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[发明专利]抛光液输送装置-CN201110306986.1无效
发明人：路新春;潘燕;许振杰;何永勇 -专利权人：清华大学
申请日： 2011-10-11 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光液输送装置，所述抛光液输送装置包括：抛光液储存容器；抛光液输送管，抛光液输送管的进液端与抛光液储存容器相连；开关阀，开关阀设在抛光液输送管上用于接通和断开抛光液输送管；输送泵，输送泵设在抛光液输送管上以将抛光液储存容器内的抛光液从抛光液输送管的出液端排出，其中输送泵位于抛光液储存容器和开关阀之间；和减压阀，减压阀设在抛光液输送管上且位于输送泵和开关阀之间用于稳定抛光液的压力。通过利用抛光液输送装置输送抛光液，可以使输出的抛光液的压力和流量非常稳定，即可以使输出的抛光液均匀地分布在抛光垫上，从而大大地提高抛光效果。
抛光输送装置

[发明专利]抛光液输送装置-CN202110760628.1在审
发明人：潘峰;赵永进;王文丽;陈威;薛书亮;张博 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明涉及精密抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光液输送装置。所述抛光液输送装置，包括：供液组件、输送管道、匀液器、抛光台以及设置在所述抛光台上的抛光垫；所述匀液器包括自转驱动件、与所述自转驱动件传动连接的基体以及与所述基体连接的多个分流管道组；所述输送管道的一端与所述供液组件连通；所述自转驱动件驱动所述基体自转，沿远离所述基体的自转中心轴的径向，多个所述分流管道组间隔设置，所述分流管道组包括多个沿同一圆周方向间隔设置的分流管道；所述基体上设有与所述输送管道的另一端连通的接液腔，所述分流管道的一端与所述接液腔连通，所述分流管道的另一端用于向所述抛光垫输送抛光液。
抛光输送装置

[发明专利]抛光液输送装置-CN201810215679.4有效
发明人：许振杰;赵德文;沈攀;王同庆;路新春 -专利权人：清华大学;华海清科股份有限公司
申请日： 2018-03-15 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光液输送装置，抛光液输送装置包括：基座、转轴、悬臂和定位件，基座上设有基座孔；转轴设在基座孔内，转轴上设有定位槽；悬臂相对于转轴可转动地设在转轴上，其中悬臂上设有定位孔；定位件至少具有锁止和解锁两个位置由此，通过基座、转轴、悬臂和定位件配合，能够方便地使悬臂恢复至原点位置，可以很容易地调整抛光液落点，并且，也能够准确检测出悬臂是否在原点，可以防止误操作造成事故，从而可以提升用户满意度。
抛光输送装置

[发明专利]一种抛光液加热装置-CN201811036282.5在审
发明人：汪条英 -专利权人：汪条英
申请日： 2018-09-06 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： B24B41/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种加热装置，尤其是一种抛光液加热装置属于晶片抛光的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述抛光液加热装置，包括抛光液输送管；在所述抛光液输送管的末端设置用于对抛光液输送管内的抛光液进行加热的抛光液加热器，在抛光液输送管的管道出口处设置用于检测抛光液温度的抛光液温度检测器，所述抛光液温度检测器以及抛光液加热器均与加热控制器连接，所述加热控制器还与用于检测抛光环境温度的抛光环境温度检测器；本发明结构紧凑，能有效实现对晶片抛光过程的温度控制，提高晶片抛光的质量及速度，适应范围广
抛光液加热装置输送管晶片抛光加热器加热控制器温度检测器抛光环境温度检测器管道出口处有效实现检测加热

[实用新型]抛光液加热装置-CN201620059675.8有效
发明人：夏秋良 -专利权人：苏州新美光纳米科技有限公司
申请日： 2016-01-21 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： B24B37/015 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种加热装置，尤其是一种抛光液加热装置，属于晶片抛光的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述抛光液加热装置，包括抛光液输送管；在所述抛光液输送管的末端设置用于对抛光液输送管内的抛光液进行加热的抛光液加热器，在抛光液输送管的管道出口处设置用于检测抛光液温度的抛光液温度检测器，所述抛光液温度检测器以及抛光液加热器均与加热控制器连接，所述加热控制器还与用于检测抛光环境温度的抛光环境温度检测器；本实用新型结构紧凑，能有效实现对晶片抛光过程的温度控制，提高晶片抛光的质量及速度，适应范围广
抛光加热装置

