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[发明专利]一种超声波雾化型抛光机-CN201210159833.3无效
发明人：李庆忠;王陈;朱仌;刘晓鹏 -专利权人：江南大学
申请日： 2012-05-22 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种超声波雾化型抛光机，包括底座，所述底座中部成凹形结构，所述凹形结构上通过紧固件安装有抛光垫，所述抛光垫底部两端设置有抽气管，所述抛光垫上部安装有加工产品的导液加压装置，所述导液加压装置通过管路输入已雾化的抛光液；所述底座顶部密封安装有罩壳；本发明结构简单，制造与安装方便，抛光机采用负压工作状态原理，通过超声雾化器将抛光液雾化，通过管路将已雾化的抛光液输入到导液加压装置中，可以方便的实现产品表面抛光加工，本发明减少了抛光液的使用量，采用密封空间，提高了抛光液的利用率，降低生成成本。
一种超声波雾化抛光机

[实用新型]一种金相试件打磨用抛光液自动添加装置-CN201921270286.X有效
发明人：范海廷;宋鑫;贾淑吉;王启龙;梅昊然 -专利权人：范海廷
申请日： 2019-08-07 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金相试件打磨用抛光液自动添加装置，包括压实组件，所述压实组件包括环形滑槽、连板、弹簧和压板，所述环形滑槽开设于所述盖体的内侧壁，所述连板转动连接于所述环形滑槽内，所述弹簧共设置两个，两个所述弹簧对称固定连接于所述连板的下表面两侧，所述压板的上表面与两个所述弹簧的底部固定连接；通过弹簧挤压压板，使得压板贴合抛光液的上表面，在自动添加抛光液的过程中，储液罐内的抛光液容量变少的过程中，弹簧一直顶动压板，使得压板会一直贴合抛光液的上表面，限制抛光液的运动空间，避免由于外界振动导致的抛光液添加装置内抛光液出现气泡的现象出现，不影响正常的出液，提高打磨质量。
一种金相打磨抛光自动添加装置

[发明专利]一种铸造铝合金化学抛光液及抛光工艺方法-CN201410187279.9在审
发明人：孙雪芳;王翔;奂玖平;郑灵玲;刘杰;周卫华;闫桂娟;黄政 -专利权人：湖北三江航天万峰科技发展有限公司
申请日： 2014-05-06 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： C23F3/03 文献下载
摘要：本发明提供一种铸造铝合金化学抛光液及抛光工艺方法，抛光液包括抛光液A和抛光液B，抛光液A溶液体积配比如下的各组分：硝酸60％～75％和氢氟酸20％～25％；抛光液B重量配比如下的各组分：磷酸60％～70抛光工艺方法是：将铸造铝合金ZL104制品表面清洁处理后，放置于抛光液A中，除去零件表面的硅。放置于抛光液B中反应2min，抛光液B温度为85±5℃，零件在抛光液B中选择性自溶解，起到整平和抛光铸件表面，达到降低表面粗糙度Ra的目的。本发明实现外观铝本色、抛光光洁度高、抛光效率高、抛光效果佳的优点，可广泛应用于铸造铝合金材料抛光。
一种铸造铝合金化学抛光抛光工艺方法

[发明专利]主动控制剪切作用与温度诱导梯度增稠抛光方法-CN201910246394.1在审
发明人：李敏;宋方增;董婷;杨晓莹;刘明辉;黄振荣;唐成 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：一种主动控制剪切作用与温度诱导梯度增稠抛光方法，包括以下步骤：1)选用工件夹具；2)将工件装夹在工件夹具上；3)配置具有温度诱导梯度增稠效应的抛光液，并将抛光液置于抛光液箱内；4)启动主轴和水泵，将抛光液输入到抛光盘上，使得抛光液在抛光盘上相对运动，形成抛光液循环系统；5)使工件在大剪切作用下粗抛；6)使用温度传感器，监测到抛光液的温度T℃，启动变温棒，每隔一段时间梯度调整抛光液温度、结合主动剪切速率控制，即每隔一段时间抛光液粘度增大，造成抛光液梯度增稠，实现温度诱导梯度增稠抛光。本发明提供一种抛光效率较高、抛光过程可控性和灵活性良好的主动控制剪切温度诱导梯度增稠抛光方法。
抛光液温度诱导增稠抛光剪切作用主动控制工件夹具剪切抛光盘温度传感器工件装夹抛光过程抛光效率时间梯度速率控制循环系统增稠效应粘度增大可控性变温粗抛水泵监测配置

