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[发明专利]一种电泳辅助微细超声加工机床及加工方法-CN201310192315.6有效
发明人：郭钟宁;连海山;何俊峰;张伟;韩瑞聪 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2013-05-22 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种电泳辅助微细超声加工的机床及利用该机床实施电泳辅助微细超声加工的方法，所述机床包括主轴系统、进电系统、主轴微细超声纵振系统，多功能杯状工作液槽。本发明提出一种新的复合加工工艺，将电泳的吸附作用附加到微细超声加工中，使超声加工工作液中的微细磨粒在电场力的驱动下泳动到加工区域附近，确保了加工区域磨粒的存在，能有效的提高磨料的利用率，从而提高微细超声加工的效率
一种电泳辅助微细超声加工机床方法

[发明专利]微三维结构的电火花电解组合铣削加工方法-CN200910236371.9无效
发明人：李勇;胡满红;佟浩;陈旭鹏 -专利权人：清华大学
申请日： 2009-10-20 - 公布日： 2010-04-14 - 主分类号： B23H5/02 文献下载
摘要：微三维结构的电火花电解组合铣削加工方法属于微细加工技术领域，其特征在于，借助分层铣削原理，采用简单电极进行微细电火花铣削和微细电解铣削的组合加工，可加工多种金属合金材料和复杂的型腔型面。组合加工分为两个步骤，1)首先，采用微细电火花闭环间隙伺服扫描铣削加工方法，快速完成绝大部分加工量；2)然后，采用微细电解分层开环数控扫描铣削加工方法去除剩余的微小余量，最终完成微三维结构成型；电解铣削中使用侧壁绝缘的加工电极，以提高加工定域性和加工精度。本发明充分利用了微细电火花伺服扫描铣削加工速度快，以及微细电解数控铣削加工电极不损耗，表面加工质量好的优势。
三维结构电火花电解组合铣削加工方法

[实用新型]一种蚀刻辅助的微细超声加工装置-CN201520490862.7有效
发明人：袁聪 -专利权人：湖南城市学院
申请日： 2015-07-09 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蚀刻辅助的微细超声加工装置，所述微细超声加工装置通过蚀刻液的辅助实施微细超声加工，所述蚀刻液混合磨粒后，浸泡工件或喷淋工件实施蚀刻辅助的微细超声加工；微细超声的振动加工在工件表面形成微裂纹，而蚀刻液可以快速有效的进入微裂纹中，进一步扩大裂纹间隙，有助于微细超声的去除加工；加工效率的提高，缩短了开口上下面接触蚀刻液的时间，相应的减少了侧蚀量；另外将微细超声和蚀刻结合在一起，超声可以引导蚀刻液的流向，进一步有助于保证加工成型的精度。
一种蚀刻辅助微细超声加工装置

[发明专利]一种轻便型的微细超声或微细超声振动辅助加工主轴-CN202010376433.2在审
发明人：连海山;邓翠园;莫德云;莫元东 -专利权人：岭南师范学院
申请日： 2020-05-07 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本发明公开一种轻便型的微细超声或微细超声振动辅助加工主轴，涉及微细特种加工技术领域，包括动力源模块、动力传动模块和引电模块，所述动力源模块包括动力源和连接件，所述动力源通过所述连接件与所述动力传动模块连接；所述动力传动模块包括绝缘套筒和微细超声振动系统，所述微细超声振动系统安装于所述绝缘套筒内，所述绝缘套筒与所述连接件连接；所述引电模块安装于所述绝缘套筒的外侧。本发明结构紧凑、轻便、性能优良、方便实用，可以实现微细超声加工、微细超声振动辅助电火花加工、微细超声振动辅助电解加工。
一种轻便微细超声振动辅助加工主轴

[实用新型]一种轻便型的微细超声或微细超声振动辅助加工主轴-CN202020731317.3有效
发明人：连海山;邓翠园;莫德云;莫远东;张林鹏 -专利权人：岭南师范学院
申请日： 2020-05-07 - 公布日： 2020-12-04 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种轻便型的微细超声或微细超声振动辅助加工主轴，涉及微细特种加工技术领域，包括动力源模块、动力传动模块和引电模块，所述动力源模块包括动力源和连接件，所述动力源通过所述连接件与所述动力传动模块连接；所述动力传动模块包括绝缘套筒和微细超声振动系统，所述微细超声振动系统安装于所述绝缘套筒内，所述绝缘套筒与所述连接件连接；所述引电模块安装于所述绝缘套筒的外侧。本实用新型结构紧凑、轻便、性能优良、方便实用，可以实现微细超声加工、微细超声振动辅助电火花加工、微细超声振动辅助电解加工。
一种轻便微细超声振动辅助加工主轴

