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- [发明专利]蚀刻液-CN202211240753.0在审
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吴鉴
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苏州华星光电技术有限公司
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2022-10-11
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2023-01-17
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C23F1/16
- 本发明实施例公开了一种蚀刻液;该蚀刻液用于同时蚀刻金属层和半导体层,该蚀刻液包括过硫酸化合物、无机酸、含氟化合物、唑类化合物、有机酸、及水,以质量百分比计,蚀刻液的各组分含量如下:过硫酸化合物5wt%至15wt%,无机酸0.1wt%至5wt%,含氟化合物0.1wt%至4wt%,唑类化合物0.1wt%至6wt%,有机酸0.1wt%至6wt%;本发明通过利用过硫酸化合物中过硫酸根离子的氧化作用,加强对于半导体层的蚀刻,实现同时对于金属层和半导体层的蚀刻,一次性湿蚀刻金属线层和置于金属线下方的半导体层,将传统的两次干蚀刻和两次湿蚀刻制程缩减成一次干蚀刻和两次湿蚀刻,提高了制造的生产节拍和效率。
- 蚀刻
- [发明专利]区分不同规格滚动体的酸腐蚀工装-CN202211229965.9在审
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徐园园;赵方园;李浩;陈家琪;刘健
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中国航发哈尔滨轴承有限公司
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2022-10-08
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2022-11-29
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C23F1/16
- 区分不同规格滚动体的酸腐蚀工装,它属于滚动体酸腐蚀检查工艺技术领域。它解决了现有酸腐蚀工装存在的问题。酸腐蚀工装:它包括托盘柜体式框架和抽屉式分格托盘;托盘柜体式框架中设有多个隔断;抽屉式分格托盘置于隔断上,内设分格板将托盘四等分;设置铁柱将抽屉式分格托盘阻挡在托盘柜体式框架中。本发明中区分不同规格滚动体的酸腐蚀工装,结构简单,易于操作,占用空间小,可以同时进行小批量多品种的滚动体酸腐蚀。本发明中区分不同规格滚动体的酸腐蚀工装,采用分隔式工装设计,能够满足不同型号/不同批次的滚动体可以同时进行酸腐蚀的要求,达到提升生产产能和提高溶液使用效率的目的。本发明工装适用于区分不同规格滚动体的酸腐蚀。
- 区分不同规格滚动酸腐工装
- [发明专利]模具零件加工的咬花工艺-CN202010479797.3在审
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胡志军
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昆山建荣模具标准件有限公司
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2020-05-29
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2021-12-03
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C23F1/16
- 本发明公开了模具零件加工的咬花工艺,包括以下步骤:准备便于暂放模具零件的化学腐蚀槽,将待加工的模具零件暂放至化学腐蚀槽后,并注入化学药剂漫过零件开始浸泡3‑5小时;通过机器人将浸泡后的模具零件放入在加工机台上,并通过定位治具对模具零件进行定位;通过可进行XY轴平移的咬花机对模具零件表面进行咬花加工;通过机器人将咬花结束后的模具零件放入至准备好的超声波清洗池内进行自动清洗0.5‑1小时;通过机器人将清洗结束后的模具零件捞出,并通过烘干设备进行处理,结束后,则进行人工打包作业;本发明能自动实现对模具零件表面进行咬花处理,避免人工接触造成手部损伤。
- 模具零件加工工艺
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