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[发明专利]利用低熔点合金来控制微细加工中毛刺产生的方法-CN201110106928.4有效
发明人：万熠;刘战强;付天骄;孙树峰;黄传真 -专利权人：山东大学
申请日： 2011-04-27 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： B23C3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用低熔点合金来控制微细加工中毛刺产生的方法，在深入研究微细加工中毛刺产生的机理基础上，通过消除被加工零件的负剪切区，使边缘部位的切削过程像非边缘区域那样稳定。本发明可以有效的降低微细加工中变形失稳的问题，减少毛刺的产生，提高产品的表面精度，具有无污染、易施加、易去除等优点。
利用熔点合金控制微细加工毛刺产生方法

[发明专利]一种微细工具电极的制备方法-CN201811532309.X有效
发明人：邹祥和 -专利权人：江西理工大学
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： B23H5/08 文献下载
摘要：本发明公开一种微细工具电极的制备方法，以待加工棒状电极为阳极，以块电极为阴极，根据电化学阳极溶解原理，调节块电极与加工棒状电极的相对运动，以制备不同形状的微细工具电极。本发明保证电解液浸没块电极和待加工棒状电极的待加工区，实现完全电解加工，并且采用一定厚度的块电极作为阴极，增大了电解反应区域，有利于提高阳极的蚀除率，提高微细工具电极的制备效率。
一种微细工具电极制备方法

[发明专利]微细电解激光复合线切割加工方法及装置-CN201711459307.8有效
发明人：王玉峰;张文武 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： B23P23/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种微细电解激光复合线切割加工方法及装置，所述方法至少包括以下步骤：线电极与电源的阴极连接，工件与电源的正极连接；激光进入线电极，与线电极耦合；通入电解液；接通电源，线电极按预定路线进给，微细电解与激光复合线切割加工得到目标结构所述方法和装置综合利用微细电解线切割加工和激光加工的特点，实现高精度、高表面完整性微缝、微槽、微型三维结构等的高效率加工。
线切割加工微细电解线电极激光复合电源阴极微型三维结构方法和装置激光加工接通电源目标结构预定路线正极连接耦合电解液高表面高效率进给微槽微缝申请加工

[发明专利]并行精密加工方法与系统-CN200910247871.2无效
发明人：张文武;唐权 -专利权人：张文武;唐权
申请日： 2009-12-31 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： B23C3/28 文献下载
摘要：一种并行精密加工方法，将复数个微细结构成型于宏观结构上构成刀具单元，利用驱动与进给系统实施所述刀具单元与待加工工件间的相对运动，通过所述微细结构对所述工件进行并行精密加工。本发明将微小结构集成于大尺寸的精密主轴上，主轴具备充足的刚性，通过众多微小结构与工件间的高速运动完成工件的渐进去除，可以通过进给量的控制精密控制切削力；实现了高速精密并行加工的同时，避免了传统机械微细加工的刀具易折损难题
并行精密加工方法系统

[发明专利]刻模放电加工机-CN201910644615.0有效
发明人：山田邦治;大久保阳平 -专利权人：株式会社沙迪克
申请日： 2019-07-17 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： B23H1/00 文献下载
摘要：本发明是一种能在电流脉冲的脉宽小于1μsec的超微细加工的区域中，将每一放电电流脉冲的脉宽准确设为一定并连续提供的刻模放电加工机。刻模放电加工机设置：第一切换元件(32)，在超微细加工电路(23)中在直流电源(5)正极与加工间隙间串联配置；第二切换元件(33)，在超微细加工电路(23)中在直流电源(5)负极与加工间隙间串联，与第一切换元件(32)串联配置；检测电阻(35)，在超微细加工电路(23)中在第一切换元件(32)与加工间隙间串联配置；及控制装置(22)，在预设休止时间后接通切换元件(32)、(33)两者或一者，在放电产生检测装置(24)检测到加工间隙的放电产生后在规定时间后，断开切换元件(32)、(33)两者或一者。
放电加工

[发明专利]套筒类零件内曲面无掩膜微结构的加工方法-CN201010152927.9无效
发明人：王莉;丁玉成;郝秀清;郭方亮;王权岱 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2010-04-22 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： B23H3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种套筒类零件内曲面无掩膜微结构的加工方法，属于电化学加工领域。该方法采用浸渍涂胶及滚动光刻方式使圆柱体表面图形化，或者采用激光等办法加工平面柔性绝缘屏蔽薄膜，并将其固定于圆柱体外表面，然后将套筒类零件作为阳极，带有绝缘屏蔽膜的圆柱体模具作为阴极，严格控制间隙，采用高频窄脉冲电源进行微细电解加工，从而在曲面内表面形成微细结构。这种方法解决了套筒类零件（如轴承套）内表面具有复杂精细微结构的制造难题，能加工大面积的曲面微结构，特别是具有复杂图形及小尺寸的微结构。采用本发明所加工的曲面微细结构具有加工面积大，加工精度高，可加工复杂小尺寸微细结构的优点，且操作简单，效率高，加工成本低。
套筒零件曲面无掩膜微结构加工方法