[发明专利]抛光液加热装置及抛光温度控制方法-CN201610040624.5在审
发明人：夏秋良 -专利权人：苏州新美光纳米科技有限公司
申请日： 2016-01-21 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： B24B37/015 文献下载
摘要：本发明涉及一种加热装置及方法，尤其是一种抛光液加热装置及抛光温度控制方法，属于晶片抛光的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述抛光液加热装置，包括抛光液输送管；在所述抛光液输送管的末端设置用于对抛光液输送管内的抛光液进行加热的抛光液加热器，在抛光液输送管的管道出口处设置用于检测抛光液温度的抛光液温度检测器，所述抛光液温度检测器以及抛光液加热器均与加热控制器连接，所述加热控制器还与用于检测抛光环境温度的抛光环境温度检测器；本发明结构紧凑，能有效实现对晶片抛光过程的温度控制，提高晶片抛光的质量及速度，适应范围广
抛光加热装置温度控制方法

[发明专利]抛光液加热装置，抛光液温度控制设备和抛光液输送系统-CN201010594263.1无效
发明人：路新春;潘燕;沈攀;何永勇 -专利权人：清华大学
申请日： 2010-12-17 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： F24H7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光液加热装置，所述抛光液加热装置包括加热容器，所述加热容器内限定有容纳腔，所述容纳腔内盛装有热交换液体；发热元件，所述发热元件设置在所述容纳腔内用于对所述热交换液体加热；和抛光液换热管，所述抛光液换热管具有入口端和出口端，所述抛光液换热管盘绕在所述容纳腔内且所述抛光液换热管的入口端和出口端分别从所述加热容器内伸出。本发明还公开了包括所述抛光液加热装置的抛光液温度控制设备和抛光液输送系统。通过利用包括本发明的抛光液加热装置的抛光液温度控制设备和抛光液输送系统，可以向化学机械抛光工序提供所需温度的抛光液，从而提高抛光效果。
抛光加热装置温度控制设备输送系统

[实用新型]抛光液输送装置及研磨设备-CN202320964805.2有效
发明人：余奇;魏志杰 -专利权人：粤芯半导体技术股份有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本申请提出了一种抛光液输送装置及研磨设备。该抛光液输送装置包括摆臂组件、驱动源和传动组件；摆臂组件包括臂体以及设置于臂体下侧的抛光液输送管，抛光液输送管用于输送抛光液并设有允许抛光液输出的第一喷嘴；传动组件建立摆臂组件与驱动源之间的连接通道，驱动源用于驱动传动组件以带动摆臂组件沿顺时针或逆时针方向摆动本申请使得摆臂的位置并非固定的，从而可以灵活调节抛光液的落点。
抛光输送装置研磨设备

[实用新型]超声作用下双曲盘研磨凸度滚子加工装置-CN201520508493.X有效
发明人：钟美鹏;袁巨龙;左春柽;姚蔚峰 -专利权人：嘉兴学院
申请日： 2015-07-01 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超声作用下双曲盘研磨凸度滚子加工装置，包括箱体、驱动装置、研磨装置、超声发生装置、气压调节装置和抛光液输送装置，所述的驱动装置包括电机、联轴器和皮带；所述的研磨装置包括上基盘和下基盘；所述的超声发生装置包括换能器、变幅杆和超声发生器；所述的气压调节装置包括气泵、气压调节阀、气缸、活塞、连杆和连接板；所述的抛光液输送装置包括第一抛光液容器、第二抛光液容器、第一抛光液输送管、第二抛光液输送管、第三抛光液输送管和第四抛光液输送管。
超声作用下双曲盘研磨滚子加工装置

[发明专利]全口径抛光浸没式元件加工装置、加工方法及抛光机-CN201910492443.X在审
发明人：廖德锋;谢瑞清;王乙任;赵世杰;张飞虎;王健;许乔 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-06-06 - 公布日： 2019-08-23 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及全口径抛光浸没式元件加工装置、加工方法及抛光机，其中全口径抛光浸没式元件加工装置包括：工件盘，工件盘中部限定出一个浸没室，浸没室用于浸没加工中的元件；及抛光液输送泵，抛光液输送泵出液端通过抛光液输送管连接至浸没室上方喷射抛光液；其进液端与抛光液储液桶连接。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本发明公开提供了一种全口径抛光浸没式元件加工装置，将元件放置在浸没室内，抛光液输送泵供液，抛光液由浸没室顶部流入，抛光液与加工中的元件各表面传导热量，从而有利于改善元件内部的温度分布均匀性
抛光液浸没元件加工浸没式全口径抛光输送泵工件盘抛光机加工温度分布均匀性表面传导温度分布元件放置出液端储液桶非均匀进液端输送管供液喷射变形室内

