光液混合设备能够实现抛光液实时混合。
抛光混合设备

[发明专利]一种大尺寸晶片加工用抛光液循环装置和方法-CN201911377667.2有效
发明人：郭钰;刘春俊;彭同华;杨建 -专利权人：北京天科合达半导体股份有限公司;江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达新材料有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸晶片加工用抛光液循环装置和方法，将抛光液混液桶的出液口用于与抛光设备的入液口相连，抛光液混液桶的第一回液口用于与抛光设备的出液口相连；检测装置设置于抛光液混液桶出液口至抛光设备入液口之间，并与控制器相连，检测装置用于检测抛光液混液桶出液口中抛光液的稳定性参数，并将检测结果发送至控制器；控制器与调节补给装置相连，用于控制调节补给装置为抛光液混液桶注入抛光液调节剂，提高抛光液的稳定性。通过上述公开的装置和方法，对循环使用的抛光液的稳定性参数进行检测，当抛光液的稳定性参数低于预设稳定性参数时，注入抛光液调节剂使抛光液的稳定性参数符合预设稳定性参数，从而保证能够达到预期抛光效果。
一种尺寸晶片工用抛光循环装置方法

[发明专利]一种金属及其合金电化学抛光的装置及方法-CN201710717016.8有效
发明人：陈艳文;黄健;陈小真;周正荣;明芳望;曾达;林志雄 -专利权人：大博医疗科技股份有限公司
申请日： 2017-08-21 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： C25F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属及其合金电化学抛光的装置及方法，该装置包括载液槽体、电参数加载系统、流体输送系统和循环冷却系统，所述载液槽体，用于容纳电化学抛光液和待抛光的金属及其合金；所述电参数加载系统，用于为电化学抛光提供阴极、阳极和电源，所述阳极通过导体连接所述待抛光的金属及其合金；所述流体输送系统，用于将电化学抛光液输送到所述载液槽体内；所述循环冷却系统，用于控制所述载液槽体内的电化学抛光液的温度；本发明的抛光方法为通过上述装置对金属及其合金进行电化学抛光处理本发明能有效解决现有的抛光设备抛光效果差、抛光效率低、不同批次产品的一致性及重复性较差、不能实现大型及批量性生产的问题。
抛光电化学抛光液金属合金流体输送系统循环冷却系统电化学抛光合金电化学阳极加载系统电参数液槽体内阴极导体连接抛光设备抛光效果抛光效率批次产品有效解决批量性液槽体槽体载液电源容纳生产

[发明专利]LED路灯灯杆主体的抛光液喷涂装置-CN201510510109.4在审
发明人：王丽萍 -专利权人：苏州市宏业灯具设备有限公司
申请日： 2015-08-19 - 公布日： 2015-11-18 - 主分类号： B05B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种LED路灯灯杆主体的抛光液喷涂装置，包括平置的长方形框架；所述框架正下方设有集液池，所述集液池顶部设有滤网；所述框架顶面固定有两个滑轨；所述两个滑轨配置有四个滑板；所述两个滑轨上方设有两个平置托辊；所述框架正上方设有平置的支撑板；所述支撑板底面均布有若干喷头；所述支撑板顶面还固定有用于存储抛光液的储液箱，所述储液箱用于向输液主通道内输送抛光液。本发明LED路灯灯杆主体的抛光液喷涂装置，其能对灯杆主体进行抛光液喷涂。
led 路灯灯杆主体抛光喷涂装置

[发明专利]一种改进的化学机械抛光方法-CN200710070433.4无效
发明人：许雪峰;马冰迅;彭伟 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2007-08-01 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：一种改进的化学机械抛光方法，包括以下步骤：(1)配置抛光液：在抛光液中加入聚合物粒子，所述的聚合物粒子在抛光液中呈分散性，所述的聚合物粒子与抛光液的磨粒之间存在静电力吸引，所述的聚合物粒子的粒径比磨粒的粒径大；(2)抛光：将抛光液输送到抛光盘中，对载样盘中的工件进行抛光，所述抛光盘采用硬质材料制成，所述的硬质材料与抛光液的化学物质无化学反应。本发明提供一种有效减少磨损、避免工件周边产生塌边、降低生产成本的改进的化学机械抛光方法。
一种改进化学机械抛光方法