[实用新型]电泳辅助超声机械复合微细钻削加工装置-CN201420163287.5有效
发明人：曲兴旺;郭钟宁;何俊峰;连海山 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2014-04-04 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： B23B41/14 文献下载
摘要：本实用新型是一种电泳辅助超声机械复合微细钻削加工装置。包括立式滑块、微细超声主轴、微细超声主轴电源发生器及控制面板、电泳辅助电源、微细超声平台电源发生器及控制面板、微三维运动平台、微细超声工作平台、钻头、电泳辅助电极。本实用新型在超声振动辅助微钻削加工过程中加入具有超微磨粒的溶液，通过电泳圆形辅助电极，在微钻头上加上辅助电压，使两者之间产生辅助电场，驱动微细磨粒运动或吸附到微钻头上，通过调节电压的大小，间接调节磨粒在钻头上的结合力，使磨粒对工件起到磨削作用，同时固结的磨粒还对钻头起保护作用，减少刀具磨损，且磨粒在超声振动的驱动下对工件进行冲击，提高材料去除效率,提高钻削加工效率。
电泳辅助超声机械复合微细加工装置

[发明专利]微细轴形成方法、利用该方法形成的微细轴及微细轴形成装置-CN200680041798.8有效
发明人：毛利尚武;谷贵幸 -专利权人：国立大学法人东京大学;国立大学法人筑波技术大学
申请日： 2006-11-09 - 公布日： 2008-11-12 - 主分类号： B23H1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微细轴形成方法及微细轴形成装置，其不必学习现有的方法的高度的熟练技能，即可成形微细轴。本发明的微细轴形成装置具备：用于加工成微细轴的细长电极(1)；用于成形电极(1)的成形板(3)；使电极(1)以电极(1)的长度方向(1a)为中心旋转的电极旋转机构；为使电极(1)和成形板(3)之间产生电火花而向电极(1)及成形板(3)供电的电火花加工电源(5)；按照从成形板(3)的侧端面(3a)一侧横切成形板(3)的方式使通过电极旋转机构旋转的电极(1)移动的电极移动机构。在电极移动机构动作时，使用通过电火花加工电源(5)在电极(1)和成形板(3)之间产生的电火花在成形板(3)上形成槽(3b)的同时成形电极(1)，从而形成微细轴。
微细形成方法利用装置

[发明专利]一种微细电极在线制作方法-CN201410115795.0无效
发明人：谢军;张昭瑞;张海军;黄燕华;李朝阳;魏胜;朱磊;刘峰;李国;宋成伟;王红莲;童维超;梅鲁生;袁光辉 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2014-03-26 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： B23H1/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种微细电极在线制作方法，所述的方法通过线电极在线制作技术在线制作直径约10μm的微细电极，在线电火花铣削制作圆柱形反拷块，再通过反拷技术进一步对电极进行加工。采用在线制作反拷电极，避免二次装夹误差；反拷电极采用圆柱形，避免了方形反拷块本身的平面度误差对微细电极直径和形状的影响。本发明的方法在线电极磨削技术加工电极基础上进一步对电极进行加工，可获得直径小于10μm的微细电极。
一种微细电极在线制作方法

[发明专利]硝酸钠乙二醇电解液用于铝微细电解加工的方法-CN201811416749.9在审
发明人：房晓龙;朱嘉澄;曲宁松;曾永彬 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： B23H3/08 文献下载
摘要：一种硝酸钠乙二醇电解液用于铝微细电解加工的方法，属于电解加工技术领域。本发明的特征在于提出一种硝酸钠乙二醇电解液及其用于铝微细电解加工的加工方法，其特征在于：上述硝酸钠乙二醇溶液中溶质为硝酸钠，溶剂为乙二醇；上述硝酸钠乙二醇溶液在20℃下的浓度为0.2~1mol/L；上述硝酸钠乙二醇溶液适用于铝的微细电解加工，材料成本低，制备方法简便，加工质量好。
硝酸钠微细电解加工乙二醇乙二醇溶液电解液电解加工技术材料成本溶剂溶质制备加工