[实用新型]全口径抛光浸没式元件加工装置及抛光机-CN201920853732.3有效
发明人：廖德锋;谢瑞清;王乙任;赵世杰;张飞虎;王健;许乔 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-06-06 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及全口径抛光浸没式元件加工装置及抛光机，其中全口径抛光浸没式元件加工装置包括：工件盘，工件盘中部限定出一个浸没室，浸没室用于浸没加工中的元件；及抛光液输送泵，抛光液输送泵出液端通过抛光液输送管连接至浸没室上方喷射抛光液；其进液端与抛光液储液桶连接。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种全口径抛光浸没式元件加工装置，将元件放置在浸没室内，抛光液输送泵供液，抛光液由浸没室顶部流入，抛光液与加工中的元件各表面传导热量，从而有利于改善元件内部的温度分布均匀性
口径抛光浸没元件加工装置抛光机

[实用新型]抛光液输送系统-CN202121862435.9有效
发明人：程艳蒙;张洁;林武庆;汪良 -专利权人：福建北电新材料科技有限公司
申请日： 2021-08-10 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种抛光液输送系统，涉及半导体加工技术领域，该抛光液输送系统包括用于容置抛光液的第一容器、第一温度调节装置及pH调节装置。其中第一温度调节装置用于调节第一容器内抛光液的温度，pH调节装置用于调节第一容器内抛光液的pH值。可以根据容器内抛光液的实时的pH值及实时温度对抛光液的pH及温度进行调控，避免了人为调节pH值及水浴加热的方法控制抛光液的温度，使其抛光液的pH值及温度控制更加精确。
抛光输送系统

[发明专利]抛光液输送装置和化学机械抛光设备-CN202110498959.2在审
发明人：刘远航;赵德文;李长坤;路新春 -专利权人：华海清科股份有限公司
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光液输送装置和化学机械抛光设备，抛光液输送装置包括：基座，所述基座上设有基座孔；转轴，所述转轴设在所述基座孔内，且所述转轴设置为在所述基座孔内可选择性地转动；悬臂，所述悬臂相对于所述转轴可转动地连接在所述转轴上，其内部中空；抛光液管，所述抛光液管穿过所述基座孔后伸入所述悬臂内，用于输送抛光液；喷嘴组件，与所述抛光液管连通，所述喷嘴组件包括喷嘴座和设于喷嘴座下方的多个喷嘴；加载模块，用于改变抛光液的物理性质，所述加载模块环绕抛光液管设置以对其中流过的抛光液进行处理，和/或，不同喷嘴处分别设有不同加载模块以实现不同喷淋位置抛光液的不同处理。
抛光输送装置化学机械抛光设备

[发明专利]一种抛光液供给装置、抛光头及抛光设备-CN202011326232.8在审
发明人：白宗权 -专利权人：西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司
申请日： 2020-11-24 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： B24B37/07 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种抛光液供给装置、抛光头及抛光设备；所述装置包括：围绕抛光头的头部主体布设于所述抛光头的外壳下部的多个抛光液供给口、为每个所述抛光液供给口提供抛光液输送通道的第一抛光液管道、以及向所述第一抛光液管道提供抛光液的抛光液供给罐；其中，每个所述抛光液供给口均能朝向抛光垫滴加抛光液；每条所述第一抛光液管道根据所述外壳的形状沿竖直方向布设。
一种抛光供给装置设备

[发明专利]一种抛光液输送装置和化学机械抛光设备-CN202110499303.2在审
发明人：赵德文;魏聪;刘远航;李长坤 -专利权人：华海清科（北京）科技有限公司
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光液输送装置和化学机械抛光设备，抛光液输送装置包括：基座，基座上设有基座孔；转轴，转轴设在基座孔内，且转轴设置为在基座孔内可选择性地转动；悬臂，悬臂相对于转轴可转动地连接在转轴上，其内部中空；抛光液管，抛光液管穿过基座孔后伸入悬臂内，用于输送抛光液；喷嘴组件，与抛光液管连通，喷嘴组件包括喷嘴座和设于喷嘴座下方的多个喷嘴；光照单元，光照单元环绕抛光液管设置以对其中的抛光液进行照射加热并通过控制光照单元照射抛光液的时长来调节抛光液的温度，和/或，不同喷嘴处分别设有光照单元以实现不同喷淋位置抛光液的不同温度控制；光照单元设置在悬臂内部并被悬臂全封闭包围以防止漏光对晶圆造成损伤。
一种抛光输送装置化学机械抛光设备

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