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[发明专利]一种3D玻璃的抛光方法-CN202111055216.4在审
发明人：袁振兴;梁兴旺;梁金良;庞晓 -专利权人：抚州联创恒泰光电有限公司
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种3D玻璃的抛光方法，包括：步骤1，开料，将大块玻璃板材切割成预设尺寸的多片玻璃板；步骤2，CNC，将所述玻璃板放入CNC精雕机中进行CNC外形成型，以获得具有预设3D圆弧面柱体结构的3D玻璃毛坯；步骤3，粗抛光，在曲面抛光机中，先在固设于抛光盘上的磨皮治具上粘附硅胶垫，再通过真空将所述3D玻璃毛坯吸附在所述硅胶垫上，再对所述3D玻璃毛坯进行粗抛光；步骤4，精抛光，在曲面抛光机中，通过真空将粗抛光处理后的3D玻璃直接吸附在磨皮治具上，再对粗抛光处理后的3D玻璃进行精抛光；步骤5，清洗。本发明能够解决现有技术中抛光不均、边侧位置抛不透及棱角易抛踏等问题，保障小尺寸、大3D圆弧面柱体结构的3D玻璃产品的外形质量。
一种玻璃抛光方法

[发明专利]一种蓝宝石片边沿抛光方法-CN201410750443.2有效
发明人：邹余耀;尹玉龙 -专利权人：南京三超金刚石工具有限公司
申请日： 2014-12-10 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： B24B9/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种蓝宝石片边沿抛光方法，采用金刚石抛光轮对蓝宝石片边沿进行抛光处理，金刚石抛光轮包括金刚石线绺和基体，具体步骤为：步骤一：将50～100片厚度为0.2～0.3mm的方形蓝宝石片叠加在一起并固定；步骤二：把金刚石抛光轮装配在设备轴上，随着设备轴的转动而带动金刚石抛光轮旋转,设备轴的转速不低于2800转/分；步骤三：在蓝宝石片磨削部位通水冷却液；步骤四：缓慢移动设备轴使金刚石抛光轮沿蓝宝石片形状轨迹对边沿进行仿形磨削采用这样的抛光方法后，能磨削消除蓝宝石片边沿毛刺、暗点等，起到很好的抛光效果。直接用水冷却液排除磨屑，经济环保。另外，该方法可实现同时对多片蓝宝石边沿做抛光，大大提高了抛光效率。
一种蓝宝石边沿抛光方法

[发明专利]一种精密模具生产加工用抛光方法-CN201910124476.9在审
发明人：崔桂生;付铁汉;夏国珍 -专利权人：天津跃峰科技股份有限公司
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明是一种精密模具生产加工用抛光方法，具体步骤为：准备人工抛光过程中使用到的油石、砂纸、研磨膏和清洗剂，制备机抛光过程中使用的抛光液；将成型后的模具用油石进行交叉抛光，然后采用砂纸去除油石产生的抛光痕，最后使用研磨膏进行初步精抛光；向抛光机中加入抛光液，通过抛光机对完成人工抛光步骤后的模具进行二次精抛光。本发明中采用人工抛光和机抛光对模具进行深入的抛光，使用到的抛光材料更加全面，抛光效果好，质量高。
抛光油石模具砂纸精密模具抛光过程生产加工精抛光抛光机抛光液研磨膏清洗剂抛光步骤抛光材料抛光效果制备机去除成型

[发明专利]一种纤维脱水抛光方法-CN201910144072.6在审
发明人：王婷;朱菲;刘先龙;程茂根;孙征 -专利权人：岳西十行机械设备有限公司
申请日： 2019-02-27 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： D06B1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种纤维脱水抛光方法包括下列步骤，步骤一：将纤维物料搭设在输送装置上；步骤二：输送装置输送纤维物料进行脱水处理；步骤三：输送装置输送纤维物料进行抛光处理；完成之后取下纤维物料即可；本发明采用输送装置输送纤维经过脱水工序和抛光工序的方式，能够实现流水线式的加工处理，效率高，通过采用碾压脱水的方式，不但脱水效果好，同时便于纤维物料的输送，通过采用回转体表面与纤维悬吊段接触抛光的方式，实现对输送装置上输送的纤维进行的抛光处理，抛光效果好，能够对纤维的全身段进行抛光。
输送装置纤维物料抛光纤维抛光处理纤维脱水回转体表面流水线式抛光工序抛光效果脱水处理脱水工序脱水效果碾压取下悬吊脱水