[发明专利]一种用于辅助微细超声加工的蚀刻液及其制备方法-CN201510397803.X有效
发明人：袁聪 -专利权人：湖南城市学院
申请日： 2015-07-09 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： C23F1/16 文献下载
摘要：本发明公开一种用于辅助微细超声加工的蚀刻液，所述蚀刻液专门针对辅助微细超声加工研制，所述蚀刻液由所述蚀刻液由以下质量百分含量的组分组成氯化铁5～15％、酸3～5％、苯并三唑2～4％、乙二胺1～2％、十二烷基磺酸钠本发明所述蚀刻液具有较低的蚀刻速度，而且侧蚀量较小，能够有效用于辅助微细超声加工。本发明还公开了所述蚀刻液的制备方法，以及所述蚀刻液在辅助微细超声加工中的用途。
一种用于辅助微细超声加工蚀刻及其制备方法

[发明专利]激波压力扰动辅助电火花加工高深宽比微细结构的装置与方法-CN200510041130.0有效
发明人：汪炜;刘正勋;蒋凯;林天军 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2005-07-21 - 公布日： 2006-02-01 - 主分类号： B23H1/10 文献下载
摘要：一种激波压力扰动辅助电火花加工高深宽比微细结构的装置与方法，属微细电火花加工领域，其装置包括激波发生器(12)，激波发生器电源(16)，装有电极夹头(14)的工具电极(13)，所述激波发生器，由环状聚焦超声换能器(1)，密封垫(2)，导向器绝缘套(3)，微细电极导向器(4)，端盖(5)及进电座(6)所组成；其方法，采用脉冲超声波聚焦方法，产生高能聚焦超声波，在加工区的固液表面形成具有瞬时高压效应的压力激波，对加工区产生定向瞬时压力脉冲压力扰动，促进电火花加工蚀除物的排除。该发明结构简单，使用方便，可产生具有瞬时高温高压效应的压力激波，不但促进微细电火花加工蚀除产物的排除，而且不影响加工区工艺系统的稳定性，有利于提高加工效率和加工精度。
激波压力扰动辅助电火花加工高深微细结构装置方法

[实用新型]一种微小拉瓦尔孔数控微细电火花加工装置-CN201822124573.1有效
发明人：胡海军 -专利权人：中北大学
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-09-10 - 主分类号： B23H1/00 文献下载
摘要：本实用新型属于电火花加工技术领域，具体涉及一种微小拉瓦尔孔数控微细电火花加工装置。本实用新型主要解决了目前微小拉瓦尔孔喷油嘴不能批量加工的问题，本实用新型包括三轴数控机床、电火花脉冲电源、高压电火花油输送系统、基台、Z轴旋转台、喷油嘴夹具组件和供油供电电极组件，本实用新型采用三轴数控机床与高精度的专用夹具以及微细电极电火花加工结合的方式加工微小拉瓦尔孔，可以在实现批量生产的同时保证加工精度；同时微细电极电火花加工，加工后孔内壁表面存在微坑，微坑尺寸在几微米大小，起到表面微织构的作用，能够将流体与固体表面阻力降低，且微细电火花加工后，表面存在重铸层，重铸层能够起到表面强化防止气蚀破坏的作用
本实用新型拉瓦尔孔喷油嘴微细电火花加工装置三轴数控机床电火花加工微细电极重铸层数控微坑加工电火花加工技术电火花脉冲电源微细电火花加工高压电火花表面强化供电电极固体表面夹具组件内壁表面批量加工专用夹具阻力降低微织构油输送供油后孔基台流体气蚀保证生产

[发明专利]用带电粒子束微细加工铜的方法-CN02816875.5无效
发明人： V·V·马卡罗夫;J·F·鲁伊斯;T－T·米奥 -专利权人：恩普泰斯特有限责任公司
申请日： 2002-08-26 - 公布日： 2004-11-24 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：一种微细加工方法，所述微细加工方法包括在有助蚀剂情况下用带电粒子束蚀刻衬底，所述衬底具有叠加在介质层之上的铜。助蚀剂选自氨、乙酸、硫羟乙酸及它们组合。
带电粒子束微细加工方法

[发明专利]微流道电泳辅助微细超声加工装置及方法-CN202010365323.6在审
发明人：连海山;莫德云;陈小军;马兴灶;江树镇 -专利权人：岭南师范学院
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了微流道电泳辅助微细超声加工装置及方法，属于微细特种加工技术领域，其包括：工作平台、电源、3D打印模具、工作液水槽、超声振动系统，工作平台用于电泳辅助微细超声加工装置的固定；工作液水槽设置有电泳辅助电极本发明提出的加工装置及加工方法，使任何复杂结构的微流道都可以通过三维建模、切片和打印成型制作出实物模具，然后利用电泳辅助微细超声加工装置将模具形状复印到工件上，使复杂结构微流道实现制作。
微流道电泳辅助微细超声加工装置方法

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