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[发明专利]射频控制系统及方法、反应腔室、等离子体加工设备-CN201310293564.4有效
发明人：韦刚;武晔 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2013-07-12 - 公布日： 2015-01-14 - 主分类号： G05F1/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种射频控制系统及方法、反应腔室、等离子体加工设备,其包括射频功率输出模块、检测模块和控制模块，其中，射频功率输出模块用于向线圈输出射频功率；检测模块用于检测线圈中的射频电流，并将其检测到的射频电流值发送至控制模块；控制模块用于根据由检测模块发送而来的射频电流值与预设的射频电流标准值而获得射频电流偏差，且根据该射频电流偏差计算射频功率输出值，并根据该射频功率输出值向射频功率输出模块发送控制信号；射频功率输出模块根据控制信号向线圈输出射频功率输出值本发明提供的射频控制系统，其可以校准线圈中的射频电流值与射频电流标准值之间的偏差，从而可以提高等离子体加工设备的工艺精确度和工艺重复性。
射频控制系统方法反应等离子体加工设备

[发明专利]一种高线性度高增益的有源混频器及方法-CN201610906433.2有效
发明人：宋树祥 -专利权人：广西师范大学
申请日： 2016-10-17 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H03D7/14 文献下载
摘要：本发明涉及一种高线性度高增益的有源混频器及方法,包括两个主跨导放大电路接入射频差分电压信号，分别进行跨导放大转换成第一射频电流信号和第二射频电流信号，两个辅跨导放大管接入射频差分电压信号，分别进行跨导放大转换成第三射频电流信号和第四射频电流信号，第三射频电流信号和第四射频电流信号分别通过第一电流镜和第二电流镜进行电流放大，并分别与第一射频电流信号和第二射频电流信号叠加形成两个叠加射频电流信号，输入到开关级电路；负载级电路向开关级电路输出直流电流，开关级电路接入本振信号，对两个叠加射频电流信号进行周期性换向，实现混频。
一种线性增益有源混频器方法

[实用新型]一种高线性度高增益的有源混频器-CN201621127104.X有效
发明人：宋树祥 -专利权人：广西师范大学
申请日： 2016-10-17 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： H03D7/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高线性度高增益的有源混频器,包括两个主跨导放大电路接入射频差分电压信号，分别进行跨导放大转换成第一射频电流信号和第二射频电流信号，两个辅跨导放大管接入射频差分电压信号，分别进行跨导放大转换成第三射频电流信号和第四射频电流信号，第三射频电流信号和第四射频电流信号分别通过第一电流镜和第二电流镜进行电流放大，并分别与第一射频电流信号和第二射频电流信号叠加形成两个叠加射频电流信号，输入到开关级电路；负载级电路向开关级电路输出直流电流，开关级电路接入本振信号，对两个叠加射频电流信号进行周期性换向，实现混频。
一种线性增益有源混频器

[发明专利]射频塑身治疗头及射频塑身装置-CN201710531009.9在审
发明人：雷晓兵;罗洪波 -专利权人：深圳半岛医疗有限公司
申请日： 2017-06-30 - 公布日： 2017-09-15 - 主分类号： A61N1/36 文献下载
摘要：本发明公开一种射频塑身治疗头和射频塑身装置，其中，射频塑身治疗头包括治疗头本体以及多个射频电极，所述治疗头本体上设有连接射频源的接口，所述治疗头本体远离所述接口的一端设有固定面；多个所述射频电极均设于所述固定面上，且多个所述射频电极呈阵列设置，以形成密度均匀的输出电流。本发明射频塑身治疗头能够提高射频电流的均匀性，此外，由于相邻射频电极的射频电流产生交互影响，使得射频电流能够沿更深的方向传输，使得本发明射频塑身治疗头还能够提高射频电流的穿透深度。因此，本发明射频塑身治疗头的射频电流均匀，射频电极的不同区域的温度均匀一致，且射频电流穿透深度大，溶脂效果显著。
射频治疗装置

[实用新型]射频塑身治疗头及射频塑身装置-CN201720792104.X有效
发明人：雷晓兵;罗洪波 -专利权人：深圳半岛医疗有限公司
申请日： 2017-06-30 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： A61N1/36 文献下载
摘要：本实用新型公开一种射频塑身治疗头和射频塑身装置，其中，射频塑身治疗头包括治疗头本体以及多个射频电极，所述治疗头本体上设有连接射频源的接口，所述治疗头本体远离所述接口的一端设有固定面；多个所述射频电极均设于所述固定面上，且多个所述射频电极呈阵列设置，以形成密度均匀的输出电流。本实用新型射频塑身治疗头能够提高射频电流的均匀性，此外，由于相邻射频电极的射频电流产生交互影响，使得射频电流能够沿更深的方向传输，使得本实用新型射频塑身治疗头还能够提高射频电流的穿透深度。因此，本实用新型射频塑身治疗头的射频电流均匀，射频电极的不同区域的温度均匀一致，且射频电流穿透深度大，溶脂效果显著。
射频射频电流塑身治疗本实用新型射频电极治疗头塑身装置穿透交互影响密度均匀输出电流温度均匀相邻射频阵列设置固定面均匀性射频源电极溶脂传输

