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- [发明专利]取环装置及方法-CN202210447779.6在审
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谢吉余;杨轩毅;任瑞
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绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
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2022-04-27
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2022-05-27
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B24B37/34
- 本申请涉及一种取环装置及方法。该取环装置包括:工作平台,用于固定所述待取环晶圆除所述边缘环以外的部分,以及带动所述待取环晶圆进行旋转;解胶粘装置,用于使所述边缘环与所述胶膜之间失去粘性,以使得所述边缘环以向下掉落的方式与所述待取环晶圆分离上述取环装置能避免将待取环晶圆原本存在的裂纹延深,使得待取环晶圆在取环过程中不易出现因出现裂纹而报废的问题;以向下掉落的方式与待取环晶圆分离,这样即使边缘环在取环过程中出现破裂,也能够直接落下而不会影响待取环晶圆,在使边缘环与胶膜之间变得不粘接的同时将边缘环与待取环晶圆分离,能减少取环所需的时间,提升整体取环效率,并降低取环过程整体的风险。
- 装置方法
- [实用新型]壳状牙齿矫治器的切割设备-CN202021932219.2有效
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姚峻峰
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浙江隐齿丽医学技术有限公司
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2020-09-07
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2021-06-11
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B23K26/38
- 本实用新型公开了一种壳状牙齿矫治器的切割设备,包括:上料装置将待切割模组以牙颌模型牙冠朝下的方式放置在上料装置的承载台上设置的拾取工位上;拾取装置包括拾取部及驱动拾取部运动的驱动部,驱动部驱动拾取部运动至拾取工位处;拾取部从牙颌模型牙冠相对的一侧拾取待切割模组,并运动至图像识别装置的识别区域内,使待切割模组的牙冠一侧朝向图像识别装置;图像识别装置采集待切割模组上设置的定位标识,拾取装置将待切割模组放置在位置调整辅助装置上,拾取装置根据定位标识的识别结果调整拾取部的位姿,拾取装置运动使待切割模组进入激光切割装置的切割区域内,并拾取部按照预定的切割路径与激光切割装置相对运动,完成切割。
- 牙齿矫治切割设备
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