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[发明专利]微细电火花电极损耗定长补偿方法-CN200810036544.8无效
发明人：裴景玉;许加利;李建功;邓容;郭常宁 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2008-04-24 - 公布日： 2008-09-10 - 主分类号： B23H7/32 文献下载
摘要：一种微细电火花电极损耗定长补偿方法，属于微细电火花加工领域。本发明在建立无补偿时单层单道微细电火花加工底面轮廓模型基础上，提出定长补偿的电极损耗补偿方法。在单层单道加工中，算出加工轨迹上每一点的电极损耗量，就能够根据实际的需要选择一个补偿精度1e，计算出电极损耗1e长度时的加工长度。在电极扫略轨迹上，每当加工L长度时就对电极进行一次长度的补偿，这就是定长补偿方法，这样就能很好弥补微细电火花加工中电极损耗对加工精度的影响。
微细电火花电极损耗定长补偿方法

[发明专利]一种超声频振动复合微细放电及电解加工装置-CN201510892188.X在审
发明人：朱永伟;杨大师;张宇;王芳;顾翔 -专利权人：扬州大学
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2016-03-09 - 主分类号： B23H3/00 文献下载
摘要：一种超声频振动复合微细放电及电解加工装置，属于复合精密、微细特种加工技术领域。本发明中工具电极与工件均被施加以一定频率的超声频振动，有效提高工件的加工效率；超声振动装置结构对称增加了工件加工的稳定性，工件被超声振动装置辅助以超声振动，有助于电加工的横纵向加工；本发明的进给机构优选伺服电机带动工作台机构在滚珠丝杠导轨上微细移动进给，进给机构可联动微细进给，可实现工件的复杂曲面加工。本发明结构新颖，有效提高电加工的加工效率与精度，解决了超声复合电加工在加工深径比大的工件时效率低下，以及很难加工复杂异形面的缺陷。
一种声频振动复合微细放电电解加工装置

[实用新型]一种复合型超声频微细电加工装置-CN201521005852.6有效
发明人：朱永伟;杨大师;张宇;王芳;顾翔 -专利权人：扬州大学
申请日： 2015-11-27 - 公布日： 2016-06-01 - 主分类号： B23H3/00 文献下载
摘要：一种复合型超声频微细电加工装置，属于复合精密、微细特种加工技术领域。本实用新型中工具电极与工件均被施加以一定频率的超声频振动，有效提高工件的加工效率；超声振动装置结构对称增加了工件加工的稳定性，工件被超声振动装置辅助以超声振动，有助于电加工的横纵向加工；本实用新型的进给机构优选伺服电机带动工作台机构在滚珠丝杠导轨上微细移动进给，进给机构可联动微细进给，可实现工件的复杂曲面加工。本实用新型结构新颖，有效提高电加工的加工效率与精度，解决了超声复合电加工在加工深径比大的工件时效率低下，以及很难加工复杂异形面的缺陷。
一种复合型声频微细加工装置

[发明专利]一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法-CN200810225440.1无效
发明人：李勇;刘改红;陈旭鹏 -专利权人：清华大学
申请日： 2008-10-31 - 公布日： 2009-03-25 - 主分类号： B23H3/04 文献下载
摘要：一种微细电化学加工用电极的侧壁绝缘方法，涉及在微细电化学加工用电极的侧壁表面形成绝缘膜的方法，属于微细加工技术领域。本发明不仅适用于微细电化学加工用单电极，而且适用于微细电化学加工用阵列电极，同时也为电生理学实验用电极提供了一种新的侧壁绝缘方法。
一种微细电化学工用电极侧壁绝缘方法

[发明专利]一种微细针状石墨电极加工方法-CN201710536655.4在审
发明人：张泰;王成勇;董榜喜 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2017-07-04 - 公布日： 2017-09-15 - 主分类号： B28D1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微细针状石墨电极加工方法，所述加工方法为S1、将立方体石墨材料工件安装在工作台上，固定；S2、选金刚石涂层刀具T3进行粗加工；S3、选用金刚石涂层刀具T5进行精加工，得到微细针状石墨电极本发明所述微细针状石墨电极加工方法实现了石墨电极的精细加工，可以加工得到直径0.15±0.05mm的石墨电极。
一种微细针状石墨电极加工方法

[发明专利]线电极工件异速复合运动微细电解线切割加工方法-CN201810693209.9有效
发明人：毕晓磊;曾永彬;曲宁松;杨涛 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B23H7/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种线电极工件异速复合运动微细电解线切割加工方法，属于精密微细电化学制造领域。加工方向上，线电极和工件进行异速相对切割运动，静止的电解液反向快速流动冲刷间隙内的产物排出；垂直于加工方向上，线电极和工件进行交替往复运动，辅助间隙内传质；利用不同方向上的复合运动，实现加工区域的位置变换，带动加工间隙内电解液快速更新流动，进行高效传质状态下差速运动微细电解线切割加工。本发明显著提微细电解线切割加工的精度、效率和稳定性，具有重要意义。
线切割加工微细电解线电极复合运动加工方向电解液交替往复运动微细电化学差速运动辅助间隙高效传质加工间隙加工区域快速更新快速流动切割运动位置变换重要意义内传质排出冲刷精密静止垂直流动制造