[发明专利]一种IGBT模块母排抛光方法及抛光工装-CN201410113323.1有效
发明人：彭明宇;方杰;贺新强;彭勇殿;李继鲁;吴煜东 -专利权人：株洲南车时代电气股份有限公司
申请日： 2014-03-25 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种IGBT模块母排抛光的方法及抛光工装，该方法的步骤为（1）通过计算得到模块上各个母排的抛光面面积大小和分布，同时利用模块上母排弯折后其抛光面与模块管盖间的距离；（2）依据步骤（1）的数据得到抛光工装；（3）直接将步骤（2）得到的抛光工装固定于母排上，将模块固定在支架上，利用抛光机对所有母排进行抛光作业。本发明具有原理简单、操作简便等优点，大大简化了IGBT模块的母排抛光作业，降低了劳动强度。
一种 igbt 模块抛光方法工装

[发明专利]一种钼的高效金相机械抛光方法-CN201610400656.1有效
发明人：郭海霞;陈政龙;李雪峰 -专利权人：中国船舶重工集团公司第七二五研究所
申请日： 2016-06-08 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：一种钼的高效金相机械抛光方法，包括按照金相制样标准制备钼试样，依次使用粒度为80目、280目、400目、600目的水砂纸对钼试样表面进行打磨处理的步骤、制备抛光液的步骤以及利用抛光液进行抛光的步骤。本发明利用悬浮液作为抛光液，特殊的抛光作用是氧化性、光亮性、微弱酸性和弱腐蚀性的结合，铬酸酐和研磨颗粒的共同作用，使得该悬浮液抛光剂对钼这种金属具有很好的抛光效果，制备出优于电解抛光的光亮无划痕的表面，
一种高效金相机械抛光方法

[发明专利]一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺-CN201410840226.2在审
发明人：王雨春;荆建芬;徐彦廷;石峰军;姚颖;张建 -专利权人：安集微电子（上海）有限公司
申请日： 2014-12-29 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： C23F3/04 文献下载
摘要：一种用于铜互连抛光的工艺方法，包括以下步骤：步骤A：用铜化学机械抛光液去除铜并停在阻挡层表面；步骤B：用阻挡层化学机械抛光液去除阻挡层、介电层和部分铜；步骤C：用同一种或另一种铜抛光液去除少量铜。
一种用于互连化学机械抛光工艺

[发明专利]镜面板抛光装置及镜面板抛光装置的整平方法-CN02140537.9无效
发明人：方裕贤;吕燕堂;谢治洪 -专利权人：精碟科技股份有限公司
申请日： 2002-07-09 - 公布日： 2004-01-14 - 主分类号： B24B39/06 文献下载
摘要：一种镜面板抛光装置及镜面板抛光装置的整平方法，它包含抛光台枢接于基座之上，以承载镜面板，并将镜面板抛光；整平器是设置于抛光台的上方，通过接触研磨方式整平抛光台；雷射干涉侦测器是设置于抛光台的一侧，其是产生照射镜面板的雷射光，并利用其反射光来侦测镜面板的平坦度；限制工件是设置于抛光台之上，以限定镜面板的抛光位置。镜面板抛光装置的整平方法包含：抛光步骤：是将镜面板置于抛光台上进行抛光；侦测步骤：是以雷射干涉侦测器侦测镜面板的平坦度；整平步骤：是根据镜面板的平坦度进行抛光台的整平。
面板抛光装置平方

[发明专利]一种化学机械抛光方法-CN201210584555.6无效
发明人：姚颖;荆建芬;王雨春;王文龙 -专利权人：安集微电子（上海）有限公司
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： H01L21/321 文献下载
摘要：本发明揭示了一种用于硅通孔的抛光工艺方法，用于TSV硅通孔化学机械抛光的工艺方法，包括以下步骤：步骤A：用铜抛光液去除铜覆盖层并对表面进行平坦化；步骤B：用阻挡层抛光液去除钽阻挡层和部分介电层并对表面进行平坦化；步骤C：用加入氮化硅抑制剂的阻挡层化学机械抛光液去除介电层并保留氮化硅层，其中，所述氮化硅抑制剂单独从一个供料管在线加入。该抛光方法可提高产能，同时介电层抛光后能停在氮化硅停止层上，能较好的控制抛光过程。
一种化学机械抛光方法

[发明专利]处理Ⅲ族氮化物晶体表面的方法和Ⅲ族氮化物晶体衬底-CN200710100996.3无效
发明人：西浦隆幸;石桥惠二 -专利权人：住友电气工业株式会社
申请日： 2007-05-08 - 公布日： 2007-11-07 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：提供一种处理Ⅲ族氮化物晶体表面的方法，该方法包括步骤：用包含磨粒的抛光浆料抛光Ⅲ族氮化物晶体(1)的表面；其后用抛光液(27)抛光Ⅲ族氮化物晶体(1)的表面至少一次，并且用抛光液(27)抛光的每个步骤都使用碱性抛光液或者酸性抛光液作为抛光液用碱性或者酸性抛光液抛光的步聚允许去除杂质，所述杂质诸如是在用包含磨粒的浆抛光之后残留在Ⅲ族氮化物晶体表面上的磨粒。
处理氮化物晶体表面方法衬底