[发明专利]用于清洗抛光设备的装置及抛光设备-CN202211691173.3在审
发明人：袁松柏 -专利权人：西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了用于清洗抛光设备的装置及抛光设备，所述装置包括：用于向抛光液存储箱的内部喷洒清洗液的喷射器；设置在所述抛光液存储箱内的超声波搅拌器，所述超声波搅拌器设置成能够搅拌所述抛光液存储箱内的所述清洗液并且能够发出超声波以有助于所述清洗液清洗所述抛光液存储箱；设置在所述抛光液存储箱的供液口处的供给阀；其中，所述装置设置成执行两种模式的清洗操作，在第一模式，所述供给阀关闭并且所述超声波搅拌器工作，以通过所述清洗液对所述抛光液存储箱的内部进行清洗；在第二模式，所述供给阀开启，使得所述清洗液能够从所述抛光液存储箱经由所述供液口进入供给管路，以对所述供给管路进行清洗。
用于清洗抛光设备装置

[发明专利]一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光方法-CN201810095554.2有效
发明人：李敏;唐成;董婷;黄振荣 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： B24B13/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效超精密剪切增稠‑化学协同抛光方法，包括如下步骤：1）将工件固定在实施设备的抛光固动盘上；2）配制高效超精密剪切增稠‑化学协同抛光液，抛光液包括抛光磨粒或微粉、剪切增稠增强相、水及绿色化学环保物质；3）将配制的抛光液添加到防尘罩内，开启抛光液循环装置，使得抛光液在经抛光工具供给至工件表面；4）开启驱动装置及驱动机构，使得抛光工具相对于工件运动，对工件的加工表面进行抛光。本发明利用液流边界主动约束与抛光液流流动主动控制、剪切增稠与绿色化学作用协同，提高加工效率、精度，并扩展可加工材料及面形。
一种高效精密剪切化学协同抛光方法

[发明专利]一种光学加工用抛光液恒温供给装置及温度控制方法-CN201410250596.0无效
发明人：崔洋;陈华男;尹志生;李佩玥;彭吉;王绍治;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-06-06 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：一种光学加工用抛光液恒温供给装置及温控方法属于光学加工技术领域，该装置包括制冷单元、加热单元、内循环回路和控制单元，所述制冷单元用于将抛光液的温度降低到设定值，制冷单元包括压缩机、冷交换器、散热器和膨胀阀；所述内循环回路包括抛光液储液箱、抛光液循环泵、热交换器和冷交换器；所述控制单元包括液位传感器、搅拌电机、声光报警器、加热器、清水箱内温度传感器、抛光液箱内温度传感器、控制器和电源接口。本发明具有较宽温度控制范围和高温度控制精度，同时保证了抛光液的腐蚀性不会对装置产生影响，且被动加热方式保证了抛光液的分子特性不会被破坏。
一种光学工用抛光恒温供给装置温度控制方法