[发明专利]一种微细液冷流道壁厚精确控制方法-CN202111320991.8有效
发明人：余克壮;马政伟;曹洪志;李立;程圣;王宇;陈帅 -专利权人：中国电子科技集团公司第二十九研究所
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本发明提供一种微细液冷流道壁厚精确控制方法包括：对焊接后的毛坯微细液冷流道外形面进行无损测量前处理、通过无损测量方式测量毛坯件实际微细流道两侧面流道壁厚以及总厚度、微细流道深度一致性合格判定、确认微细流道壁厚粗加工量、数铣粗加工、无损测量半成品微细流道实际壁厚、确定半成品微细流道壁厚精加工量、数铣精加工、测量成品实际微细流道壁厚、计算成品流道壁厚、成品流道壁厚一致性合格判定。本发明能够解决微细液冷流道焊接导致微细液冷流道两侧壁厚不均匀性的问题。
一种微细冷流道壁厚精确控制方法

[发明专利]微阵列轴孔的组合加工方法-CN200710072385.2无效
发明人：迟关心;王振龙;曾伟梁;朱保国;孙立忠 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2007-06-22 - 公布日： 2007-12-12 - 主分类号： B23H5/02 文献下载
摘要：微阵列轴孔的组合加工方法，它涉及以电解加工、微细电火花加工和超声复合等技术交叉融合的金属合金材料的微细阵列轴孔的组合加工工艺，为了解决现有微阵列轴孔加工工艺加工精度难以保证、加工效率低、形状复杂加工困难的问题本发明首先通过电解加工制作单个微细电极，然后利用电解的方法使单个微细电极在平板电极上加工出微阵列母孔，该母孔是为了制作微阵列轴准备的，用微阵列母孔在圆柱电极上通过电火花反拷并复合有超声振动加工制作微细阵列轴，最后利用微细阵列轴和电解方法加工微阵列轴孔。本发明的微阵列轴孔的组合加工方法具有加工精度高、加工效率高、加工方便的优点。
阵列组合加工方法

[发明专利]一种游离磨料微细超声加工装置及进给调节方法-CN201910000470.0有效
发明人：汪炜;缪兴华;耿其东;丁瑞翔;刘斌 -专利权人：南京航空航天大学;南京航空航天大学无锡研究院
申请日： 2019-01-02 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种游离磨料微细超声加工装置，包括：XY轴进给装置、底座、主轴立柱、Z轴伺服进给装置、工作槽、微细超声振动系统、待加工工件、超声波发生器和冷却循环系统，工作槽设置于XY轴进给装置上，工作槽内放置待加工工件且其内盛有工作液，微细超声振动系统包括超声换能器、超声变幅杆及微细超声加工工具，微细超声加工工具连接于超声变幅杆的底部，Z轴伺服进给装置设于主轴立柱上，超声换能器设于Z轴伺服进给装置上且与超声变幅杆连接，超声波发生器与超声换能器电连接；所述游离磨料微细超声加工装置还包括用于保持微细超声加工工具温度稳定的冷却系统。本发明具有结构简单、响应速度快、加工稳定性高和加工精度高的特点。
一种游离磨料微细超声加工装置进给调节方法

[发明专利]微细加工处理剂以及微细加工处理方法-CN202180075359.3在审
发明人：伊达和哉;中田和;长谷部类;二井启一 -专利权人：斯泰拉化工公司
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/308 文献下载
摘要：本发明提供一种微细加工处理剂以及微细加工处理方法，其在对至少包含氮化硅膜、氧化硅膜以及硅合金膜的层叠膜进行微细加工时能够选择性地对氧化硅膜进行微细加工。本发明的微细加工处理剂是用于至少包含氧化硅膜、硅氮化膜以及硅合金膜的层叠膜的微细加工的微细加工处理剂，其包含：(a)0.01质量％～50质量％的氟化氢、(b)0.1质量％～40质量％的氟化铵、(c)0.0010.001质量％～1质量％的具有羧基的有机化合物、和(e)作为任意成分的水，水溶性聚合物为选自由丙烯酸、丙烯酸铵、丙烯酰胺、苯乙烯磺酸、苯乙烯磺酸铵和苯乙烯磺酸酯组成的组中的至少一种，选择性地对氧化硅膜进行微细加工
微细加工处理以及方法

[发明专利]微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构-CN200810111890.8无效
发明人：李勇;徐明刚;刘伟;陈旭鹏;贾维溥 -专利权人：清华大学
申请日： 2008-05-19 - 公布日： 2009-02-11 - 主分类号： B23H7/26 文献下载
摘要：本发明属于特种微细加工技术领域，涉及一种微细电火花加工用微细电极丝进给导向机构，由微细电极丝进给与损耗自动补偿模块、微细电极丝辅助激振模块以及微细电极丝精密导向模块组成。常闭夹丝机构位于常开夹丝机构和精密导向模块之间，缩短了常闭夹丝机构夹丝点与导向模块间的距离，提高了微细电极丝的稳定性。微细电极丝在伺服进给的同时，还在辅助激振模块的作用下高频振动，用于改善间隙放电状态与排屑条件，提高加工效率。精密导向模块采用在硅片上刻蚀的精密V型导向槽实现对微细电极丝的高精度导向，一种规格V型导向槽的硅片可以适应一定直径范围的电极丝。本发明用于微细孔加工。
微细电火花工用电极进给导向机构