[发明专利]一种易变形透镜的高效抛光方法-CN201811438829.4在审
发明人：白涛;李洋;张涛;张成群;张恒华;王苗苗;田军;刘海伟;苏颖;张勇;徐向前 -专利权人：河南平原光电有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： B24B13/005 文献下载
摘要：本发明公开了一种易变形透镜的高效抛光方法，包括以下步骤：步骤一，应用数控球面铣磨机完成待加工零件的铣磨；步骤二，加工辅助玻璃；步骤三，将辅助玻璃与待加工零件粘结；步骤四，应用数控高效抛光设备对粘结好的待加工零件抛光；步骤五，抛光结束后，拆除辅助玻璃，清洗零件，送验；步骤六，转入下道工序。本发明通过在易变形透镜上粘结辅助玻璃，减少复合零件中心厚度与边缘厚度差距，从而大幅降低该类透镜在高效抛光时面形易变的特点，将易变形透镜变成不易变形的透镜，最终降低加工难度，最终使得该类零件可在高效抛光设备上
透镜抛光辅助玻璃易变形待加工零件粘结抛光设备数控加工球面不易变形复合零件厚度差距清洗零件下道工序铣磨机面形铣磨应用转入拆除

[发明专利]一种柔光防滑瓷砖的制备方法-CN202211040554.5在审
发明人：罗永学 -专利权人：广东昊晟陶瓷有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： C04B41/89 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔光防滑瓷砖的制备方法，通过在抛光过程中，采用微粒磨头对瓷砖进行弹性抛光，使得纳米蜡水能够渗入砖体，实现防滑效果。过程包括取砖坯、淋釉、烧制，得到砖体；接着步骤(1)采用多组抛光机抛光；其中，每组抛光机设置微粒磨头，每组所述抛光机的微粒磨头的粒径沿生产方向依次减少；步骤(2)喷涂纳米蜡水；步骤(3)磨边修整，制得瓷砖
一种柔光防滑瓷砖制备方法

[发明专利]一种环保型柔性抛光磨具的制备工艺-CN201711137763.0有效
发明人：方红;杨伟;卞振伟 -专利权人：东莞金太阳研磨股份有限公司
申请日： 2017-11-16 - 公布日： 2019-07-16 - 主分类号： B24D18/00 文献下载
摘要：本发明涉及磨具技术领域，具体涉及一种环保型柔性抛光磨具的制备工艺。该制备工艺包括：步步骤一、选择基材；步骤二、涂底胶；步骤三、静电植砂；步骤四、加热干燥；步骤五、涂复胶；步骤六、涂覆防堵涂层；步骤七、加热干燥；步骤八、贴合布基；步骤九、加热干燥。本发明的一种环保型柔性抛光磨具的制备工艺，所制得的环保型柔性抛光磨具具有优异柔软性，进而使该环保型柔性抛光磨具具有优异的贴服性，对不规则表面和曲面的抛光具有独特的优势，且能防止磨料的脱落，并能减少划痕。并且该工艺所制得的环保型柔性抛光磨具，与现有的耐水砂纸相比较，能够用无尘干磨的打磨方式替代现有的水磨打磨方式，进而不产生废水，不污染工作环境。
一种环保柔性抛光磨具制备工艺

[发明专利]晶圆抛光方法-CN201610353248.5有效
发明人：代迎伟;金一诺;王坚;王晖 -专利权人：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
申请日： 2016-05-25 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明揭示了一种晶圆抛光方法，该方法包括：膜厚测量步骤，对晶圆进行膜厚测量；移放晶圆步骤，将晶圆移放至工艺位置；预湿润及电化学抛光步骤，预湿润晶圆后对晶圆进行电化学抛光；后续处理步骤，对晶圆进行后续处理；晶圆根据其膜厚，预湿润及电化学抛光步骤被重复执行多次后才进入后续处理步骤。采用本发明的技术方案，能够大大缩短工艺时间，并保证抛光得到的晶圆表面具有良好的粗糙度。
抛光方法

[发明专利]制造半导体器件的方法及半导体制造设备-CN200810087121.9有效
发明人：井谷直毅 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2008-03-19 - 公布日： 2008-09-24 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种制造半导体器件的方法及半导体制造设备，该制造半导体器件的方法包括：将膜进行抛光，以及通过执行第一暴露步骤和第二暴露步骤对抛光表面进行清洗，其中该第一暴露步骤是将该抛光表面暴露至酸性的第一清洗液中，该第一清洗液具有蚀刻该抛光表面的至少部分区域的效果，以及该第二暴露步骤是在该第一暴露步骤之后，将该抛光表面暴露至碱性的第二清洗液中。
制造半导体器件方法半导体设备