[发明专利]宽带鞭状天线-CN201380069439.3在审
发明人：根纳蒂·巴比特斯基;马提·马蒂斯凯宁;维克托·霍普菲纳 -专利权人：盖尔创尼克斯有限公司
申请日： 2013-10-31 - 公布日： 2015-09-09 - 主分类号： H01Q1/00 文献下载
摘要：一种宽带天线，其包含：一提供射频电流的射频连接器；一长形辐射元件电连接至所述射频连接器，所述长形辐射元件为所述射频电流形成一电流的射频电流路径；以及至少一概呈圆柱形导电元件包围所述长形辐射元件的至少一部分，并为所述射频电流形成一电容的射频电流路径。
宽带鞭状天线

[发明专利]可切换辐射场型的天线结构-CN201210408571.X在审
发明人：浦大钧;陈叡宏;林弘萱;吴俊熠 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2012-10-24 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： H01Q3/24 文献下载
摘要：本发明公开一种可切换辐射场型的天线结构，其包含接地面、主动天线以及射频电流导引器。主动天线贴近于接地面的一边，而射频电流导引器则贴近于接地面的另一边。射频电流导引器含有至少一开关元件，其中该至少一开关元件建构供导入该接地面的射频电流至该射频电流导引器或阻绝该接地面的射频电流导入该射频电流导引器。
切换辐射天线结构

[实用新型]恒功率输出电路和装置-CN202023338666.8有效
发明人：冯晓杰;徐宏;周乐 -专利权人：杭州堃博生物科技有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G05F1/66 文献下载
摘要：一种恒功率输出电路和装置，其中恒功率输出电路包括：射频信号模块、电流检测模块、电压检测模块和控制模块，射频信号模块连接电流检测模块和电压检测模块，用于产生射频信号并将射频信号输入电流检测模块和电压检测模块，电流检测模块和电压检测模块连接控制模块，电流检测模块和电压检测模块，用于分别将处理后的射频信号发送给控制模块，控制模块还连接射频信号模块，用于分别获取电流检测模块和电压检测模块处理的射频信号中的电流值和电压值，并根据电流值和电压值计算得到实时功率，控制射频信号模块调整射频信号的输出电压，使得输出的所述射频信号的功率保持恒定，可提高射频操作的成功率和安全性。
功率输出电路装置

[发明专利]射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备-CN202111638917.0有效
发明人：冀鸣;蔡雁萍;刘伟基;梁伟明;赵刚;易洪波 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H04B1/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种射频中和器的功率调整方法、装置和射频中和器设备；所述方法包括：获取射频中和器工作时的当前发射极电流值以及待调整的目标发射极电流值，并确定所需调整的电流变化量；获取射频中和器当前工作的第一射频功率值以及在调整到目标发射极电流值下所匹配的第二射频功率值，并确定所需调整的射频功率变化量；根据预设的电流调整步长值计算射频中和器的发射极电流的调整时间，并计算射频功率调整的功率调整步长值；在调整射频中和器的发射极电流过程中，依据功率调整步长值将射频功率调整至第二射频功率值；该技术方案，实现了发射极电流和射频功率的同步匹配调整，保证了射频中和器输出稳定而不灭掉，提升了离子源使用的稳定性。
射频中和功率调整方法装置设备

[发明专利]一种远程馈电装置及其馈电方法-CN200910192393.X有效
发明人：王宏伟;蒋祥茂 -专利权人：京信通信系统（中国）有限公司
申请日： 2009-09-16 - 公布日： 2010-02-24 - 主分类号： H02J17/00 文献下载
摘要：本发明提供的一种远程馈电装置及其馈电方法，包括：发送端将第一支路上的射频电流进行隔直处理；对第二支路上的电源电流进行滤波处理，并使第二支路相对于射频电流开路；将所述滤波处理后的电源电流汇入所述隔直处理后的射频电流；接收端将所述汇合后的射频电流与电源电流分成第三支路与第四支路；对所述第三支路上的所述汇合后的射频电流与电源电流进行隔直处理后获得所述射频电流；对所述第四支路上的所述汇合后的射频电流与电源电流进行阻隔射频处理获得所述电源电流；将所述电源电流进行滤波处理。
一种远程馈电装置及其方法

