专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]缩小接触窗开口尺寸的微影工艺-CN01110318.3无效
  • 王立铭;蔡高财 - 华邦电子股份有限公司
  • 2001-04-03 - 2002-11-13 - H01L21/30
  • 本发明公开了一种缩小接触窗开口尺寸的微影工艺。是利用两个不同线/间距光罩的线形图案,在重复曝光后相互交错垂直,获得相互组合而成为接触窗开口图案,而得以在负光阻层上形成所需的接触窗开口图形。由于本方法可精确地控制线/间距光罩的线距宽,因而可以降低接触窗开口的关键尺寸。所以,本发明的缩小接触窗开口尺寸的微影工艺可以避免组件集成度增加,在工艺上所造成的困难度与限制。
  • 缩小接触开口尺寸工艺
  • [发明专利]非等截面开口式连接环成型工艺-CN93111766.6无效
  • 夏雨民 - 夏雨民
  • 1993-10-16 - 1994-07-13 - B21K1/76
  • 本发明涉及一种用于连接高强度圆环链且为非等截面开口式连接环的锻造成型工艺,其特点在于,首先将加热的棒状坯料按非等截面开口式连接环展开状碾长为预制坯,然后把预制坯放在预锻模中改制为预锻件,再将预锻件置于闭式终锻模膛内锻造成非等截面开口式连接环展开件按该工艺生产的非等截面开口式连接环材料利用率较传统锻模工艺高35~40%,机械性能达到或超过联邦德国标准DIN22253所列指标。
  • 截面开口连接成型工艺
  • [发明专利]一种蒸镀用掩模板的加工工艺、返修工艺-CN201210010715.6无效
  • 魏志凌;高小平;郑庆靓;孙倩 - 昆山允升吉光电科技有限公司
  • 2012-01-16 - 2013-07-17 - C23C14/04
  • 本发明提出一种蒸镀用掩模板的加工工艺、返修工艺,所述加工工艺包括:蚀刻金属掩模板,形成最终的开口;对掩模板开口尺寸进行检测,判断是否合格;若开口的上下尺寸与中间尺寸的差大于设定值,则采用喷砂微处理对开口不合格掩模板进行返修,对开口处的凸起进行喷砂处理;使开口的上下尺寸与中间尺寸的差符合设定要求。通过本发明提出的蒸镀用掩模板的加工工艺、返修工艺,用间接手段解决了蚀刻工艺中由于侧蚀导致的开口上下面大、中间小的现象,提高开口尺寸精度及生产合格率,降低报废率;同时提高了蒸镀过程中有机蒸镀材料的成膜率。
  • 一种蒸镀用掩模板加工工艺返修
  • [发明专利]一种掩膜板及其制备方法-CN201510976247.1有效
  • 祝晓钊;王徐亮;甘帅燕;朱修剑 - 昆山国显光电有限公司
  • 2015-12-23 - 2019-07-16 - G03F1/50
  • 本发明所述的一种掩膜板,包括层叠设置的骨架层、粘合剂层以及石墨烯层;骨架层、粘合剂层、石墨烯层中分别开设有若干贯通的第一开口、第二开口、第三开口;第一开口、第二开口、第三开口在垂直于掩膜板所在平面方向上贯通设置掩膜板的开口大小由第三开口控制,开口面积大、定位精确、分辨率高。本发明所述的掩膜板的制备方法,石墨烯层通过压合工艺形成在粘合剂层上,第一开口通过刻蚀工艺或者电铸工艺形成,第二开口通过光刻工艺形成,工艺简单、精度要求低,有效降低了生产成本。
  • 一种掩膜板及其制备方法
  • [发明专利]一种台阶模板的制作工艺-CN201210010724.5有效
  • 魏志凌;高小平;王峰;孙倩 - 昆山允升吉光电科技有限公司
  • 2012-01-16 - 2013-07-17 - B41C1/12
  • 一种台阶模板的制作工艺。该种制作工艺工艺流程如下:基板处理(裁剪)→前处理(除油、酸洗、喷砂)→贴膜→双面曝光→双面显影→蚀刻(印刷面具有凸起台阶(upstep))→褪膜→前处理(除油、酸洗)→激光切割(平面开口和凸起台阶(upstep)的开口)。该种工艺中包括蚀刻、激光切割工艺,由此工艺制备可制备得到印刷面具有凸起台阶(upstep)的金属网板。应用此种制作工艺得到的金属模板,凸起台阶(upstep)区域的图形开口与基板开口的对位精度高;要求整体模板的开口孔壁光滑、笔直,无毛刺、锯齿等不良现象;表面质量好,无变形、泛白等不良缺陷;板面的厚度均匀性
  • 一种台阶模板制作工艺
  • [发明专利]一种掩模板的制作工艺-CN201310212721.4有效
  • 魏志凌;高小平;潘世珎;张炜平 - 昆山允升吉光电科技有限公司
  • 2013-06-01 - 2018-02-06 - C23C14/04
  • 本发明公开了一种掩模板的制作工艺,先通过电铸工艺电铸一层电铸层,再通过蚀刻工艺在所述电铸层上电铸开口的一侧蚀刻出具有一定深度的蚀刻凹槽,其中,所述电铸工艺包括贴膜一步骤、曝光一步骤、显影一步骤、电铸步骤、褪膜一步骤;所述蚀刻工艺包括贴膜二步骤、曝光二步骤、显影二步骤、蚀刻步骤、褪膜二步骤。通过本发明所提供的工艺制作的掩模板,其开口由电铸开口和蚀刻凹槽结合而成,电铸开口的侧壁光滑,易脱模,有效沉积开口精度容易控制,可提高开口精度;在电铸开口的基础上由蚀刻工艺制得的蚀刻凹槽形成碗状孔壁,与电铸开口相结合
  • 一种模板制作工艺

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