[发明专利]微细电解线切割加工间隙电沉积辅助测量方法-CN201710573073.3有效
发明人：曾永彬;朱荻;毕晓磊 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： B23H11/00 文献下载
摘要：本发明涉及的微细电解线切割加工间隙电沉积辅助测量方法，属于精密、微细电化学加工技术领域。其特征包括以下过程：利用两种不同的电化学沉积方法，即金属离子从微细电解线切割加工的微缝结构端部或者所用的微尺度线电极表面进行沉积，直至充满加工间隙，并将微尺度线电极相对于微缝结构端面的位置完全固定。从工件厚度方向对加工间隙进行分层抛磨、实际测量、数据修正，通过数学建模、图像重构建立加工间隙的分布模型。本发明对微细电解线切割加工的理论研究具有重要意义。
微细电解切割加工间隙沉积辅助测量方法

[发明专利]一种铝合金、铜合金零件的微孔钻削加工方法-CN201010617542.5有效
发明人：李兆光;黎月明;李利;彭俊彬;王建军;孙慧丽;张强 -专利权人：北京控制工程研究所
申请日： 2010-12-22 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： B23B35/00 文献下载
摘要：一种铝合金、铜合金零件的微孔钻削加工方法，(1)选择设备和微细钻头：(1.1)选择的数控机床应满足：主轴转速不低于30000rpm、主轴径向跳动误差不大于0.003mm，单轴的定位、重复定位误差不大于0.005mm，有精密的微细钻头夹持装置；(1.2)选择的微细钻头应满足：微细钻头夹持部分的圆柱度要求小于0.005mm；(2)将需微孔加工的零件装夹在机床上；(3)装夹微细钻头，保证装夹后微细钻头夹持部分的径向跳动误差小于等于0.006mm；(4)将微细钻头与零件进行非接触式对刀；(5)在步骤(1)选择的数控机床上进行微孔钻削加工，数控机床的主轴速度设置在50mm/s～100mm/s，钻削进给速度设置在0.01μm/rev～
一种铝合金铜合金零件微孔加工方法

[发明专利]一种模具微细结构表面流体精密加工观测方法及装置-CN201110355676.9有效
发明人：谭大鹏;袁巧玲;计时鸣 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2011-11-10 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：一种模具微细结构表面流体精密加工观测方法，采用基于流体流动相似模化方法，对微细模具结构化表面进行等比例放大，模拟稀疏磨粒流在微细约束流道内的流动状态，采集流道内实时图像数据并进行处理，得到稀疏磨粒流在微细约束流道环境下的分布状态、运动规律、典型流态特征及发展趋势；在满足几何相似与运动相似的前提下，实验观测流道模型和模具微细约束流道原型中各对应点处所受的力性质相同，大小成比例，比例常数对两个流场中的任意对应点都不变，使其流体动力学属性满足流动相似第二定律要求以及提供一种模具微细结构表面流体精密加工观测装置。本发明能够较好模拟模具微细结构表面流体加工条件及状态、操作简便、简单可行、通用性良好。
一种模具微细结构表面流体精密加工观测方法装置

[发明专利]一种复合型光子筛-CN201110025565.1无效
发明人：唐燕;胡松;赵立新;严伟 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2011-01-20 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合型光子筛，含有透明介质、金属层及微细结构，在透明介质上镀上金属层，并在金属层上刻蚀出所需的微细结构，沿透明介质的半径由内至外的方向以微细加工最小线宽为依据，将透明介质划分为不同区域，所述区域包括波带区、第一个区域及第二个区域，第一个区域和第二个区域都具有多组微细结构，在第一个区域的两组微细结构之间设有波带区，每组微细结构是由不同半径的环带状分布、不同半径的多个小孔组成，每个区域中设有小孔孔径与对应环带带宽之间具有一比值k，波带区最外环带宽等于微细加工最小加工尺寸线宽，波带区最内环半径为其最外环半径的0.3～0.5倍。
一种复合型光子