[发明专利]一种提高微细流道加工质量的系统和方法-CN201210003473.8有效
发明人：刘刚;赵鸿;唐晓军;王超;徐鎏婧;刘磊;刘洋;梁兴波;陈三斌 -专利权人：中国电子科技集团公司第十一研究所
申请日： 2012-01-06 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： B23P17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高微细流道加工质量的系统和方法，所述系统包括：微细流道加工装置、待加工工件、至少一面由所述待加工工件组成的检测腔体、与所述检测腔体密封连接的恒压流体产生装置、以及加工微细流道时固定所述待加工工件的夹具；所述微细流道加工装置，用于在待加工工件上，从检测腔体外侧向检测腔体内侧加工微细流道；所述恒压流体产生装置，用于在加工微细流道过程中，向检测腔体内充满恒定压力的流体；其中，腔内流体恒定压力高于加工侧所属环境的压力本发明在非加工侧施加一个正压力，保证在加工过程中产生的加工碎屑不会进入微流道的内部，从而避免了加工碎屑影响加工质量的问题。
一种提高微细加工质量系统方法

[实用新型]一种电泳辅助微细超声加工机床-CN201320286979.4有效
发明人：郭钟宁;何俊峰;连海山;张伟;韩瑞聪 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2013-05-22 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电泳辅助微细超声加工的机床，所述机床包括主轴系统、进电系统、主轴微细超声纵振系统，多功能杯状工作液槽。本实用新型提出一种新的复合加工工艺，将电泳的吸附作用附加到微细超声加工中，使超声加工工作液中的微细磨粒在电场力的驱动下泳动到加工区域附近，确保了加工区域磨粒的存在，能有效的提高磨料的利用率，从而提高微细超声加工的效率
一种电泳辅助微细超声加工机床

[发明专利]镜像双丝微细电火花磨削微细轴加工装置及方法-CN201610740772.8有效
发明人：王燕青;李文辉;曹明让;贾建宇;杨彦平;杨晓鹏;杨胜强 -专利权人：太原理工大学
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： B23H5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种镜像双丝微细电火花磨削微细轴加工装置及方法。包括主动供丝模块、线电极恒张力模块、运丝高度调整模块、放电模块、线电极导向轮间隙调整模块、收丝模块、微细轴伺服驱动模块；微细轴(65)绕自身轴线旋转、上下往复运动并沿进给方向切入线电极I(5)和线电极II(7)所形成的狭缝中；微细轴(65)同时与线电极I(5)和线电极II(7)放电，微细轴伺服驱动模块保证加工过程中微细轴(65)沿线电极I(5)和线电极II(7)对称中心线运动。该方法减小了微细轴直径控制难度，提高了微细轴加工效率、提高了单根、多根微细轴的直径一致性。
镜像双丝微细电火花磨削加工装置方法

[发明专利]微细倒锥孔的电解加工方法及其装置-CN201610199017.3有效
发明人：李勇;刘国栋;孔全存;佟浩;李朝将 -专利权人：清华大学
申请日： 2016-04-01 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： B23H9/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种微细倒锥孔的电解加工方法，以Φ200μm以下的微细倒锥孔加工为研究目标，在采用微细中空电极和高压供液装置的基础上，一次性实现倒锥孔的精密成形。随着工具电极向下进给，根据微细倒锥孔的加工参数协同控制关系，控制电解加工电压U、脉冲占空比λ和工具电极进给速度vf中的一个或多个随加工深度变化。该加工参数协同控制关系由微细倒锥孔的孔径‑参数关系d=83.59+182.06×λ‑17.06×λ×vf+0.35×U2和倒锥孔的形状参数d=a0·h+d0得到，a0由微细倒锥孔的锥角决定，d0为倒锥孔的入口直径；工件被贯通后进行出口圆角加工，最后工具电极向上回退至初始位置，得到微细倒锥孔。
微细倒锥孔电解加工方法及其装置

[发明专利]金属部件的冲压加工方法以及冲压加工用模具-CN201110073932.5有效
发明人：小金井诚司;高桥正明;基昭夫;滨嶋英树;道野隆二;小林祐次;辻俊哉 -专利权人：新东工业株式会社
申请日： 2011-03-22 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： B21D37/10 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种金属部件的冲压加工方法以及冲压加工用模具，适用于对钛部件或镁合金部件这样的难以加工的金属部件进行冲压加工。冲压加工用模具具有：微细凹凸部，该微细凹凸部形成于与金属部件接触的部分的至少一部分，具备微细的凹凸，且最大表面粗糙度在3μm以上25μm以下；以及氟树脂膜，该氟树脂膜以使微细凹凸部所包含的多个顶部的仅一部分露出的方式形成于微细凹凸部，氟树脂膜与微细凹凸部的表面密合。
金属部件冲压加工方法以及工用模具