[发明专利]氮化镓射频峰值电流、脉外平均电流及效率的获取方法-CN202110843820.7在审
发明人：卢益锋;林科闯;刘胜厚;蔡仙清;张辉 -专利权人：厦门市三安集成电路有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01R19/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种氮化镓射频峰值电流、脉外平均电流及效率的获取方法，效率的获取方法包括：对氮化镓射频器件进行射频脉冲一次测量，获取第一平均电流和第一占空比；在相同的输入功率下，使用相同幅度的脉冲信号对氮化镓射频器件进行射频脉冲二次测量，获取第二平均电流和第二占空比；所述第一占空比不等于第二占空比；基于所述第一平均电流、第一占空比、第二平均电流和第二占空比，获取峰值电流；基于所述第一平均电流、第一占空比、第二平均电流、第二占空比和峰值电流，获取氮化镓射频效率。本发明近似拟合去掉电流崩塌的影响，实现高精度获取氮化镓射频峰值电流、脉外平均电流及动态效率。
氮化射频峰值电流平均效率获取方法

[实用新型]一种远程馈电装置-CN200920194857.6无效
发明人：王宏伟;蒋祥茂 -专利权人：京信通信系统(中国)有限公司
申请日： 2009-09-16 - 公布日： 2010-07-14 - 主分类号： H02J17/00 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种远程馈电装置，包括合并模块，用于对第一支路上的射频电流进行隔直处理；用于对第二支路上的电源电流进行滤波处理，并使所述第二支路相对于所述射频电流开路；将所述滤波处理后的电源电流汇入所述隔直处理后的射频电流；分离模块，用于将汇合后的射频电流与电源电流分成第三支路与第四支路；对所述第三支路上的所述汇合后的射频电流与电源电流进行隔直处理获得所述射频电流；对所述第四支路上的所述汇合后的射频电流与电源电流进行阻隔射频处理获得所述电源电流；将所述电源电流进行滤波处理。
一种远程馈电装置

[发明专利]一种射频高压输出幅度自动控制系统和方法-CN201810468582.4在审
发明人：钱春建;吴勇 -专利权人：广州宇曦电子科技有限公司
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G05F1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频高压输出幅度自动控制系统及方法，包括工控机、数字射频信号发生模块、射频高压谐振电路、射频电流检测电路、射频电压检测电路、谐振升压电流检测电路和示波器板卡；工控机、数字射频信号发生模块和射频高压谐振电路依次连接；射频高压谐振电路输出端连接射频电流检测电路和射频电压检测电路，射频电流检测电路和射频电压检测电路连接示波器板卡，通过示波器板卡测量出射频高压谐振电路输出信号的电流值和电压值；示波器板卡连接工控机，工控机读取示波器板卡测量出的射频高压谐振电路输出信号的电流值和电压值
检测电路射频高压谐振电路示波器工控机板卡射频电流射频电压数字射频信号自动控制系统发生模块输出幅度输出信号测量输出电压幅度读取抗干扰能力输出端连接板卡连接升压电流输出电压依次连接谐振稳定度稳压响应

[实用新型]一种射频高压输出幅度自动控制系统-CN201820734242.7有效
发明人：钱春建;吴勇 -专利权人：广州宇曦电子科技有限公司
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： G05F1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种射频高压输出幅度自动控制系统，包括工控机、数字射频信号发生模块、射频高压谐振电路、射频电流检测电路、射频电压检测电路、谐振升压电流检测电路和示波器板卡；工控机、数字射频信号发生模块和射频高压谐振电路依次连接；射频高压谐振电路输出端连接射频电流检测电路和射频电压检测电路，射频电流检测电路和射频电压检测电路连接示波器板卡，由示波器板卡测量出射频高压谐振电路输出信号的电流值和电压值；示波器板卡连接工控机，工控机读取示波器板卡测量出的射频高压谐振电路输出信号的电流值和电压值
检测电路射频高压谐振电路示波器工控机板卡射频电流射频电压数字射频信号自动控制系统本实用新型发生模块输出幅度输出信号测量输出电压幅度读取抗干扰能力输出端连接板卡连接升压电流输出电压依次连接谐振稳定度稳压响应

[实用新型]一种自适应调节功耗和线性度的射频电路结构-CN202120387642.7有效
发明人：王镇;夏剑平;关允超;尹海峰;姜源 -专利权人：南京博芯电子技术有限公司;思诺威科技（无锡）有限公司
申请日： 2021-02-22 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： H03F1/30 文献下载
摘要：一种自适应调节功耗和线性度的射频电路结构，包括射频放大器模块和功率检波器，射频放大器模块的信号输入端接射频输入信号、信号输出端接射频输出信号；功率检波器的输入端接射频输入信号、输出端接射频放大器的偏置电流输入端；还包括电流加法器和偏置电路模块；电流加法器的第一输入端接功率检波器的输出端、第二输入端接偏置电路模块的输出端；电流加法器的输出端接射频放大器模块的偏置电流输入端；该射频电路结构根据射频信号幅度，自适应调节射频放大器等各种射频模块的偏置电流，实现根据信号幅度自适应调整射频放大器等各种射频模块的线性度，大信号输入下提升线性度，小信号输入下实现低功耗。
一种自适应调节功耗线性射频电路结构

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