[实用新型]多工位硬脆材料表面研磨装置-CN201620039887.X有效
发明人：谭悦;廖明;陈燕;刘永健;杨海吉;喻正好 -专利权人：辽宁科技大学
申请日： 2016-01-15 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种多工位硬脆材料表面研磨装置，包括机械手、超声磁力研磨装置及抛光液输送装置；超声磁力研磨装置包括超声波发生器、研磨驱动机构和磁性研磨头，研磨驱动机构包括旋转线圈、磁芯和固定线圈，固定线圈与超声波发生器相连，旋转线圈下方依次同轴设置有碳刷、换能器、变幅杆和磁性研磨头；旋转线圈由旋转驱动机构驱动并带动磁性研磨头高速转动；抛光液输送装置的抛光液出口设在磁力研磨装置中磁性研磨头的一侧。本实用新型将超声抛光与磁力研磨技术相结合，通过机械手操控，可实现一次定位装卡即可完成对不同工位处的硬脆材料工件的抛光，对工件材料的去除率高，能够显著提高工件表面质量及加工效率，且成品表面抛光均匀性好。
多工位硬脆材料表面研磨装置

[实用新型]抛光液供给控制装置-CN200420094553.X无效
发明人：金弼 -专利权人：深圳南玻显示器件科技有限公司
申请日： 2004-10-29 - 公布日： 2006-02-08 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种抛光设备的抛光液供给控制装置，特别涉及透明导电玻璃基板的抛光设备的抛光液供给控制装置，以及对使用此抛光液供给控制装置的透明导电玻璃基板上透明导电膜的抛光过程抛光液流量供给的控制。本实用新型的抛光液供给控制装置，其在搅拌器上设置容器，容器经供液管与流量泵相连接，所述流量泵为设有流量控制功能的流量控制泵，流量控制泵为蠕动泵。本实用新型所述搅拌器为磁力搅拌器。本实用新型与现有技术相比，能在满足抛光质量的前提下，为最大限度地降低抛光液的消耗提供了可靠的控制条件，降低抛光成本。用一次性使用的抛光液抛透明导电玻璃上的透明导电膜，将所述导电膜表面粗糙度控制在Ra≤1nm。
抛光供给控制装置

[发明专利]一种碳化硅晶片化学机械抛光装置-CN202210907823.7在审
发明人：皮孝东;高月;杨德仁 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明涉及碳化硅抛光技术领域，一种碳化硅晶片化学机械抛光装置，包括抛光垫本体，所述抛光垫本体上固定磨粒层，磨粒层中的磨粒分布均匀；抛光液，所述抛光液包括芬顿试剂，用于对碳化硅晶片的表面氧化；驱动装置，所述驱动装置带动碳化硅晶片在磨粒层上进行抛光；电化学装置，所述电化学装置包括阳极和阴极，通过阳极和阴极与抛光液中的芬顿试剂构成电芬顿反应体系；抛光液补给装置。本发明中，抛光液采用芬顿试剂和水溶液，芬顿试剂提供亚铁离子与过氧化氢，在亚铁离子与过氧化氢参与反应减少后，通过电化学装置，实现芬顿试剂的循环使用，其次，磨粒层是沉积在抛光垫本体上，磨粒不会进入抛光液中。
一种碳化硅晶片化学机械抛光装置

[实用新型]一种碳化硅晶片化学机械抛光装置-CN202222014989.4有效
发明人：皮孝东;高月;杨德仁 -专利权人：浙江大学
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硅抛光技术领域，一种碳化硅晶片化学机械抛光装置包括抛光垫本体，所述抛光垫本体上固定磨粒层，磨粒层中的磨粒分布均匀；抛光液，所述抛光液包括芬顿试剂，用于对碳化硅晶片的表面氧化；驱动装置，所述驱动装置带动碳化硅晶片在磨粒层上进行抛光；电化学装置，所述电化学装置包括阳极和阴极，通过阳极和阴极与抛光液中的芬顿试剂构成电芬顿反应体系；抛光液补给装置。本实用新型中，抛光液采用芬顿试剂和水溶液，芬顿试剂提供亚铁离子与过氧化氢，在亚铁离子与过氧化氢参与反应减少后，通过电化学装置，实现芬顿试剂的循环使用，其次，磨粒层是沉积在抛光垫本体上，磨粒不会进入抛光液中
一种碳化硅晶片化学机械抛光装置