[实用新型]电泳与超声振动辅助微细铣削加工装置-CN201420163285.6有效
发明人：何俊峰;郭钟宁;连海山 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2014-04-04 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： B23C3/00 文献下载
摘要：本实用新型是一种电泳与超声振动辅助微细铣削加工装置。包括立式滑块、微细超声主轴、微细超声主轴电源发生器及控制面板、电泳辅助电源、微细超声平台电源发生器及控制面板、运动控制系统、微三维运动平台、微细超声平台、铣刀、电泳辅助圆形电极，本实用新型在普通超声振动辅助微铣削加工过程中加入具有超微磨粒的溶液，同时通过电泳圆形辅助电极，在微铣刀上加上辅助电压，使两者之间产生辅助电场，驱动微细磨粒运动或吸附到微铣刀上，使加工时磨粒对工件起到磨削作用，同时固结的磨粒还可以对铣刀起到保护作用，减少刀具磨损。磨粒还可以在超声振动的驱动下对工件进行冲击，提高材料去除效率，提高铣削加工的效率。
电泳超声振动辅助微细铣削加工装置

[发明专利]半导体垂直通孔形成方法及装置-CN200910026887.0有效
发明人：汪炜;刘正埙;丁维育;田宗军;刘志东;沈理达;黄因慧 -专利权人：南京航空航天大学
申请日： 2009-06-03 - 公布日： 2009-11-04 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：一种半导体垂直通孔形成方法及装置，属特种加工范畴，基于微细电加工原理，以微细群电极作为工具电极，半导体材料(通常为硅、锗、砷化镓、蓝宝石、碳化硅等，电阻率＜100Ω·cm薄片形状)作为工件，依次通过微细电火花放电、微细电化学光整和侧壁钝化工艺，实现半导体垂直通孔(直径Φ＜50μm，深宽比＜10)的加工。实施本发明的装置是提供一种在同一台设备上可连续完成微细电火花放电、微细电化学光整和侧壁钝化工艺的装置，保证了工艺的完整性和定位的精确性；该装置还增设了能够产生激波效应的激波发生器，以利于加工具有大的深宽比的半导体通孔此工艺方法及装置具有与材料晶向无关、侧壁垂直、热影响区小、加工精度高及工艺灵活等特点。
半导体垂直形成方法装置

[发明专利]具有超微细凹凸表面结构的成型物的制造方法-CN201110058142.X无效
发明人：村濑英寿;佐佐木良成;松井俊辅;阿苏幸成 -专利权人：索尼公司
申请日： 2011-03-10 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： B44C1/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种具有超微细凹凸表面结构的成型物的制造方法，其中，其中，对每一次发射使激光照射区域相对于加工对象物的加工面连续移动，同时将激光束重复照射到加工对象物的加工面上，该制造方法包括以下步骤：设定激光束的能量密度；设定发射数，通过该发射数来形成所需的微细形状；计算激光照射区域相对于加工面的移动速度；以及照射所设定的能量密度的激光束，同时使加工面相对于激光照射区域以所计算出的移动速度移动，从而在形成有微细形状的加工面上形成由加工痕迹形成的超微细凹凸结构
具有微细凹凸表面结构成型制造方法

[发明专利]一种喷墨打印用微细喷孔电化学加工方法-CN201711066087.2在审
发明人：李勇;赵翔;刘国栋 -专利权人：清华大学
申请日： 2017-11-02 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： B23H9/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种喷墨打印用微细喷孔电化学加工方法，其包含以下工序电解打孔工序，装夹工序，电镀缩孔工序，所述微细喷孔内壁与喷孔表面具有不同的亲疏水特性。面对喷孔的微细化发展趋势，现有的加工工艺难以在实现更小尺度喷孔加工的同时保证其表面质量。为了解决上述问题，特别针对于孔径数十乃至十数微米，需要不同亲疏水特性的微细喷孔，本发明提出了电解打孔与电镀缩孔组合电化学加工的方法。该方法利用电镀缩孔的方式来获得微细喇叭形喷孔，降低了微小尺寸电极制造难度，节约了制造成本；通过电解加工的方式能更加容易实现喇叭形喷孔的加工，同时能够保证喷孔的形状精度；工艺过程精确可控，适于成批大量生产
一种喷墨打印微细电化学加工方法

[发明专利]一种局部为三维微结构的金属模具的复合加工方法-CN200810012422.5无效
发明人：刘冲;杜立群;王立鼎;王敏杰;宋满仓;刘军山;刘文涛;莫顺培 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2008-07-15 - 公布日： 2008-12-24 - 主分类号： B23P15/24 文献下载
摘要：一种局部为三维微结构的金属模具的复合加工方法，本发明属于微细加工技术领域。其特征是结合准LIGA和微细电火花两种微细加工技术，解决了局部是三维，其余部分是二维的复杂微结构的金属模具的加工问题。技术方案如下：基于准LIGA工艺在金属基板上制作平面二维微结构；根据微细电火花加工方式，制作工具电极；对二维微结构上的指定位置进行微细电火花修形，得到三维微结构。本发明的效果和益处是模具上二维微结构的加工精度高、表面质量好；可以在指定区域内对二维微结构进行修形，得到斜面、阶梯和任意曲面等三维结构；模具的材料是金属，它的强度高，寿命长。
一种局部三维微结构金属模具复合加工方法