[发明专利]一种用于集成显示屏的抛光装置及抛光方法-CN202210412864.9在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：长沙埃福思科技有限公司
申请日： 2022-04-19 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于集成显示屏的抛光装置及抛光方法，包括XYZ三轴机床、设置于XYZ三轴机床上用于放置集成显示屏的工作台面、安装在XYZ三轴机床上的抛光装置，其特征在于，所述抛光装置包括用于对集成显示屏抛光的磁抛光轮、设置于磁抛光轮一侧的磁场发生器与抛光液喷头，所述抛光液喷头内设置有铁磁性抛光液。本发明采用了特殊工艺制备而成的铁磁性抛光液，由于使用磁场约束了铁磁性抛光液，使得抛光过程中，抛光液等介质只接触抛光区域，而不会接触到显示屏的其它区域，也即不会接触到抛光屏上的电路部分，该方法也可以对平板电脑等成品的显示屏直接抛光
一种用于集成显示屏抛光装置方法

[实用新型]一种汽车叶子板修整抛光装置-CN202221850897.3有效
发明人：贺丽丽 -专利权人：深圳通达鑫电子有限公司
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： B24B23/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种汽车叶子板修整抛光装置；涉及修整抛光技术领域，具体包括抛光机本体，抛光机本体的顶部固定连接有抛光液箱，抛光液箱的内壁顶部靠近左侧的位置固定连接有微型水泵，微型水泵的进水口处固定连接有抽水管，微型水泵的出水口处固定连接有出水管，出水管远离微型水泵的一端穿过抛光液箱且安装导水管，本实用新型，通过微型水泵配合抽水管和出水管，使得抛光液箱中的抛光液被从抽水管中抽出，进而被微型水泵排入出水管中进行喷洒，通过导水管与喷头的配合，使得抛光液在被喷头喷出后成水雾状洒落在叶子板上，从而更好的辅助抛光，通过上述结构解决了现有技术存在的缺少抛光液喷洒装置的问题。
一种汽车叶子修整抛光装置

[实用新型]具有抛光液循环回收利用装置的抛光机-CN201220248910.8有效
发明人：冷志红;蔡灵玲 -专利权人：昆山明本光电有限公司
申请日： 2012-05-30 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种具有抛光液循环回收利用装置的抛光机，包括抛光机本体和设置在抛光机本体后端底部的出液口，所述出液口通过出液管连接抛光液循环回收装置，该抛光液循环回收装置包括三脚架和收液桶；所述三脚架上放置有漏斗；所述收液桶的上端设有封盖，在所述封盖上开设有进液口，并在所述封盖上固定安装有电机；所述出液管的另一端连接到漏斗上方，漏斗的底部通过管路连接到进液口，所述电机的底端连接回液管，该回液管的另一端连接到抛光机上模上方的进液装置本回收装置将抛光机内排出的抛光液进行筛滤后，将过滤后的抛光液再次的抽回到抛光机上的进液机构，完成抛光液的回收利用，减少了资源浪费，且提高了加工车间的清洁度。
具有抛光循环回收利用装置抛光机

[发明专利]一种石英晶片抛光装置及抛光方法-CN202211736932.3在审
发明人：刘胜男;葛四合 -专利权人：湖南科鑫泰电子有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明属于石英晶片抛光技术领域，具体的说是一种石英晶片抛光装置及抛光方法，包括双面抛光机、储液箱、水泵、供液管、储气罐、抽气泵、一号气管和空心立杆；启动抽气泵，将储气罐内部的氩气通过一号气管和空心立杆注入储液箱的内部，将储液箱内部的空气排尽，将配置好的抛光液灌入储液箱的内部，氩气将空气与抛光液分隔，阻挡空气中的灰尘等固定杂质进入抛光液中；同时，氩气由空心立杆进入储液箱内部的抛光液时，氩气向四周飞散，喷射的氩气，使得抛光液在储液箱的内部运动，使得抛光液中的固体磨料难以静止，从而降低了抛光液中的固体磨料聚集成大颗粒的固体磨料，继而降低了造成石英晶片表面的划伤的概率。
一种石英晶片抛光装置方法